光刻机巨头阿斯麦 ASML

ASML Holding N.V.是一家芯片制造设备制造商,全球领先的半导体行业光刻系统供应商。该公司从事由光刻系统组成的半导体设备系统的开发、生产、营销、销售和服务。该公司的产品包括系统以及已安装的基础产品和服务。该公司的主要在荷兰、美国和亚洲开展业务。该公司提供TWINSCAN系统、配备光刻系统、汞灯作为光源(i-line)、氪氟化物(KrF)和氩氟化物(ArF)光源,用于300毫米处理晶圆,适用于需要以小分辨率成像的制造环境。TWINSCAN系统还包括浸没式光刻系统(TWINSCAN浸没系统)。该公司还提供NXE系统,该系统配备了极紫外(EUV)光源技术。该公司提供晶圆计量系统YieldStar。


光刻机巨头阿斯麦 ASML


ASML公司设计、开发、集成、销售先进的系统 - 其服务的客户为全球主要的半导体制造商 - 打造在电力电子、通信和信息技术产品中广泛应用的芯片。


光刻机巨头阿斯麦 ASML


ASML公司总部位于荷兰的Veldhoven市,股票代码为ASML,市值约1200亿美元。生产基地和研发设施则位于康涅狄格州、加州、台湾和荷兰。科技发展中心及训练设施位于日本、韩国、荷兰、台湾和美国。总体而言,ASML公司在16个国家拥有超过70个分支机构。

前段时间真的是全民炒“芯”,大家都希望中国的芯片能够发展起来,能够摆脱对外国的依赖,这样能够节省大量的资金,确实中国进口芯片的金额超过石油了,甚至都超过了军费一年的开支。

但一直以来,芯片的发展离不开人才、技术、设备,而中国在这三个方面都缺少,而设备一项中,最重要的就是买不到光刻机,因为禁售,但作为最顶极的光刻机生产商ASML则表示没有禁运。ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,比如英特尔(Intel)、三星(Samsung)、海力士(Hynix)、台积电(TSMC)、中芯国际(SMIC)等。


光刻机巨头阿斯麦 ASML

ASML的产品线分为PAS系列、AT系列、XT系列和NXT系列,其中PAS系列光源为高压汞灯光源,现已停产;AT系列属于老型号,多数已经停产。市场上的主力机种是XT系列以及NXT系列,为ArF和KrF激光光源,XT系列是成熟的机型,分为干式和沉浸式两种,而NXT系列则是现在主推的高端机型,全部为沉浸式。

目前市场上提供量产商用的光刻机厂商有三家:ASML、 尼康(Nikon)和佳能(Canon)。 根据2007年的统计数据,在中高端光刻机市场,ASML占据大约60%的市场份额。而最高端市场(例如沉浸式光刻机),ASML大约目前占据80%的市场份额。不过,竞争对手尼康也在奋力追赶,主要优势在于相对较低的价格。

ASML于2012年10月宣布收购美国Cymer公司,以加快EUV的研发进度。Cymer公司 [4] 是世界领先的准分子激光源提供商,发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外(DUV)光源。产品主要特性是:带宽窄,运行速度高,可靠性强。Cymer光源在批量生产符合特定规格的的世上最先进的半导体芯片时起着决定性的作用。


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