一、電子氣體是半導體制造的“血液”
1.集成電路是電子氣體主要應用領域
近年來，隨著電子工業的快速發展，電子氣體在半導體行業中的地位日益凸顯。廣義的“電子氣體”指電子工業生產中使用的氣體，是最重要原材料之一，狹義的“電子氣體”特指電子半導體行業用的特種氣體。《戰略性新興產業分類（2018）》在電子專用材料製造的重點產品部分將電子氣體分為了電子特種氣體和電子大宗氣體。電子特氣是集成電路、平板顯示、發光二極管、太陽能電池等半導體行業生產製造過程中不可或缺的關鍵性化工材料，被廣泛的應用於清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。在半導體工藝中，從芯片生長到最後器件的封裝，幾乎每一步、每一個環節都離不開電子特氣，因此電子氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。
平面顯示行業；電子氣體主要以硅烷等硅族氣體、PH3等摻雜氣體和SF6等蝕刻氣體為主。在薄膜工序中，通過化學氣相沉積在玻璃基板上沉積SiO2、SiNx等薄膜，使用的特種氣體有SiH4、PH3、NH3、NF3等。在幹法刻蝕工藝中,在等離子氣態氛圍中選擇性腐蝕基材。通常採用SF6、HCl、Cl2等氣體。太陽能電池行業；在晶體硅電池片生產中，擴散工藝用到POCl3和O2，減反射層等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）工藝用到SiH4、NH3，刻蝕工藝用到CF4。薄膜太陽能電池則在沉積透明導電膜工序中用到二乙基鋅（DEZn）、B2H6，在非晶/微晶硅沉積工序中用到硅烷等。集成電路製造行業；與平面先是行業類似，通常應用在CVD，刻蝕等製造環節中，但是由於集成電路製造和平面顯示的要求不同，複雜度不同，所以集成電路製造中需要的電子氣體純度更高，種類更多。
集成電路領域是電子氣體的主要應用領域。根據前瞻產業研究院的數據，我國特種氣體的銷售額中，電子行業約佔41%，石油化工約佔39%，醫療環保約佔10%，其他領域約佔10%。在單純電子氣體領域，集成電路領域佔比為42%，是最大的電子氣體消耗領域。其次是顯示面板領域，佔比約為37%。最後是太陽能領域和LED領域，分別佔比為13%和8%。
在集成電路產業使用的電子氣體中可分為大宗氣體（常用氣體）和特殊氣體兩類。大宗氣體一般是以氮氣（N2）、氧氣（O2）、氬氣（Ar）、氦氣（He）、氫氣（H2）等純淨氣體為主。大宗氣體在半導體制造中主要有兩種功能，一種是作為反應氣體參與到化學反應中，比如氫氣，氧氣等等。另外一種是作為保護氣體使用的惰性氣體，經常用在高溫烘烤或清洗過程，這些氣體一般是以惰性氣體為主，比如氮氣，氬氣，氦氣等等。特殊氣體以化合物氣體為主，主要是集成電路製造中的反應氣體。比如硅烷（SiH4）、磷化三氫（PH3）、一氧化二氮（N2O）、氨氣（NH3），四氟甲烷（CF4）等等，這些氣體主要是參與到芯片製造過程中的一些物質生成等等。比如利用硅烷反應成成二氧化硅介質，利用四氟甲烷主要在幹法刻蝕中，與被刻蝕物發生反應，從而達到刻蝕的目的。
電子特種氣體廣泛用於集成電路、顯示面板、光伏能源、新能源汽車等領域，近年來下游產業技術快速更迭。特別是在集成電路製造領域，隨著製程節點的不斷減小，從28nm製程到7nm製程。在晶圓尺寸方面，從8寸晶圓到12寸晶圓。特種氣體作為集成電路製造的關鍵材料，伴隨著下游產業技術的快速迭代，特種氣體的精細化程度持續提高，特別是在純度和精度方面，對特氣的要求持續提高。比如在純度方面，普通工業氣體要求在99.99%左右，但是在先進製程的集成電路製造過程中，氣體純度要求在6N（99.9999%）以上。
2.電子氣體是電子製造的“血液”
電子特種氣體在集成電路製造中應用廣泛，涉及到多個製造環節。大宗氣體中的惰性氣體主要用作保護氣。氫氣和氧氣作為還原氣體和氧化氣體與其他物質發生化學反應。在離子注入工藝中，用到氫化物氣體作為磷源，硼源和砷源，形成P型和N型區域。在刻蝕工藝中，需要用氟化物氣體作為刻蝕氣體。在CVD工藝中，需要用硅烷和氯氣等等。在光刻過程中需要光刻氣，Kr/Ne/Ar等混合氣體作為光刻機的光源氣體，另外，在清洗，氧化爐，退火等等製造過程也需要不同電子氣體。電子特種氣體決定了集成電路的最終良率和可靠性。由於電子氣體用途多，用量大。所以電子氣體也直接決定了最終芯片的良率和可靠性，比如離子注入氣體的氫化物氣體濃度沒有達到要求，那麼在離子注入時，硅片的PN結濃度就會和理想值相差較遠，造成電性偏移。如果光刻氣的配比出現偏差，將直接造成光刻機光源的波長髮生變化，最終導致光刻線寬出現偏移。如果CVD氣體含有部分雜質，在薄膜沉積後，在絕緣層上會出現導電離子，造成短路現象。所以電子氣體直接影響芯片的最終質量。正是因為電子氣體在集成電路製造中的使用量大，應用範圍廣的特點。所以電子氣體直接決定了芯片製造的良率與可靠性等等。所以電子氣體也被譽為集成電路製造中的“血液”。
二、半導體材料市場空間廣泛
1.中國半導體材料市場穩步增長
中國半導體材料市場穩步增長。2018年全球半導體材料銷售額達到519.4億美元，同比增長10.7%。其中中國銷售額為84.4億美元。與全球市場不同的是，中國半導體材料銷售額從2010年開始都是正增長，2016年至2018年連續3年超過10%的增速增長。而全球半導體材料市場受週期性影響較大，特別是中國臺灣，韓國兩地波動較大。北美和歐洲市場幾乎處於零增長狀態。而日本的半導體材料長期處於負增長狀態。全球範圍看，只有中國大陸半導體材料市場處於長期增長窗臺。中國半導體材料市場與全球市場形成鮮明對比。
全球半導體材料逐步向中國大陸市場轉移。從各個國家和地區的銷售佔比來看，2018年排名前三位的三個國家或地區佔比達到55%，區域集中效應顯現。其中，中國臺灣約佔全球晶圓的23%的產能，是全球產能最大的地區，半導體材料銷售額為114億美元，全球佔比為22%，位列第一，並且連續九年成為全球最大半導體材料消費地區。韓國約佔全球晶圓的20%的產能，半導體材料銷售額為87.2億美元，佔比為17%，位列第二名。中國大陸約佔全球13%的產能，半導體材料銷售額為84.4億美元，約佔全球的16%，位列第三名。但是長期來看，中國大陸半導體材料市場佔比逐年增加，從2007年的佔比7.5%，到2018年佔比為16.2%。全球半導體材料逐步向中國大陸市場轉移。
2.電子氣體是半導體制造材料的第二大耗材
半導體制造材料佔比逐年增加。半導體材料可分為封裝材料和製造材料（包含硅片和各種化學品等等）。從長期看，半導體制造材料和封裝材料處於同趨勢狀態。但是從2011年之後，隨著先進製程的不斷髮展，半導體制造材料的消耗量逐漸增加，製造材料和封裝材料的差距逐漸增加。2018年，製造材料銷售額為322億美元，封裝材料銷售額為197億美元，製造材料約為封裝材料的1.6倍。
氣體是晶圓製造中第二大耗材。根據2018年銷售數據，製造材料中，硅晶圓作為半導體的原材料，佔比最大，達到37%，銷售額為121億美元。電子氣體由於在製造過程中使用的步驟較多，所以消耗量遠遠高於其他材料，佔比為13%，銷售額達到43億美元。氣體（包含高純和混合氣體）是晶圓製造中最常用的製造材料，做為半導體材料中的核心原料，消耗金額是除硅晶圓之外的第一大材料。常常使用在光刻，刻蝕，CVD/PVD等等步驟。特別是在集成電路製造環節，高純大宗氣體如N2、H2、O2、Ar、He 等，常常使用在高溫熱退火，保護氣體，清洗氣體等等環節。高純電子特種氣體在製造環節使用較多，也是常說的電子氣體，比如離子注進、氣相沉積、洗滌、遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體，常見的有SiH4、PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2等，在IC 生產環節中，使用的電子氣體有差不多有100 多種，核心工段常見的在40-50種左右。隨著半導體集成電路技術的發展，對電子氣體的純度和質量也提出了越來越高的要求。電子氣體的純度每提升一個數量級，對下游集成電路行業都會產生巨大影響。2014 年國家發佈了《國家集成電路產業發展推進綱要》並設立了集成電路產業投資基金，根據規劃，我國集成電路銷售額年均增速將保持在20%左右，預計2020 年將達到8,700 億元。若半導體用電子氣體保持同樣穩定的增速，國內半導體用電子氣體市場將在2020 年翻番。
3.中國電子氣體市場空間巨大
1）.中國大陸晶圓廠產能持續擴張
全球晶圓產能將迎來爆發式增長。根據IC Insight統計，由於2019年上半年，中美貿易戰的不確定性，全球各大晶圓廠都推遲了產能增加計劃，但是並沒有取消。隨著2019年下半年中美貿易的復甦和5G市場的爆發，2019年全年全球晶圓產能還是維持了720萬片的增加。但是隨著5G市場的換機潮來領，全球晶圓產能將在2020年至2022年迎來增加高峰期，三年增加量分別為1790萬片，2080萬片和1440萬片，在2021年將創下歷史新高。其中中國大陸將佔產能增加量的50%。
中國大陸晶圓廠建設將迎來高速增長期。從2016年開始，中國大陸開始積極投資建設晶圓廠，陸續掀起建廠熱潮，根據SEMI預測，2017-2020年全球將建成投產62座晶圓廠，其中中國有26座，佔總數的42%。2018年建造數量為13座，佔到了擴產的50%。擴產的結果勢必導致晶圓廠的資本支出和設備支出的增加。據SEMI預計，到2020年，中國大陸晶圓廠裝機產能達到每月400萬片8寸等效晶圓，與2015年的230萬相比，年複合增長率為12%，增長速度遠遠高過其他地區。同時，國家大基金也對半導體制造業大力投入，在大基金一期投資中，其中製造業佔比高達67%，遠遠高於設計業和封測業。
2）.產能擴張推動氣體市場規模增長
中國大陸電子氣體市場規模佔比不斷提升。據前瞻產業研究院的數據，中國電子特氣的市場規模在不斷增加，從2014年的13.40億美元增長到了2018年的20.04億美元，佔全球的比重從38.5%提升到44.4%。未來隨著產能的不斷提升，比重也會隨之增加。
三、電子氣體制備壁壘高
1.技術壁壘
1）.氣體純度壁壘
特種氣體制造工藝複雜；特種氣體的主要生產流程包括氣體合成，氣體純化，氣體混配和氣瓶處理。氣體合成是指將原料氣體在特定壓力，溫度和催化劑的條件下，發生化學反應，生成目標氣體，此時的目標氣體是氣體粗產品，純度不能達到下游要求，所以不能直接使用。得到氣體粗產品之後，再將粗產品進行純化，得到高純氣體。主要純化的方式就是通過精餾，吸附等方式將粗產品精製成更高純度的產品，氣體混配是將兩種或兩種以上有效組分氣體按照特定比例混合，得到多組分佈的混合氣體。氣瓶處理是根據載氣性質及需求的不同對氣瓶內部、內壁表面及外觀進行處理的過程，以保證氣體存儲、運輸過程中產品的穩定。
2）.氣體精度壁壘
準確控制不同氣體的配比精度是另一壁壘；對於混配氣體而言，配比的精度是核心參數。氣體混配是指根據不同需求，運用重量法、分壓法、動態體積法等方法，將兩種或兩種以上組分的氣體按照特定比例混合，對配製過程的累計誤差控制、配製精度、配製過程的雜質控制等均有極高要求。隨著產品組分的增加、配比精度的上升，常要求氣體供應商能夠對多種ppm乃至ppb級濃度的氣體組分進行精細操作，其配臵過程難度與複雜程度也顯著增大。特別是對於光刻氣體而言，混合氣體的精度控制更加重要。光刻氣包含Ar/F/Ne混合氣，、Kr/Ne 混合氣、Ar/Ne 混合氣、Kr/F/Ne 混合氣等等產品。
2.黏性壁壘
客戶認證是電子氣體行業的壁壘；有電子氣體用於最先進的晶圓製造和LED，面板顯示領域。所以電子氣體的質量將會對最終產品產生巨大影響，甚至整條產線停工的事件。所以下游客戶對於電子氣體供應商而言，選擇新供應商較為慎重，而且必須經過嚴格的質量驗證過程。認證時間久，要求嚴苛；對於光伏能源，光纖光纜，領域的認證週期約為0.5至1年的時間，顯示面板通常為1-2年，集成電路由於要求較高，認證週期能達到2-3年時間；認證階段內，電子氣體供應商沒有該客戶的收入，需要電子氣體公司有龐大的資金優勢。並且為了電子氣體能夠有充分的質量保障，往往對於新供應商的氣體認證要求比現有量產氣體的要求更加嚴苛。對於新氣體供應商來說認證的週期長和認證嚴苛是主要壁壘。電子氣體供應商與客戶粘性大；一般情況下，為了保持氣體供應穩定，下游客戶與電子氣體供應商一旦建立供應關係後，不會輕易更換供應商，且雙方建立反饋機制，滿足個性化需求，電子氣體供應商與客戶的粘性不斷增加。新供應商如果加入到供應商行列，必須提供比原有供應商更加緊密的合作關係和更高的氣體質量。所以電子氣體行業，進入壁壘較高。
3.資質壁壘
電子氣體的生產，製造，運輸有嚴格的資質審查；由於電子氣體屬於危險化學品，部分氣體有易燃易爆，並且屬於毒性巨大的危險化學品（如氯氣）。所以在生產，製造，運輸整個產業鏈都必須有嚴格的資質認證。取得《安全生產許可證》，《危險化學品經營許可證》等多項資質。不僅僅對企業生產條件和生產環境進行評估，還要對生產人員的安全意識，生產危險化學品的個人資質認證。這些嚴格的資質審核是新進電子氣體公司的資質壁壘。
四、電子氣體國產替代勢在必行
1.國內企業奮起直追
電子氣體市場被國外壟斷。國內對於特種氣體的需求於20 世紀80 年代隨著國內電子行業的興起而逐步發展，並且隨著醫療、食品、環保等行業的發展其應用領域和產品種類不斷豐富。電子特氣從生產到分離提純以及運輸供應階段都存在較高的技術壁壘，市場準入條件較高，在國際上被幾家跨國公司壟斷。我國發展的早期由於技術、工藝、設備等多方面差距明顯，電子特氣產品基本依賴進口。直到2017年，空氣化工集團、液化空氣集團、大陽日酸株式會社、普萊克斯集團、林德集團（後收購普萊斯克集團）等國外氣體公司的在中國電子氣體市場上份額佔比仍然超過80%，國內氣體公司市場份額佔比僅為12%。電子氣體長期處於“卡脖子”狀態。
日韓材料摩擦：半導體材料國產化是必然趨勢；2019年7月份，在日韓貿易爭端的背景下，日本宣佈對韓國實施三種半導體產業材料實施禁運，包含刻蝕氣體，光阻劑和氟聚酰亞胺。韓國是全球存儲器生產基地，顯示屏生產基地，也是全球晶圓代工基地，三星，海力士，東部高科等一大批晶圓代工廠和顯示屏廠都需要日本的半導體材料。這三種材料直接掐斷了韓國存儲器和顯示屏的經濟支柱。在禁運之後，韓國半導體產業面臨空前危機，一時間，三星半導體，海力士等全球存儲器龍頭都處於時刻停產危機，三星本身的材料存貨只能支撐3個月的生產。三星，海力士高管也是頻頻去日本交涉。同為美國重要盟友的日韓之間尚且如此，尚在發展初期的中國科技產業更需要敲響警鐘。目前中國大陸對於電子材料，特別是電子特氣方面對國外依賴較高。所以在半導體材料方面的國產代替是必然趨勢。
中美貿易摩擦：電子特氣國產代替正在全面開展；自從中美貿易摩擦依賴，中國大陸積極佈局集成電路產業。在半導體材料領域，電子氣體作為是集成電路製造的“血液”，是國產代替重要環節，也是必將國產化的產品。電子特氣貫穿半導體各步工藝製程，決定了集成電路的性能、集成度、成品率。電子特氣產品若不合格會導致產品嚴重缺陷，或整條生產線被汙染乃至全面癱瘓。
當今，中國通過國家集成電路產業投資基金（大基金）撬動全社會資源對半導體產業進行投資和扶持，在電子特氣領域也積極佈局，入股雅克科技等電子氣體企業，力圖實現電子氣體自主可控。同時，國內其他電子氣體公司抓住晶圓製造擴產的百年機遇，積極發展電子氣體業務，爭取打進國內新建晶圓廠的供應鏈。電子氣體的國產化正在全面展開。隨著關鍵技術的陸續突破，中國已經陸續出現了一批高水平的電子氣體企業。儘管仍然與國際先進水平仍然有差距，但是在政策的支持和自身的不懈努力之下，中國已經有一批氣體企業陸續突破了關鍵技術，各自在不同的單品氣體產品上實現了自主化。
2.歐美企業寡頭壟斷
歐美氣體企業以空氣分離業務為主，在國際氣體市場中佔有寡頭地位。液化空氣集團2016年5月23日以134億美元收購Airgas後，確定其在全球的領導地位。然而，普萊克斯與林德的900億美元合併創建了新的綜合實體，林德和普萊克斯超越法國競爭對手液化空氣，成為世界級最大的氧氣，氮氣和氦氣供應商，改變了液化空氣集團作為全球工業氣體的主導力量。合併後的公司將在所有主要地區和終端市場中佔據強勢地位。由於規模經濟效應，整合後的國際氣體市場格局將在相當一段時間內保持被四大氣體企業（空氣化工，液化空氣，林德&普萊克斯和太陽日酸）寡頭壟斷的局面。
1）.美國空氣化工產品
空氣化工產品（APD）在1940 年成立於美國賓州，1980 年在紐交所上市，是全球第三大氣體供應商。空氣化工業務遍佈全球，銷售和服務空分氣體、特種氣體、氣體設備等。該公司為數十個行業提供工業氣體和相關設備，包括半導體集成電路行業。2019年度公司實現的營業收入為630.82億元，同比下降0.13%，淨利潤為124.48億元，同比下降17.51%。APD公司是世界大宗工業氣體巨頭，也是電子特種氣體行業的先驅。早在1990年代APD公司就將最早用於激光武器的三氟化氮用於半導體工業中性能優異的腔室清洗材料，並在這一領域成為全球領先的生產商。但是在2016年10月，APD公司將服務於半導體制程行業的化合物特種氣體業務剝離，單獨成立Versum Materials （於2019年10月被德國達姆塔特Merck KGaA併購），同時將其位於安徽蕪湖的氨氣製備生產線100%所有權售與三安光電，從此將業務聚焦於大宗工業氣體與稀有氣體的生產與銷售。APD公司主要生產大宗工業氣體和稀有氣體。大宗工業氣體包含氧氣，氮氣和氬氣等氣體，也包含氫氣、氦氣、二氧化碳、一氧化碳和合成氣等工業氣體。稀有氣體包含氖氣和氪氣等稀有氣體。在電子行業上，氮，氫和氬主要用於提高集成電路引腳的焊接以及集成電路封裝中的鍵合焊接工藝的質量和可靠性。在半導體制程行業中，幾乎所有的製造過程都需要使用大量氮氣，以淨化和抑制化學敏感工序。同時氖，氪和氙等稀有氣體則可以作為激光器的保護氣體。這種激光器光刻流程中有著重要作用。
2）.林德集團
林德集團1879 年成立於英國，1992 年在紐交所上市，2018 年與氣體行業巨頭普萊克斯合併，成為全球最大的工業氣體供應商。林德集團氣體業務遍佈全球，也是最早進入中國的、佈局最多的氣體行業外資巨頭，亞太市場也是其增長最快的市場。林德集團主要產品包括氧氣、氮氣、氬氣、稀有氣體、碳氧化物、氦氣、氫氣、電子氣體、特種氣體等。2019年度公司實現的營業收入為1969.24億元，同比增長90.27%%，淨利潤為159.41億元，同比下降47.84%。成立聯華林德，主攻中國市場；林德主要分為三大業務部門，工業氣體與醫療健康部門、工程部門和其他部門。聯華林德是德國林德集團跟臺灣聯華實業公司的合資公司，主要服務於中國大陸和臺灣的客戶。聯華林德自1984年以來，一直引領著中國大陸和臺灣的氣體供應，並獲得了中國大陸和臺灣的大宗氣體市場份額第一；電子特種氣體市場份額第五的成績。針對半導體，聯華林德能提供涵蓋所有制造工藝的電子特種氣體廣泛的產品組合和大宗氣體解決方案；面向平板顯示領域，聯華林德則有強大的N2O供應能力，還有專利的合成和純化技術；在太陽能領域，則有硅烷（SiH4）和氨氣（NH3）的全球供應網絡；針對LED，則有全系列大宗氣體（氮氣、氫氣）和特種氣體（AsH3，PH3，NH3等）的供應。
3）.法國液空集團
法國液空集團1902 年成立於法國巴黎，2007 年在巴黎股票市場上市，在林德集團與普萊克斯合併前是全球市值最大的氣體供應商。2016年法國液化空氣集團（Air Liquide）成功收購美國Airgas公司，交易金額134億美元。Airgas公司98%的營收來自美國，擁有員工17000名，歷史上經過400多次的兼併收購，於2009年上市，進入標普指數公司之一。液化空氣集團氣體業務遍佈全球，主要為冶金、化工、能源等行業客戶供應氧氣、氮氣、氬氣、氫氣、一氧化氮等產品，也為汽車、製造業、食品、醫藥、科技等行業客戶提供工業氣體、制氣設備、安全裝臵等。2019年度公司實現的營業收入為1663.59億元，同比增長4.18%，淨利潤為165.84億元，同比下降3.92%。
3.日本電子特氣
日本氣體企業均有和歐美氣體企業一樣上百年的歷史。他們大多脫胎於明治末期和昭和初期（1910s~1930s）.應當時特殊歷史環境要求而設立的化工企業，有著長期的運營管理，技術和人才的儲備。20世紀後期，世界的半導體產業逐漸轉移至亞洲，並首先在日本生根發芽。這都為日本的電子氣體產業的發展奠定了良好的基礎。日本的特氣供給在行業內處於領先地位。當前在日本國內，半導體方面的高純度氣體市場規模約為40億元左右，在全球市場規模更大，約335億元。其“主戰場”為韓國、中國臺灣、中國大陸等東南亞地區。另一方面，即便是在當前，供應高純度氣體的廠家依舊是日本企業佔大多數。如昭和電工、太陽日酸、關東電化工業、ADEKA（艾迪科）、日本中央銷子、住友精華、大金工業等都生產和銷售各種電子材料方面的氣體。
1）.昭和電工
日本昭和電工成立於1939 年，是全球知名的綜合性集團企業，生產的產品涉及到石油、化學、無機、鋁金屬、電子信息等多種領域，設有化學品事業部，專門從事產業氣體、電子材料用高純度氣體的研發、生產。2018年度公司實現的營業收入為614.00億元，同比增長27.13%，淨利潤為69.01億元，同比增長233.14%。昭和電工株式會社為了強化電子材料用高純度氣體事業，決定在上海的生產基地-上海昭和電子化學材料有限公司（以下簡稱“SSE”）的旁邊取得第二工廠建設用地，建設高純度N2O（一氧化二氮）和高純度C4F8（八氟環丁烷）的生產設施，以及高壓氣體危險品倉庫。第二工廠擬於2021年下半年投產。高純度N2O主要是半導體及顯示屏製造時的氧化膜的氧來源的特種氣體，高純度C4F8主要是這種氧化膜的微細加工（蝕刻）時的特種氣體。目前，昭和化工在川崎事業所和韓國基地生產高純度N2O，並在川崎事業所和上海基地（SSE第一工廠）生產高純度C4F8。為了提高對日益增長市場的穩定供應能力，昭和化工正致力於進一步推進“地產地銷”的政策。同時，在中國逐年加強對化學品的監管的形勢下，在上海建設並完善本公司擁有的高壓氣體危險品倉庫，將會增強供應鏈、提高競爭力。
2）.太陽日酸
TaiyoNippon Sanso（太陽日酸）大陽日酸株式會社創立於1910 年，2001 年在東京證券交易所上市，是日本最大工業氣體制造商，市佔率排名全球前5，在亞洲、歐洲、北美等地設有30 多家子公司。至今發展已經有近110年曆史，憑藉豐富的經驗和獨特的技術開發能力，在鋼鐵，化工，電子，汽車，建築，造船，食品和醫藥等多個工業領域開展了廣泛的業務活動。同時公司為領先的半導體氣體供應商，廣泛應用於IC（集成電路）和存儲器（半導體存儲設備）、液晶、太陽能電池、LED和超精細機械結構。同時公司還提供高純氣體淨化設備，廢氣處理設備，氣缸櫃等相關設備，包括電子產品製造過程中必不可少的高純度規格特殊管道構造，併為客戶提供整體解決方案。太陽日酸的電子特氣產品覆蓋了半導體制程中從沉積，清洗，蝕刻再到離子注入等不同環節，還兼顧了用於保護的惰性氣體品類。除了直接提供氣體產品，太陽日酸還為客戶提供一系列氣體設備，供客戶現場製備氣體和儲存氣體而使用。2019年度公司實現的營業收入為450.62億元，同比增長14.57%，淨利潤為25.13億元，同比下降15.59%。
3）.關東電化工
日本關東電化工業公司歷史悠久，技術積累深厚。它成立於1938年，在電解領域，主要地是在氫氟酸電解制備高純氟氣，和氟相關的技術方面有深厚的知識和技巧的積累。主要應用領域包括電池化學，醫藥化學和農業化學等。目前公司的管理團隊主要目標是開擴張精細化學業務，提升生產技術水平。日本關東電化工業在半導體領域主要以氟化物氣體為主。從上產環節上來說覆蓋了半導體清洗，蝕刻和沉積環節。2018年度公司實現的營業收入為30.31億元，同比增長11.44%，淨利潤為3.61億元，同比下降8.55%。日本關東電化工業公司十分重視中國半導體產業發展帶來的機會。由於中國政府近年來多次出臺半導體和液晶顯示產業的重要扶持政策，未來中國半導體市場的前景十分理想。基於此，關東電化決定出資約2億日元（1200萬人民幣）在中國設立製造中心，用於滿足半導體、液晶所用特殊氣體在中國日益增長的需求。公司去年關東電化決議在中國設立生產子公司“科地克化工科技有限公司（暫定）”。計劃在安徽省建設工廠，並已獲得了土地。預計新廠將於2021年投入生產。這是繼在韓國設立海外生產基地之後，日本關東電化與中國企業合資建立的重要的半導體特種氣體生產基地。
4）.艾迪科
艾迪科（ADEKA）是在歷史悠久的食品和化工綜合供應商。ADEKA在樹脂添加劑、功能化學品以及食品這三大領域中廣泛開展業務。主要產品陣容包括塑料用樹脂添加劑，電子材料，環氧樹脂，聚氨酯類功能性樹脂，表面活性劑，潤滑油添加劑，土建材料以及過氧化產品等。2019年度公司實現的營業收入為182.21億元，同比增長24.93%，淨利潤為10.38億元，同比增長11.13%ADEKA在半導體電子特氣方面以三種刻蝕氣體為主。它們分別是高純氯氣，高純溴化氫和高純三氯化硼。這三種氣體在半導體材料的刻蝕流程上均有重要應用。ADKEKA在2001年通過在上海設立貿易代表處直接進入中國市場並在2016年正式更名為艾迪科（中國）投資有限公司並作為ADEKA在中國的總部。除開展各類貿易外，ADEKA中國總部還負責在中國的投資決策，並向各集團公司提供共享服務。ADEKA在中國大陸上海金山，浙江嘉興，江蘇常熟，廣東廣州設有工廠，負責多種油脂，樹脂添加劑等多種化學品的製造。
4.中國電子特氣公司
通過對國內電子特氣公司進行梳理，國內特氣公司實現國產替代呈現四個層級：
- 1）通過產能優勢快速切入半導體刻蝕氣體，部分含氟氣體已經實現國產替代，如三氟化氮、六氟化硫，代表企業有中航重工（718所）、昊華科技（黎明院）、雅克科技（科美特）、南大光電（飛源氣體）。
- 2）通過技術升級切入半導體化學沉積，部分國產替代初顯成效，如六氟化鎢、四氟化碳，代表企業有中航重工（718所）、昊華科技（黎明院）、雅克科技（科美特）。
- 3）通過某種特氣進入核心供應商，切入多種半導體氣體，代表企業有華特氣體，南大光電。
- 4）從空分氣體或者大化工進入半導體領域，具備技術及產能儲備，代表企業有巨化股份（中巨芯）、三孚股份、金宏氣體、凱美特氣、和遠氣體。
NF3 作為一種特種電子氣體，具有優異的蝕刻速率和選擇性，而且對錶面無汙染，是電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體。其主要應用領域包括：
- IC（集成電路）行業：NF3具有優異的蝕刻速率和選擇性，而且對錶面無汙染，是電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體。
- LCD（面板顯示）行業：NF3可大量減少汙染物排放量，以及顯著提高清洗速度，用於化學氣相沉積（CVD）腔體清洗，也可作為蝕刻劑用作LCD 的加工。
NF3供需將維持緊平衡：
需求方面：根據市場調研數據，全球NF3 2018 年度總需求量約2.8 萬噸，其中韓國需求量超10,000 噸，佔比35%；中國大陸需求量達7,000 噸，佔比25%；中國臺灣需求量5,000 噸，佔比18%，美國需求量3,200 噸，佔比12%；日本、新加坡等地區佔比10%。
供給方面：NF3生產國目前主要有中、韓、美、日，其中韓國1,5000 噸，佔比50% 以上；中國國內8,500 噸，佔比約30%；日本、美國約6,000 噸，佔比約20%。
隨著半導體、顯示面板行業生產重心、消費重心向中國國內轉移，而且生產NF3主要原料均由國內供給，兩頭在內的供應鏈格局，決定了NF3生產向國內轉移是大勢所趨。目前NF3主要生產商有：韓國SK，其優勢為產能大，依靠韓國三星、LG 等大公司有較高的銷售價格，劣勢在於原材料均由中國國內採購，生產成本高。日本KDK，其優勢在於關東電化公司產品品種齊全，劣勢在於原料由中國國內採購，日本生產，而日本國內NF3需求已萎縮，生產成本和運輸成本高昂。中國國內有中船718 所及大成黎明，前者目前是國內最大的NF3生產廠，後者已建成產能1,000 噸，並已公告二期擴產1,000 噸計劃。南大光電（飛源氣體）2020 年底之前，實現3,000 噸NF3產線投產目標。隨著國內顯示面板及半導體行業的迅速發展，2019 年國內NF3 需求量將與產能持平，迎來3-5 年的高速發展黃金期。據預測，2019 年全球NF3 總需求量3.14 萬噸，千噸級廠家總產能3.38 萬噸，百噸級廠家總產能佔比不超過5%，則全市場平均產能利用率高達88.3%，行業供需處於緊平衡。而且，未來2年可預見的產能和需求增長，基本上處於均勢，市場將會保持供需基本平衡的局面。
SF6具有良好的電氣絕緣性能及優異的滅弧性能，其耐電強度為同一壓力下氮氣的2.5 倍，擊穿電壓是空氣的2.5 倍，滅弧能力是空氣的100 倍，是一種優於空氣和油的新一代超高壓絕緣介質材料。
- SF6以其良好的絕緣性能和滅弧性能，應用於斷路器、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。
- 電子級高純SF6 是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應用顯示面板、半導體加工過程中的幹刻（Etch）。隨著目前遠距離輸電的要求以及輸變電裝臵小型化的要求，特高壓輸電技術及GIS 技術的發展迅速，國內特高壓輸電電壓已達到1,000kV，SF6 高壓開關設備約佔用氣量的80%以上。國內顯示面板、半導體等電子產業迅速發展，SF6作為優良的刻蝕氣體，用量也持續增加。
2018 年測算全球SF6需求量約為2 萬噸，生產廠家主要集中在中國。由於SF6為溫室氣體，其全球供給增長受限。目前90%的SF6 用在電力行業作為絕緣氣體。隨著中國面板、半導體行業發展迅速，電子級SF6需求量在未來3 年將快速增長，市場前景廣闊。目前SF6主要生產商有中國成都科美特，產能為8,500 噸，主要應用於電力市場；洛陽黎明院，產能為3,000 噸，產品批量供應電子行業。南大光電（飛源氣體）SF6產線2017 年已建成2,000 噸產能，且產品已開始導入IC 行業客戶。
1）.中航重工（718所）
主要涉及氣體：刻蝕氣體，鎢沉積氣體七一八研究所隸屬於世界500強中國船舶集團有限公司，創立於1966年，總部位於河北省邯鄲市，是集軍民產業的科研開發、設計生產、技術服務於一體的國家級科研單位。七一八所不斷加強技術創新，大力發展高新技術產業，建所獲得省部級以上科技進步獎260多項，其中國家科技進步一等獎2項，授權專利近300項。按照軍民融合的發展要求，大力發展高科技產業，已形成電子特氣材料、精細化工、空氣淨化、氫能產業、核電裝備、節能環保、安防信息工程及特種裝備等8大產業方向。承擔國家“02”專項，儲備多種氣體技術。中船重工第七一八研究所(簡稱PERIC)與南大光電、光明院等5家協作單位申請的“02”國家科技重大專項--高純電子氣體研發與產業化項目，已於2013年初獲得國家立項並得到國家財政支持。此項目中，718所共承擔NF3（三氟化氮）、WF6（六氟化鎢）、SiF4（四氟化硅）、C2F6（六氟乙烷）、C4F8（八氟環丁烷）、C3F8（八氟丙烷）、HF（氟化氫）、HCl（氯化氫）、COF2（碳酰氟）及電子混合氣體等19種氣體的研製及產業化工作。NF3及WF6產品目前我所已有成熟的技術及生產經驗，並有多年的產業化經驗，完全能夠滿足客戶的需求。上述氣體主要用於IC製造過程中的外延、離子注入、擴散、蝕刻、沉積、清洗等關鍵工藝。NF3與WF6氣體突出重圍，實現國內市場佔有率第一。目前，中船重工第七一八研究所（派瑞特種氣體有限公司）生產的三氟化氮、六氟化鎢及三氟甲磺酸系列產品在國內佔有率第一，同時銷往國外二十多個國家和地區。三氟化氮為重要的清洗刻蝕氣體，在半導體和液晶行業有廣泛應用；六氟化鎢在電子工業中作為金屬鎢化學氣相沉積和製成大規模集成電路中的配線材料（WSi2）。
2）.昊華科技
主要涉及氣體：刻蝕氣體，鎢沉積氣體昊華化工科技集團股份有限公司（昊華科技）及其下屬研究所歷史悠久，積累深厚。昊天科技的前身是四川天一科技股份有限公司（天科股份）。1999年8月5日天科股份完成工商註冊並於2001年1月在上海證券交易所上市。2018年底，天科股份完成對中國昊華化工集團股份有限公司下屬11家科技型企業的收購，並於2019年6月正式更名為昊華化工科技集團股份有限公司，主營業務為氟材料、特種氣體、特種橡塑製品、精細化學品和技術服務五大板塊。新增氟樹脂、氟橡膠、三氟化氮、橡膠密封製品、航空輪胎、特種塗料等產品，服務於國家軍、民品多個核心產業。昊華科技旗下黎明院和光明院是承擔著主要電子特氣業務的子公司。其中光明院以氫化物氣體為主，比如硫化氫，硒化氫；而黎明院以氟化氣體為主，比如三氟化氮，四氟化碳，六氟化硫和六氟化鎢。
3）.華特氣體
主要涉及氣體：光刻氣、刻蝕氣體、摻雜氣體等華特氣體是中國領先的的電子特氣製備企業。位於珠三角腹地佛山市南海區，創建於1999年，公司以廣東佛山為產品研發基地，分別在廣東、江西、浙江、陝西、湖北、湖南、香港等地設立了十餘家全資子公司。現已成為國內最大的民營特種氣體及相關設備供應商之一，同時產品出口到50餘個國家和地區。氣體產品覆蓋普通工業氣體、電子工業用氣體、電光源氣體、超高純氣體、標準氣體、激光氣體、醫用氣體、食品工業用氣體等十幾個系列共200多個品種，並不斷研發新產品滿足市場需求。生產低溫絕熱氣瓶、汽化器、LNG應急撬等氣體設備，安裝超高純氣體及工業氣體應用配套設備等。為用戶提供領先的氣體應用一體化解決方案。
4）.雅克科技
主要涉及氣體：刻蝕氣體大基金重點投資；雅克科技股份有限公司是一家致力於工業材料，生產和銷售的深交所中小板上市公司。雅克旗下設有“新材料”，“新能源”和“電子”事業部。並在2017年末得到了大基金的戰略入股支持，2017年10月份，公司發佈發行股份購買資產暨關聯交易報告書草案，擬以發行股份的方式，收購成都科美特特種氣體有限公司(以下簡稱科美特)90%股權、江蘇先科半導體新材料有限公司(以下簡稱江蘇先科)84.825%股權，交易總對價為24.67億元。在電子特氣方面，雅克科技的“電子”事業部目前生產和銷售四氟化碳和六氟化硫，這兩種材料可以用於半導體的蝕刻和半導體制造設備的清洗。雅克科技除了目前在售的三氟化碳和六氟化硫以外，還在規劃新增三氟化氮和高純氫氣的產能。UP Chemical 是半導體集成電路材料行業中的翹楚。UP Chemical 是全球IC 前驅體的主要供應商，其主要產品國內尚無企業可生產。自1998 年成立至今，UP Chemical 在技術研發方面積累了豐富的經驗及先進技術，培養了一批具備技術攻堅能力的核心技術團隊，且已經在中日美等國申請了多項專利，新一代技術產品儲備豐富。UP Chemical 代表著目前世界IC 材料領域的先進水平，其產品廣泛應用於16 納米、21 納米、25 納米等高端製程下DRAM 以及先進的3D NAND Flash 的製造工藝，與世界主要芯片廠商如SK 海力士、三星電子，世界領先的IC 設備廠商均建立了長期穩定的合作關係。
5）.南大光電
主要涉及氣體：離子注入氣體，刻蝕氣體，鎢沉積氣體江蘇南大光電材料股份有限公司是一家專業從事高純電子材料研發、生產和銷售的高新技術企業。南大光電雖然創立於2000年12月，但其技術起源卻來源於創始人及其團隊在1986至1991年間在南京大學從事的科研工作。憑藉30多年來的技術積累優勢，南大光電先後攻克了國家863計劃MO源全系列產品產業化、國家“02—專項”高純電子氣體（砷烷、磷烷）研發與產業化、ALD/CVD前驅體產業化等多個困擾我國數十年的項目，填補了多項國內空白。2017年，南大光電承擔了集成電路芯片製造用關鍵核心材料之一的193nm光刻膠材料的研發與產業化項目南大光電立足LED氣體，衝擊集成電路特氣；南大光電的電子氣體在LED領域佔有主導地位。南大光電的主要產品MO源在國內外LED市場處於領先地位，是歐司朗、飛利普、科瑞等跨國公司的重要供應商。借力公司在LED行業的領先優勢，南大光電的半導體制造電子特氣產品，取得了國內第一的市場份額，並且通過中芯國際部分驗證工作，打破了一直依賴進口的局面，得到了客戶的高度認可。
6）.金宏氣體
主要涉及氣體：刻蝕氣體，沉積氣體蘇州金宏氣體股份有限公司是專業從事氣體研發、生產、銷售和服務的高新技術企業，成立於1999年，總部位於江蘇省蘇州市相城區潘陽工業園，已經擁有大宗氣體、電子特種氣體兩大類百餘種產品，廣泛應用於冶金、化工、造船、電子、光纖通訊、機械製造、食品、醫療、太陽能光伏、LED、半導體等眾多領域。金宏為不同行業、不同客戶的所有發展階段提供眾多氣體產品和一站式用氣解決方案，並提供氣體生產設施、潔淨管路的設計、建造、安裝、運行及量身定製的物流支持。公司已與國內電子半導體領域的眾多知名企業建立了合作關係。例如集成電路行業的晶方半導體、上海新傲、廈門聯芯，液晶面板行業的京東方、天馬微電子、TCL 華星、中電熊貓（間供），LED 行業的三安光電、聚燦光電、乾照光電，光纖通信行業的亨通光電、富通集團，光伏行業的通威太陽能、天合光能、隆基股份等。其中截止2019H1公司前五大客戶合計銷售收入佔比達到了14.79%，前五家客戶分別為亨通光電（6.35%）、乾照光電（2.48%）、江蘇美特瑞科技發展有限公司（2.44%）、聚燦光電（1.92%）、華燦光電（1.60%）。
7）.巨化股份
主要涉及氣體：刻蝕氣體，沉積氣體巨化股份是由基礎化工產業企業逐步轉型的中國氟化工行業領先的企業。巨化股份成立於1998年6月17日，是經浙江省人民政府批准，由巨化集團有限公司（以下簡稱“巨化集團”）獨家發起，採用募集方式設立的股份有限公司。經過20多年的發展，巨化股份已經形成了包括基礎配套原料、氟製冷劑、有機氟單體、含氟聚合物、含氟專用化學品等在內的完整的氟化工產業鏈，並涉足石油化工產業。前期大手筆投入電子特氣，博瑞電子為實施主體：巨化股份在2014年成立了電子特氣籌備組，在協調內外部資源之後於當年設立了子公司博瑞電子，專注於電子特氣的生產和銷售，並連續數年鉅額投資建設電子特氣技術和產能。巨化股份2015年發佈非公開發行預案，預計非公開發行股票募集資金總額不超過32億元，其中預算投資總投資1.5億用於高純電子氣體項目（一期），包含1000t/a 醫藥級氯化氫、1000t/a 高純氯化氫、500t/a 高純氯氣；總投資1.2億元用於高純電子氣體（二期），包含二氧化碳200t/a、氧化亞氮150t/a、含氟氣體500t/a、含氯氣體200t/a、混合氣體4,000 瓶/年；總投資8億元用於含氟特種氣體，包含三氟化氮2,000t/a、六氟丁二烯50t/a。
8）.凱美特氣
主要涉及氣體：稀有氣體凱美特氣是中國國內化工尾氣分離行業的龍頭。凱美特氣是國內最大的食品級液體二氧化碳生產企業同時也向市場供應氬氣，氫氣，甲烷一氧化碳等工業氣體。公司主要產品由於純度高、質量穩定，得到廣大客戶的認可。公司已與多家下游企業建立了長期、穩定的合作關係，產品市場佔有率逐年上升。凱美特氣進軍電子氣體業務；2017年9月，公司電子特種氣體分公司總投資為30,975 萬元（不含增值稅），新建25 套電子特種氣體項目生產裝臵，採用低溫吸附、深冷精餾分離、電解、催化合成技術。該項目產品為“高端、精細、專業”的電子特種氣體混配氣體及同位素, 屬於電子化學品和核能範圍內的同位素，應用領域廣泛，主要用於生產環節隔離去氧化、做保護氣、半導體清潔氣體等，主要應用於電子、激光、醫藥、航天等領域，且產品價格昂貴，項目具有良好的經濟性。項目建設期為三年。預計年均銷售收入預估為14,395 萬元（含稅），年均利潤總額7,390 萬元。凱美特氣特種稀有氣體試生產；現按照市場情況分期分批投入建設，先期啟動一期項目建設，項目一期總投資19,739 萬元（不含增值稅），建設規模為新建12 套電子特種氣體生產及輔助裝臵；2020年初目前已完成工程主體建設及設備安裝、調試工作，且試生產方案經專家評審通過，符合試生產條件，將進入試生產階段。
9）.三孚股份
主要涉及氣體：外延沉積氣體三孚股份是一家資源綜合利用，產業循環發展的高科技化工企業。2017年6月三孚股份在滬市主板成功掛牌上市。三孚主要產品包括三氯氫硅、四氯化硅、光纖四氯化硅、氫氧化鉀、硫酸鉀、特種氣體等。產品廣泛應用於光伏、光纖、精細化工、肥料、電子芯片等領域。三孚股份圍繞三氯氫硅、四氯化硅、氫氧化鉀、硫酸鉀“兩硅兩鉀”生產系統實現協調聯動生產,資源循環利用，產品互相支撐的循環產業鏈條初步形成，走出了一條化工行業綠色循環發展新路。三孚股份2017年底開始進軍高純電子特氣領域(二氯二氫硅和三氯氫硅)。在2017年12月，三孚股份發佈公告，擬通過全資子公司唐山三孚電子材料有限公司投資建設年產500噸電子級二氯二氫硅及年產1000噸電子級三氯氫硅項目，項目投資總額28,724萬元。預計年營業收入為24,574萬元，年均利潤總額為12,631萬元，本項目全投資內部收益率（稅後）為28.77%，投資回收期（稅後）為5.18年（自建設之日起）。
10）.和遠氣體
主要涉及氣體：空分大宗氣體和高純氫氣、氧氣湖北和遠氣體股份有限公司是一家致力於各類氣體產品的生產與服務、工業尾氣回收循環利用以實現節能環保效應的綜合解決方案提供商及運營商。公司氣體產品按種類可分為醫用氧氣、工業氧氣、食品氮氣、工業氮氣、氬氣、氫氣、氦氣、天然氣、二氧化碳、乙炔、丙烷、各類混合氣等多種氣體，主要滿足化工、食品能源、照明、家電、鋼鐵、機械、農業等基礎行業和光伏、通信、電子、醫療等新興產業對氣體和清潔能源的需求。和遠氣體創辦於2003年，截止2016年，相繼在宜昌、荊門、武漢、黃岡等全省範圍內成立了14家工業氣體瓶裝連鎖全資子公司、宜昌與浠水2個氧、氮、氬空分生產基地，枝江、宜都兩個液化天然氣生產基地、宜昌2000m3/h高純氫生產基地、武漢100m3/h高純氦生產基地。
五、A 股相關電子氣體上市公司
國內少數電子氣體已經完成突破，業績爆發即將到來。國內電子特氣代替主要有四種方式。第一，產能優勢來降低成本進入國際主流晶圓廠。第二，通過收購國際知名公司直接打入核心供應鏈。第三，通過特定氣體進入核心供應商。第四，業務擴展進入供應商名單。
- 1）通過產能優勢快速切入半導體刻蝕氣體，部分含氟氣體已經實現國產替代，如三氟化氮、六氟化硫，代表企業有中航重工（718所）、昊華科技（黎明院）、雅克科技（科美特）、南大光電（飛源氣體）；
- 2）通過技術升級切入半導體化學沉積，部分國產替代初顯成效，如六氟化鎢、四氟化碳，代表企業有中航重工（718所）、昊華科技（黎明院）、雅克科技（科美特）；
- 3）通過某種特氣進入核心供應商，切入多種半導體氣體，代表企業有華特氣體，南大光電；
- 4）從空分氣體或者大化工進入半導體領域，具備技術及產能儲備，代表企業有巨化股份（中巨芯）、三孚股份、金宏氣體、凱美特氣、和遠氣體。
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