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臺積電3nm建廠投資案跨出重要一步，環保署昨天初審通過「臺南科學園區二期基地開發暨原一期基地變更計劃環差案」，該案主要是科技部因應臺積3nm廠投資計劃提出環境差異分析報告。臺積預計投資超過六千億元興建3nm廠，2020年動工，最快2022年底量產。
臺積電資深處長莊子壽會後表示，感謝支持，臺積電迎戰世界其他大廠深具信心，「臺積電沒在怕」。
攸關臺積3nm投資案的南科臺南基地環差案初審通過後，最慢三個月內，也就是十一月以前可望獲環評大會通過，為國內投資挹注動能。
根據規劃，臺積3nm案預計使用南科廿八公頃用地，並緊臨臺積五奈米廠，科技部預訂在2020年中交地給臺積電蓋廠房。
因應臺積3nm用地需求，南科管理局檢討南科土地使用分區規劃，將原本公園綠地調整為事業專用區，將他處用地再變更為綠地，使得南科事業專用區及綠地用地皆增加。全案已通過臺南市都市計劃審查，將提報內政部都市計劃審查。
南科管理局長林威呈表示，由於園區產業發展需求，以確保世界先進製程的領先優勢，因此提出「臺南科學園區二期基地開發暨原一期基地變更計劃環差案」，一方面檢討園區土地使用分區計劃，二方面因應引進先進製程的需求，提出園區用水量、用電量、汙水放流量、土方等變更。
南科管理局提出報告，因應臺積3nm設廠需要，南科臺南基地，每日用水量將由25萬噸增至32.5萬噸，用電量則由222萬瓦增至299.5萬瓦；推估此次變更後，溫室氣體排放量一年增加427萬噸。
為化解外界疑慮，南科管理局加強節能減碳外，臺積一開始承諾，在市場供給機制完善下，3nm廠新增用電量將隨著量產時程，逐年取得百分之廿用電度數的再生能源，預估每年最高可減少約85.41萬噸二氧化碳當量。
莊子壽表示，臺積3nm廠總投資額尚未定案，初估將超過六千億元，2020年動工，蓋廠房、裝機、試車等預計要十八個月，因此在2022年底、2023年初進入量產，3nm廠完成後預計僱用員工達四千人；他坦言，3nm製程技術難度高，是很大挑戰。
3nm將在2022年量產
臺積電作為世界級的處理器代工廠商，在近幾年的CPU工藝方面頗為激進，其10nm工藝正大規模量產中，並正加速推進7nm以及5nm的研發力度。不過除了這些，更為高端的3nm製程工藝也已經曝光，臺積電官方透露將暫定在2022年量產。
目前臺積電的工廠一直以臺灣為大本營，其中10nm位於中科廠Fab 15五到六期；7nm位於七到九期，2018年量產；5nm則位於南科廠Fab 14九期，2019年下半年量產。而3nm臺積電則考慮赴美投資建廠，投資額高達5000億臺幣，主要原因是南科方面從提出投資方案到通過環評審核，至少需要5年時間，而且空氣質量、電力供應都不夠達標。
3nm技術可以說已經接近半導體工藝的物理極限，而其目前也處於實驗室階段，臺積電透露其正與設備廠商、材料供應商共同研究技術途徑。
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