2019年12月16日，國科投資持股企業瀋陽芯源微電子設備股份有限公司成功於上交所科創板上市，股票簡稱“芯源微”，股票代碼688037。這是繼容百科技（688005）、新光光電（688011）7月22日同時首批掛牌科創板後，國科投資在2019年收穫的第三個科創板IPO。
芯源微上市，創造了多項“第一”
中國第一家半導體光刻工序設備上市公司。
雖然目前A股已經有6家半導體裝備公司，包括近期科創板上市的中微公司，產品線涉及硅晶製備、晶圓清洗、離子刻蝕、激光切割、封裝測試等環節。但芯源微是第一家光刻工序專用裝備上市企業，具備全球競爭力。光刻是芯片製造流程中技術含量最高、難度最大的一道工序。以光刻機霸主ASML為例，其一臺EUV光刻機的價格可以達到1.2億美金，還供不應求。芯源微的塗膠顯影設備與ASML的光刻機配套，已在代表世界最先進水平的臺積電獲得批量應用。
中科院直接孵化的第一家科創板上市公司。
科創板推出以來，已有65家科技創新企業掛牌上市，其中超過20%和中國科學院存在技術轉移、成果轉化合作關係，或由中科院科研人員創立。芯源微是首箇中科院自身直接孵化企業在科創板成功上市的。公司創始股東中科院瀋陽自動化研究所此前還孵化了深圳創業板第一批上市公司之一——新松機器人。據悉，中科院系統還有多家優秀科技成果轉化企業正在進行上市申報或申報準備，有望在不久的將來系形成最“硬核”的科創板“中科院板塊”。
遼寧省第一家科創板上市公司。
依託雄厚的裝備製造業積累，和以中科院瀋陽自動化研究所為代表科研機構、高校基礎，遼寧瀋陽已經聚集了一批優質半導體設備企業，在國內集成電路產業嶄露頭角。根據規劃，到2020年瀋陽集成電路產業發展規模將達到100億元，其中整機裝備製造達到30億元、零部件及配套達到60億元、材料達到10億元。芯源微，已經成為這一新興半導體裝備基地的代表性和龍頭企業。
十七年磨一劍 突破高端半導體裝備“卡脖子”短板
芯源微此次發行，得到了資本市場的高度關注，中籤率僅為0.046%，低於已掛牌65家公司中的42家；發行市盈率113倍，是科創板開市以來僅有的發行市盈率超過100倍的三家公司之一。
作為一家收入、利潤規模都還不算大的公司，芯源微受到行業和資本認可的一個重要因素是，通過長期堅忍不拔、持續拼搏，公司成功突破了我國在塗膠顯影設備上被髮達國家“卡脖子”的短板。
2002年，芯源微由中國科學院瀋陽自動化研究所和韓國STL公司合資設立。
2005年，芯源微塗膠顯影設備銷售到國內最大的封裝企業江陰長電。
2007年，芯源微12英寸塗膠顯影設備批量應用，實現國產IC裝備在晶圓尺寸和工藝上的突破。
2013年，芯源微封裝級設備批量出口至臺灣市場，主要客戶為臺積電子公司，用於 iPhone手機指紋識別器件生產。
2016年，芯源微封裝級設備批量銷售至臺積電總公司，用於當時世界最先進 iPhone手機 A10 處理器生產，實現了國產半導體裝備的重大突破。
2018年，芯源微國內首臺前道大線級塗膠顯影設備“奉天一號”研製成功，進入上海華力進行工藝驗證；2019年，前道晶圓加工環節用單片式清洗設備研製成功，進入中芯國際進行工藝驗證。這兩個重量級設備的推出，標誌著芯源微從後道封裝市場進入了規模大10倍的前道大線市場，打破了日本東京電子、迪恩士兩家公司的高度壟斷，把公司發展的天花板提升了幾個數量級。
2017~2018年，芯源微連續獲評中國半導體設備十強企業。
“芯源微希望成為一家有高度、有深度、有硬度、有溫度的企業”，芯源微董事長宗潤福說，“在高度上，我們致力於佔領全球半導體裝備的制高點；在深度上，我們踏實穩健、潛心研發；在硬度上，我們對勝利負責、有鋼鐵執行力；在溫度上，我們與員工、客戶和供應商共同成長”。
“我們還要特別感謝國家02重大專項（《極大規模集成電路製造技術及成套工藝》項目）2008年、2012年對公司的核心技術研發的大力支持！今天公司上市，是我們對重大專項交出的又一份結題答卷！”
挖掘和幫助科學家中的企業家
“科學家中的企業家，是我國進入創新驅動發展階段最可寶貴的資源！”國科投資董事長孫華說。
同在中國科學院體系，孫華與宗潤福相識多年，見證了芯源微成長、壯大，也見證了宗潤福由一名科學家蛻變、成長為一名企業家的全過程。
芯源微創立初期，孫華經常問宗潤福一個問題，對一個科技公司而言，是技術更重要，還是管理更重要？宗潤福每次都斬釘截鐵的回答，當然是技術最重要，沒有技術其他什麼都是零。
但隨著公司的發展，尤其是經歷了產品進入長電、臺積電等下游巨頭時遇到的種種困難，使宗潤福對這個問題有了新的認識。他告訴孫華，公司的發展壯大，還是管理最重要。
於是在2015年，國科投資正式成為芯源微的重要股東。國科投資的進入，除了注入企業發展所需的資金，也進一步完善了公司的治理結構，為芯源微進入發展快車道創造了有利條件。
“在公司還很小的時候，宗總能夠以高於自己10多倍的待遇吸引多名國內外頂級專家加盟，並實現了長期良好合作，讓我們看到了他的決心和胸懷，看到了他成為一名優秀企業家的素質！”國科投資總經理劉千宏說。
孫華說：“挖掘和幫助科學家中的企業家，這件事國科投資已經做了32年；我們還會繼續做下去，支持他們成為促進中國產業發展、影響全球行業格局的領軍者！”
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