周至县原名盩厔县，盩厔是周旋、折旋之意的假借字，曲折之意是它的引申义。唐李吉甫《元和郡县志》说：“山曲曰盩，水曲曰厔，因以县名”。盩厔（周至）县名沿用2000余年，是陕西省最悠久的县名之一。1964年国务院颁布的《简化汉字总表·附表》规定，改为周至县。
尧舜时代（约前24世纪）传说周至地属骆国。
西周（约前11世纪—前771年）属京畿地。
春秋，秦襄公八年至秦孝公十二年（前770年—前350年）周至地为秦国管辖。
战国，秦孝公十二年至秦王政二十五年（前350年—前222年）周至地属武功。
秦（前221年—前206年），周至属内史。
西汉，汉高祖元年（前206年）周至属雍国。汉高祖二年（前205年）周至改属中地郡。汉高祖九年（前198年）改属左内史。建元六年（前135年）改属右内史。太初元年（前104年）置盩厔县，治所设在今终南镇，属右扶风。
东汉建武三年（27年）盩厔县并入武功县，隶扶风郡。
西晋建兴元年（313年）复置盩厔县，隶扶风郡。
北魏太平真君七年（446年）武功县并入盩厔县，隶扶风郡。太和十一年（487年），复从盩厔县析出原武功县，盩厔县仍属扶风郡。
西魏仍依北魏旧制。
北周明帝二年（558年）盩厔属终南郡。郡址在今终南镇。天和二年（567年）析终南郡，于故址置恒州，盩厔属其治。又从盩厔分出仓城、温汤县，盩厔县治所迁至今户县甘河乡附近，仓城县治所设在今竹峪乡仓峪村附近，温汤县治所设在今广济乡暖泉村，3县均隶恒州。建德三年（574年）盩厔县迁治所于今址。于恒州下置周南郡，郡治在今二曲镇，辖周至、仓城、温汤县。大象二年（580年）仓城、温汤县并入盩厔县。
隋开皇三年（583年）废周南郡，盩厔县改隶京兆郡。
唐武德三年（620年）废恒州，盩厔县改隶稷州。析出盩厔县东部地域置终南县，治所在今终南镇，隶雍州。贞观元年（627年）废稷州，盩厔、终南县同隶雍州。贞观八年（634年）废终南县，仍归盩厔，隶雍州。天授二年（691年）置稷州，盩厔县属之。大足元年（701年）废稷州，盩厔县改隶雍州。天宝元年（742年）盩厔县改名宜寿县，隶雍州。至德二年（757年）撤销宜寿县，恢复盩厔县，改隶京兆府。乾宁二年（895年）属京兆府乾州管辖。天复元年（901年）盩厔县改隶凤翔府。
后梁开平二年（908年）改京兆府为大安府，盩厔县属之。
后唐同光元年（923年）隶凤翔府；三年（925年）改隶凤翔府。
后晋后汉、后周均依后唐旧制。
北宋大观元年（1107年）于终南镇设清平军，并划出盩厔东部设终南县，军、县治所均在终南镇，隶京兆府，盩厔县仍隶凤翔府。
金贞祐四年（1216年）于县城东辛家寨村置恒州，辖盩厔、终南、眉县，隶凤翔府。
元至元初年（1264年—1278年）废恒州，终南县并入盩厔县，属凤翔府。至元十六年（1279年），改京兆府为安西路，盩厔属之。皇庆元年（1312年）改安西路为奉元路，盩厔属之。
明洪武二年（1369年）三月奉元路易名西安府，盩厔属之。
清顺治元年（1644年）盩厔属西安府治。
中华民国三年（1914年）废府设道，周至属关中道。民国十一年（1922年）盩厔县由陕西省直辖。民国二十四年（1935年）盩厔属第九行政督察区。民国三十六年（1947年）改隶第十行政督察区。
1949年5月30日盩厔县解放。
1949年10月1日周至归咸阳行政督察专员公署（以下简称咸阳专署）管辖。1953年咸阳专署撤销，周至县改由宝鸡专署管辖。1956年撤销专署，周至由陕西省直辖。1958年眉县并入周至县。1961年复设咸阳专署，从周至析出眉县，周至归咸阳市辖。不久又改隶咸阳专署。1968年咸阳专署改为咸阳地区革命委员会，周至归其管辖。1984年周至县改属西安市管辖
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