瀋陽晚報、沈報融媒訊(記者王月)12月16日，瀋陽芯源微電子設備股份有限公司(簡稱芯源微)在上海證券交易所科創板成功首發上市，成為上交所第66家通過證監會註冊並上市的科創板企業，是遼寧省科創板“第一股”，更被讚譽為中科院科創板“第一股”、中國半導體光刻設備上市“第一股”。其成功上市，成為我國光刻設備板塊進軍資本市場的標誌性事件。 芯源微開盤當日即取得了不俗的成績，發行價格為26.97元，收盤價格已達64.5元，當日漲幅達139.15%。“芯源微是中科院在科創板上市的第一家院所投資企業，是創新鏈、產業鏈、資本鏈‘三鏈聯動’的成功範例。”中國科學院副院長張濤說。芯源微由中科院瀋陽自動化所於2002年發起創立，主營產品是集成電路生產過程中必須的幾類設備，目前是國內唯一的中高端塗膠顯影設備提供商；連續牽頭承擔國家科技重大專項，擁有專利350多項，主持制定2項行業標準。目前芯源微產品已
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