唐玄宗在位時期，由於均田制瓦解，建立於其基礎上的府兵制亦隨之瓦解，開始實行募兵制，募兵制的惡性發展形成了藩鎮割據。為防止周邊各族的進犯，大量擴充防戍軍鎮，設節度使，賦予軍事統領、財政支配及監察管內州縣的權力，共設九個節度使和一個經略使(見天寶十節度使)。其中特別是北方諸道權力的集中更為顯著，經常以一人兼任兩三鎮節度使，安祿山就是憑藉身兼范陽、平盧、河東三鎮節度使而發動叛亂的。
安史之亂爆發後，為了抵禦叛軍進攻，軍鎮制度擴展到了內地，最重要的州設立節度使，指揮幾個州的軍事;較次要的州設立防禦使或團練使，以扼守軍事要地。於是各地出現不少節度使，防禦使，團練使等大小軍鎮。後來擴充到全國 。
這些本是軍事官職，但節度使又常兼所在道的觀察處置使(由前期的採訪使改名)之名，觀察處置使也兼都防禦使或都團練使之號，都成為地方上軍政長官，是州以上一級權力機構。大則節度，小則觀察，構成唐代後期所謂藩鎮，亦稱方鎮。方鎮並非都是割據者，在今陝西省、四川省以及江淮以南的方鎮絕大多數服從朝廷指揮，貢賦輸納中央，職官任免出於朝命。但是今河北地區則一直存在著名義上仍是唐朝的地方官而實際割據一方，不受朝命，不輸貢賦的河北三鎮;今山東，河南，湖北，山西也曾在很長一段時期內存在類似河北三鎮的藩鎮;還有一些倚仗自己實力對中央跋扈不馴，甚至舉行叛亂的短期割據者。
唐代藩鎮節度使是以唐朝封疆大吏的資格自擅一方的，其財政基礎依賴於國家的賦稅收入，其武力憑藉是法律上屬於國家的軍隊--即所謂"官健"。藩鎮裡的那些割據藩鎮既企圖遊離於中央集權之外，又不能徹底否定中央統治。
在土地所有者看來，賦稅是上供朝廷，還是截留藩鎮，並沒有經濟上的實際區別。同樣是以交納一定賦稅的形式與政府共同瓜分農民創造的剩餘價值，在驕藩控制下，並不比在中央集權統治下能得到更多的經濟好處。因此，大土地所有者對藩鎮割據時間抱著不支持不合作的消極態度，乃是他們本身的客觀經濟利益所決定的。貞元時，李希烈叛亂，張建封奉命防遏，"大豪俊傑，爭來效節"，建封"隨其才而用之" ，其原因即在於此。唐代藩鎮割據的社會基礎是投身軍戎充當職業僱傭軍的破產農民和無業遊民。
唐朝藩鎮設立之前，中央政府在邊地上設置有守捉、城、鎮、軍，總體稱為道。唐睿宗景雲二年(711年)，賀拔延嗣被任命為涼州(治今甘肅省武威市)都督，為防範吐蕃的入侵，河西藩鎮成為唐朝第一個藩鎮 。唐玄宗時開始置有大量的藩鎮。例如開元元年(713年)始置幽州藩鎮(駐今北京市)節度使與朔方藩鎮(駐今寧夏靈武市)節度使。開元五年(717年)置劍南藩鎮(駐今四川省成都市)節度使。開元六年(718年)開始設置安西四鎮節度經略使。至唐玄宗天寶年間，已增至10個節度使:河西節度使、范陽節度使、隴右節度使、劍南節度使、安西節度使、朔方節度使、河東節度使、北庭節度使、平盧節度使、嶺南節度使。伴隨著邊地藩鎮的設立，府兵制逐漸被募兵制所取代，邊地置有大量的精兵，共計四十九萬士卒和八萬匹戰馬屯駐邊地。
安史之亂全面爆發後，為了抵禦叛軍進攻，軍鎮制度擴展到了內地，最重要的州設立節度使，指揮幾個州的軍事﹔較次要的州設立防禦使或團練使，以扼守軍事要地。於是在今陝西、山西、河南、安徽、山東、江蘇、湖北等地出現不少節度使、防禦使、團練使等大小軍鎮。後來又擴充到全國。這些本是軍事官職，但節度使又常兼所在道的觀察處置使(由前期的採訪使改名)之名，觀察處置使也兼都防禦使或都團練使之號，都成為地方上軍政長官，是州以上一級權力機構。大則節度，小則觀察，構成唐代後期所謂藩鎮，亦稱方鎮。方鎮並非都是割據者，在今陝西、四川以及江淮以南的方鎮絕大多數服從朝廷指揮，貢賦輸納中央，職官任免出於朝命。但是今河北地區則一直存在著名義上仍是唐朝的地方官而實際割據一方，不受朝命，不輸貢賦的河北三鎮﹔今山東、河南、湖北、山西也曾在很長一段時期內存在類似河北三鎮的藩鎮﹔還有一些倚仗自己實力對中央跋扈不馴、甚至舉行叛亂的短期割據者。江南的節度使大多是服從聽命中央的，而且其所轄地區是唐中後期朝廷財政收入的主要來源。
唐德宗時期，河北一帶的藩鎮叛亂，用來鎮壓叛軍的一支部隊趁勢佔領京師長安，德宗逃到漢中，用了4年的時間才平定，史稱涇原兵變。這雖然是藩鎮割據初年的叛亂，但是範圍卻越來越大。
從唐代宗李豫初年到唐德宗李適末年(762年—805年)，是割據形成發展時期。代宗廣德元年(763年)，安史之亂以史朝義自縊，其黨羽紛紛投降唐朝而宣告結束。但朝廷已無力徹底消滅這些勢力，便以賞功為名，授以節度使稱號，由其分統原安史所佔之地。計有李懷仙為盧龍(又名幽州或范陽，今北京)節度使，統治今河北東北部﹔李寶臣為成德(又名鎮冀或恆冀，今河北正定)節度使，統治今河北中部﹔田承嗣為魏博(今河北大名北)節度使，統治今河北南部、山東北部﹔薛嵩為相衛(今河南安陽)節度使，統治今河北西南部及山西、河南各一部，共四鎮。其後相衛為田承嗣所並，則成為三鎮，即河北三鎮，這三鎮名雖服從朝廷，實則獨立。軍中主帥，或父子相承，或由大將代立，朝廷無法過問。
與此同時，淄青(又名平盧，今山東益者)鎮大將李正己逐節度使侯希逸，唐亦授以節度使稱號，統治今山東地區，世襲相承達三代四人。在今湖北，山南東道(今湖北襄樊襄陽)節度使梁崇義也實行割據，統治今湖北西北部達十九年。建中二年(781年)，梁崇義被消滅，建中三年，淮西(治蔡州，今河南汝南)節度使李希烈又據鎮反叛，自稱建興王，並聯合已稱王的淄青、魏博、成德、盧龍四鎮節度使抗拒中央。唐德宗調集淮西鄰道兵攻討李希烈，諸道兵都觀望不前。777年，又調涇原(今甘肅涇川北)兵東援，十月，該軍路過京師時，發生叛亂，擁立留居長安的前盧龍節度使朱泚為秦帝。德宗出奔奉天(今陝西幹縣)。
興元元年(784年)正月，李希烈稱楚帝，改元武成。二月，入援朝廷的朔方(今寧夏靈武)節度使李懷光也叛亂，德宗又奔梁州(今陝西漢中)，唐朝政權處於最危險的境地。同年六月，平定了朱泚，貞元元年(785年)八月平定李懷光，二年四月，李希烈為部將所殺，河北、山東四鎮也表示重新服從中央，表面上又歸統一。德宗經過這場恐慌之後，轉為執行姑息政策，求得暫時安定。但也做了一些削藩的準備工作，一是加強禁軍(神策軍)，二是充實府庫。
從唐憲宗李純，永貞元年至元和末年(805年~820年)，是討伐叛鎮的時期。永貞元年(805年)八月，唐憲宗即位，在他祖父十多年努力之後，中央軍力和財力都有了一定基礎，他開始執行削藩政策。
元和元年(806年)，西川節度使劉闢進行叛亂。憲宗派左神策行營節度使高崇文、神策京西行營兵馬使李元奕等率軍前往討伐。劉闢屢戰屢敗，最後徹底潰敗被俘，被送到長安斬首。
元和九年(814年)九月，彰義(淮西)節度使吳少陽死，其子吳元濟匿喪不報，自掌兵權。朝廷遣使弔祭，他拒而不納，繼又舉兵叛亂，威脅東都。元和十年(815年)正月，李純決定對淮西用兵。淮西節度使駐蔡州汝陽(今河南汝南)，地處中原，戰略地位重要。自李希烈以來，一直保持半獨立狀態，李純對其用兵，正是改變這種狀態的決心表現。
對淮西用兵，震動很大。淄青節度使李師道感到威脅，就採用聲言助官軍討吳元濟，實際上支持吳元濟的兩面派手法，企圖鞏固自己的地位。元和十二年(817年)七月，李純命自願親赴前線的裴度以宰相兼彰義節度使。裴度立即奔赴淮西，與隨鄧節度使李愬等，大舉進攻吳元濟。九月，李愬軍首先攻破蔡州，大敗淮西軍。吳元濟沒有料到李愬軍快速異常，毫無防備地束手就擒。持續三年的淮西叛亂宣告結束了。吳元濟敗死，李師道恐懼，初欲獻地歸順朝廷，並以長子入侍為質，後又舉兵叛唐。元和十三年(818年)七月，憲宗調宣武、魏博、義成、武寧、橫海諸鎮前往討伐。在大兵莊境的情況下，李師道內部矛盾激化，其都知兵馬使劉悟殺李師道，淄、青、江州地被唐朝廷平定。
元和十四年(819年)七月，宣武節度使韓弘入朝，並兩次貢獻大量絹帛、金銀、馬匹，要求留在京師。李純以韓弘守司徒，兼中書令，另以吏部尚書張弘靖充宣武節度使。魏博節度使田弘正討伐李師道有功，李純以其兼侍中。他為了向憲宗李純表示忠心，使其兄弟子侄皆到朝廷做官。
元和十五年，唐憲宗死後，唐穆宗即位後主張"銷兵"(裁減兵員)。中央接收河朔，長官多昏庸驕矜。長慶元年(821年)盧龍發生兵變，將士囚禁朝廷派去的新節度使張弘靖，盡殺其幕僚，"河朔三鎮"復叛。新的割據者朱克融、王廷湊、史憲誠力主舊制。裴度的討伐軍無功而還，朝廷因軍費浩大，無法支撐長期作戰，只好承認現狀。不過此時藩鎮多少有所收斂，成德鎮節度使王元逵"歲時貢獻如職"。黃巢軍入長安，唐僖宗逃至成都，王元逵之孫王景崇率兵勤王，"供輸相踵"，王鎔"獻馬牛戎械萬計"。
從唐穆宗初至唐懿宗末(821年—874年)，是藩鎮復活並延續的時期。憲宗伐叛所創下的新局面沒有維持多久。由於長期戰爭，中央府庫的積蓄已經枯竭，憲宗晚年任用聚斂之臣，遭到百姓怨恨﹔新的統一局面，也使大臣們思想麻痺。元和十五年，憲宗死，穆宗即位後，"銷兵"(即裁減兵員)的主張盛行一時。銷兵雖可以節省財政開支，但被裁的士卒無可靠生計，卻是一個亂源。河北三鎮的將士幾十年不識中央委派的官吏，如今看到的卻皆是趾高氣揚把河北士兵視為降虜的昏庸驕奢之人。
長慶元年(821年)盧龍發生兵亂，將士囚禁朝廷派去的新節度使張弘靖，盡殺其幕僚。接著，成德軍將又殺自魏博移鎮成德的節度使田弘正(即田興)，朝廷命裴度統兵討伐，又命魏博節度使田布(田弘正之子)出兵助討成德，但將士不肯出力，要求田布行河朔故事(即恢復獨立狀態)，後田布自殺。經此，唐朝中央再也沒有恢復河北的打算。即使在唐朝尚能控制的區域內，也新出現一些較弱的割據者，如徐州大將王智興逐節度使崔群，自領軍務，朝廷即授以節鎮。澤潞(今山西長治)節度使劉悟擅囚監軍使劉承偕，朝廷無可奈何，宣佈流放劉承偕，劉悟才將其釋放。後來劉悟子孫三代據有澤潞。
唐武宗會昌四年(844年)，在李德裕主持下，平定了澤潞。這次被稱為"會昌伐叛"的勝利，對於穩定中央直接控制地區起了積極作用。總之，第三階段中，藩鎮有所復活並發展，不過程度不如第一階段之甚。在這段時間內，不論是在唐朝控制的地區，還是割據藩鎮控制的地區，都經常發生牙將逐帥的事件。這是藩鎮割據的另一種表現形態，是權力下移的象徵。
從唐僖宗乾符二年至唐亡(875年~907年)，是藩鎮相互兼併的時期。唐僖宗以後，社會矛盾激化，王仙芝、黃巢領導的唐末農民戰爭爆發，唐朝中央徵集各鎮士兵圍剿，並委任都統、副都統為統帥，實際上指揮並不統一。許多節鎮利用時機擴充自己的實力。全國逐漸出現了許多割據勢力，如楊行密、董昌、錢鏐等，伺機擴充自己的勢力。廣明元年十二月(881年1月)，黃巢攻破長安，唐朝中央政權瓦解。
這時在全國逐漸出現了許多割據勢力，有的原是唐朝的節度使(如高駢)﹔有的則是自己形成一個武裝集團之後，被唐朝授予節度使(如楊行密、董昌、錢鏐)。這樣，割據的藩鎮空前增多。農民起義軍失敗後，這些藩鎮立即轉入互相兼併的戰爭中，數十年戰爭不斷，幾乎遍及全國。天佑四年(907年)，名義上的中央朝廷也被藩鎮之一朱溫奪去了，演變為五代十國，成為唐朝藩鎮割據的延續。直到北宋統一，才結束這一局面。
黃巢叛將朱溫投降唐朝朝廷，並且平定黃巢軍，得到了唐僖宗的信任，朱溫做了節度使，勢力範圍遠遠超過當時控制範圍最大的藩鎮李克用。藩鎮立即轉入互相兼併的戰爭。到了唐昭宗時，朱溫還把朝政大權牢牢的控制住了。最後到了唐哀帝(唐昭宣帝)。藩鎮並未隨著唐朝滅亡而消失，整個五代十國時期都可以視作唐末藩鎮割據的延續，只不過部分藩鎮或許選擇不承認中原政權而完全獨立，以建立王國或帝國。一直到宋太宗滅掉北漢之時，才消滅藩鎮割據的局面。
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