【環球時報 環球網科技記者 馬俊】自主可控的“中國芯”是近來備受關注的話題,它直接關係到從日常電子產品到國防安全和科技前沿的方方面面。然而要製造出這樣的“中國芯”還需要什麼呢？中國電子科技集團有限公司(中國電科)24日發佈了“電科裝備”和“電科能源”領域的系列品牌“SEMICORE爍科”，並在北京舉辦的集成電路核心裝備展上公佈了離子注入機、化學機械拋光設備等一系列用於芯片製造的母機。相關人士告訴《環球時報》記者，只有將這些擁有完全自主產權的芯片製造設備掌握在自己手裡，才能擺脫國外的各種制約。
28nm離子注入機在中芯國際12英寸生產線
集成電路芯片及其製造技術是信息時代的基石，是保障國家安全和國防建設的戰略性資源。面向國家戰略需求，在中國電科“1+8”品牌體系建設的部署下，中國電科旗下成員單位——中電科電子裝備集團有限公司(簡稱“電科裝備”)形成了“爍科裝備SEMICORE－EQ(裝備製造)”、“爍科紅太陽SEMICORE－RS(光伏能源)”、“爍科國際SEMICORE－INT(國際業務)”三大品牌，旨在展現電科軍工科研的底蘊，在離子注入設備、化學機械拋光設備等集成電路核心裝備以及其輻射帶動下的新型平板顯示器裝備、光伏裝備、動力電池材料裝備等泛半導體裝備的局部成套和集成服務能力。
電科裝備離子注入機研發團隊技術總監張叢表示，當前自主可控“中國芯”的重要性已經受到越來越多的重視，但很多人還沒意識到“中國芯”的製造設備也需要自主可控。事實上，此前芯片的製造設備基本被控制在極少數國外企業手中，就連英特爾等芯片巨頭的生產線也得仰仗這些上游供應商。對於中國芯片製造行業而言，這些國外企業不但掌握著對華出口相關設備的定價權，而且還能控制向中國出口設備的技術水準。“如果說國外技術已經發展到第三代，但只願意向中國提供第一代的設備，那我們就沒法用哪怕是第二代的設備來生產芯片。”此外，由於國外企業對芯片生產設備的嚴格控制，這些先進設備也無法用於航天、軍用等領域的芯片製造上。
這些因素促使我國加快集成電路關鍵裝備的自主研製和生產能力。張叢介紹說，近年我國掌握第二代芯片製造設備的技術後，國外不但大幅降低第一代芯片製造設備的引進價格，而且還批准了第二代設備的對華出口。由於半導體行業是典型的技術密集型和資金密集型，可以說自主掌握芯片製造設備的技術後，無論是繼續引進國外設備，還是選擇國產設備，整個行業都受益菲淺。
據介紹，電科自主研發的多臺12英寸離子注入機進入北京中芯國際生產線量產，量產工藝覆蓋至28nm，12英寸晶圓累計產量約300萬片。國產首臺200mmCMP商用機設備，在天津廠驗證獲得圓滿成功，目前設備24小時參與正常生產 ，與baseline設備的置換率大於1，天津廠開始走流程下PO單並進入中芯國際AVlist(合格供方名錄)。這是電科承擔“極大規模集成電路製造裝備及成套工藝”科技重大專項取得重大成果的縮影。
不過張叢也坦承，中國目前在該領域與國際先進水平存在相當差距，部分重要設備還需要攻克技術難關。但他認為，對於中國而言，掌握自主可控的芯片和芯片製造設備是必不可少，他呼籲社會給予更多支持。
據悉，隨著品牌的發佈，電科裝備聚焦離子注入機和化學機械拋光設備兩大集成電路核心裝備，籌備成立爍科電子裝備有限公司，並將以國資委“雙百行動”為契機，充分利用國家和中國電科相關改革政策，大膽探索，實施股權多元化，開展骨幹員工股權激勵，建立符合半導體裝備發展規律的現代企業管理體制;實施科技創新與產業投資“雙輪驅動”，搭建裝備研發與工藝驗證平臺，持續聚集行業領軍人才、海內外優秀人才，不斷突破集成電路裝備核心技術，推動離子注入機、化學機械拋光設備等集成電路核心裝備進入生產線批量應用，實現進口替代、自主可控，具備國際競爭能力。
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