12月16日，瀋陽芯源微電子設備股份有限公司(簡稱芯源微)在上海證券交易所科創板成功首發上市，成為遼寧省科創板“第一股”和中國半導體光刻設備上市“第一股”。業內人士評價，芯源微上市標誌著我國光刻設備正式進入資本市場開啟加速發展，為光刻機這一半導體裝備中的核心戰略產品國產化及成套供應打下基礎。
半導體被稱作製造業皇冠上的明珠，半導體產業是信息技術產業的核心，是推動傳統工業轉型升級和提升中國製造水平的重要支撐。2002年，中科院瀋陽自動化研究所在瀋陽高新區發起創立芯源微，其產業領域處於半導體裝備產業鏈的上游核心環節。
通過多年創新研發和應用積累，芯源微連續牽頭承擔國家02重大專項，擁有專利350餘項，主持制定兩項行業標準，是目前國內唯一的中高端塗膠顯影設備提供商;自主開發了塗膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、溼法刻蝕機、單片清洗機等產品，累計銷售近700臺套，擁有海內外近百家重大客戶。芯源微成為國家首批專精特新“小巨人”企業，獲評中國半導體設備行業十強，被業界公認為“隱形冠軍”。“市場上最新款的華為手機、蘋果手機，用的都是芯源微設備封裝出來的芯片。”芯源微董事長、總經理宗潤福說，“芯源微最新推出的拳頭產品‘奉天1號’，可覆蓋100億元市場規模。我們就是要讓全世界都知道，遼寧能生產出國際頂尖的高精尖設備。”
芯源微的快速發展，成為遼寧實施創新驅動發展戰略的最好實例。在打造半導體裝備世界級企業進程中，芯源微聯合瀋陽科儀、拓荊科技、新松公司、自動化所等企業、院所，形成協同發展和產業集聚效應，帶動瀋陽建成全國最完整的IC(集成電路)裝備產業鏈條。
“芯源微的成功上市，讓瀋陽高新區良好的IC裝備產業生態和眾多優質企業受到資本的關注。”瀋陽高新區黨工委委員張書煒說，“瀋陽科儀、富創精密、拓荊科技、中科博微等一批企業已與多家投資公司合作，即將陸續邁入科創板行列。”
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