周至縣原名盩厔縣，盩厔是周旋、折旋之意的假借字，曲折之意是它的引申義。唐李吉甫《元和郡縣誌》說：“山曲曰盩，水曲曰厔，因以縣名”。盩厔（周至）縣名沿用2000餘年，是陝西省最悠久的縣名之一。1964年國務院頒佈的《簡化漢字總表·附表》規定，改為周至縣。
堯舜時代（約前24世紀）傳說周至地屬駱國。
西周（約前11世紀—前771年）屬京畿地。
春秋，秦襄公八年至秦孝公十二年（前770年—前350年）周至地為秦國管轄。
戰國，秦孝公十二年至秦王政二十五年（前350年—前222年）周至地屬武功。
秦（前221年—前206年），周至屬內史。
西漢，漢高祖元年（前206年）周至屬雍國。漢高祖二年（前205年）周至改屬中地郡。漢高祖九年（前198年）改屬左內史。建元六年（前135年）改屬右內史。太初元年（前104年）置盩厔縣，治所設在今終南鎮，屬右扶風。
東漢建武三年（27年）盩厔縣併入武功縣，隸扶風郡。
西晉建興元年（313年）復置盩厔縣，隸扶風郡。
北魏太平真君七年（446年）武功縣併入盩厔縣，隸扶風郡。太和十一年（487年），復從盩厔縣析出原武功縣，盩厔縣仍屬扶風郡。
西魏仍依北魏舊制。
北周明帝二年（558年）盩厔屬終南郡。郡址在今終南鎮。天和二年（567年）析終南郡，於故址置恆州，盩厔屬其治。又從盩厔分出倉城、溫湯縣，盩厔縣治所遷至今戶縣甘河鄉附近，倉城縣治所設在今竹峪鄉倉峪村附近，溫湯縣治所設在今廣濟鄉暖泉村，3縣均隸恆州。建德三年（574年）盩厔縣遷治所於今址。於恆州下置周南郡，郡治在今二曲鎮，轄周至、倉城、溫湯縣。大象二年（580年）倉城、溫湯縣併入盩厔縣。
隋開皇三年（583年）廢周南郡，盩厔縣改隸京兆郡。
唐武德三年（620年）廢恆州，盩厔縣改隸稷州。析出盩厔縣東部地域置終南縣，治所在今終南鎮，隸雍州。貞觀元年（627年）廢稷州，盩厔、終南縣同隸雍州。貞觀八年（634年）廢終南縣，仍歸盩厔，隸雍州。天授二年（691年）置稷州，盩厔縣屬之。大足元年（701年）廢稷州，盩厔縣改隸雍州。天寶元年（742年）盩厔縣改名宜壽縣，隸雍州。至德二年（757年）撤銷宜壽縣，恢復盩厔縣，改隸京兆府。乾寧二年（895年）屬京兆府乾州管轄。天覆元年（901年）盩厔縣改隸鳳翔府。
後梁開平二年（908年）改京兆府為大安府，盩厔縣屬之。
後唐同光元年（923年）隸鳳翔府；三年（925年）改隸鳳翔府。
後晉後漢、後周均依後唐舊制。
北宋大觀元年（1107年）於終南鎮設清平軍，並劃出盩厔東部設終南縣，軍、縣治所均在終南鎮，隸京兆府，盩厔縣仍隸鳳翔府。
金貞祐四年（1216年）於縣城東辛家寨村置恆州，轄盩厔、終南、眉縣，隸鳳翔府。
元至元初年（1264年—1278年）廢恆州，終南縣併入盩厔縣，屬鳳翔府。至元十六年（1279年），改京兆府為安西路，盩厔屬之。皇慶元年（1312年）改安西路為奉元路，盩厔屬之。
明洪武二年（1369年）三月奉元路易名西安府，盩厔屬之。
清順治元年（1644年）盩厔屬西安府治。
中華民國三年（1914年）廢府設道，周至屬關中道。民國十一年（1922年）盩厔縣由陝西省直轄。民國二十四年（1935年）盩厔屬第九行政督察區。民國三十六年（1947年）改隸第十行政督察區。
1949年5月30日盩厔縣解放。
1949年10月1日周至歸咸陽行政督察專員公署（以下簡稱咸陽專署）管轄。1953年咸陽專署撤銷，周至縣改由寶雞專署管轄。1956年撤銷專署，周至由陝西省直轄。1958年眉縣併入周至縣。1961年復設咸陽專署，從周至析出眉縣，周至歸咸陽市轄。不久又改隸咸陽專署。1968年咸陽專署改為咸陽地區革命委員會，周至歸其管轄。1984年周至縣改屬西安市管轄
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