日前，全球光刻巨子ASML（阿斯麦）正式宣布，EUV要进口到我国大陆彻底没有任何问题！2019年，我国大陆或将迎来首台 EUV光刻机。
众所周知，芯片是电子产品所必不可少的组件，芯片制作商要想成功地制作出芯片来，有必要用到光刻机。对芯片制作商来说，光刻机就是中心的出产设备。
现在，全球仅有极少数的光刻机设备厂商可以研制出高端光刻机，而荷兰的 ASML则具有全球晶圆厂光刻机设备高达8成的商场份额，在干式曝光机、滋润式光刻机， EUV （极紫外线光刻机）的商场简直处于独霸位置，台积电、三星、英特尔等世界半导体巨子都是其客户。
在国内，一向流传着一种声响....受西方《瓦森纳协议》的约束，我国只能买到 ASML的中低端产品，出价再高，也无法购得 ASML的高端设备。乃至还有人以为，台积电、三星等在制程上之所以大幅抢先中芯世界，首要是由于 ASML最先进的光刻机对大陆禁售。
那么， ASML的 EUV光刻机真的对大陆禁售？到底是受产值约束，仍是相传遭到世界公约《瓦森纳协议》的限制？
近来， ASML我国区总裁金泳璇在承受媒体（ DIGITIMES ）采访时正式弄清， ASML对大陆晶圆厂与世界客户天公地道，只需客户下单， EUV要进口到我国彻底没有任何问题。在交期方面，一切客户也都彻底一致，从下单到正式交货，均为21个月。
他还泄漏，现在已有大陆晶圆厂巨子与 ASML打开7纳米工艺制程的 EUV订单洽谈，2019年大陆首台 EUV可望落地。
值得一提的是，中芯世界正好在本年3月发誓进军7纳米，还表明已和 ASML到达协作。由此看来， ASML所说的“大陆晶圆厂巨子”应是中芯世界无疑了！
作为集成电路制作进程中最中心的设备，光刻机至关重要，芯片厂商想要进步工艺制程，没有它万万不可，我国半导体工艺为啥进步不上去，光刻机被禁售是一个首要因素。
不过，假如这家芯片代工厂选用 EUV光刻技能，所用出产时长将会大幅缩短，而且产品良率也会进步许多。 EUV最大的长处就是20多天即可出厂，而用其他工艺则要80多天。
所以说，大规模量产有必要要用到 EUV 。而且，没有 EUV光刻机，大陆晶圆代工厂在7纳米之战中毫无胜算！
问：针对国内商场、客户，各方现在传出许多声响，传闻国内晶圆厂都预订不到 EUV光刻机“有钱难买 EUV ”？
答：首要，我有必要弄清这绝非现实。我国本地的晶圆厂与一切世界客户，于 ASML而言都是天公地道的，只需是承认订单， EUV要进口到我国彻底没有任何问题
由于 EUV零组件多达5万多个部件，从客户下单到正式交货，交期约21个月，这个情况，对每个客户都是彻底一致的。
现实上，大陆客户已进入7纳米工艺制程技能研制阶段，而且与 ASML打开 EUV的商谈。假如终究订单承认，最快预期2019年 EUV会初次移入我国晶圆厂，咱们对在我国客户装入我国第一台 EUV光刻机，抱持达观的等待。一起以为一旦一家我国客户选用，其他客户也会快速跟进。
问： EUV似乎是继续推动摩尔定律、连续未来纳米工艺往下延伸的要害，未来进一步规划与 ASML对摩尔定律的观点？
答：毫无疑问摩尔定律会继续下去但每一制程技能节点之间的时刻会延伸，技能与本钱门槛变得更高
滋润式显影技能走到三重曝光( triple-patterning )阶段，本钱已然超越 EUV ，出产交期更长、技能更为杂乱，从量产的性价比视点， EUV在7纳米以下技能节点已归于最适计划。
现在 EUV光源现已可达250 watt ，到达每小时量产125片12吋晶圆，下一阶段5纳米技能节点以下 High-NA EUV现已在布局研制。
问：现在我国商场事务布局与出售情况如何？2017年全年生长起伏与2018年的增加率预估？
答：全球半导体职业地图位移，不只本地晶圆厂，包含世界晶圆厂也在添加我国出资， ASML预期，我国光刻机商场规模具30亿欧元潜力。
整体而言，现在 ASML在我国商场的装机量累积已达约500台，2018年可望续增超越50台的装机量。不只一线大客户，还包括许多中、小型晶圆厂合计多达40多家客户。
从出售额轨道来看，我国商场出售额在2013-2015年保持相等，2016年微幅生长至6亿欧元，2017年上半年我国商场出售水平已达4亿欧元，因而本年将较去年将有显着增加。
由于我国晶圆厂2018-2019年继续投入本钱扩大产能， ASML 2018年出售很可能创下我国区出售新高的纪录，而2019年也会继续呈现更显着的跳跃式增加。
我国大陆的土地上从来就没有过EUV光刻机，天然没有相关的技能服务、售后人员，确切的说，我国大陆土地上的Fab的 ArF-Immersion 1970Di光刻机呈现疑难杂症问题时，都还要从荷兰ASML总部请工程师过来troubleshooting，更甭说EUV了。SK海力士在无锡的Fab 2016年光刻机出毛病时，我国大陆无人可以进行修补保护，还得从荷兰请人。荷兰ASML工程师的人工海外工时本钱高倒不是最挠人的事，最挠人的是芯片出产是分秒必争，多罢工一天，赢利丢失都是以亿核算的。三星和台积电一向争夺瓦森纳协议系统答应其在我国大陆的子公司Fab的设备收购自主权。
不过呢，现在，三星、Intel、台积电最需求关怀的不是瓦森纳协议系统的冗杂手续和禁令，而是ASML的产能缺乏，全球半导体三巨子（intel，三星，台积电）作为ASML的股东兼研制投入战略协作者，三家巨子享有ASML的设备优先供货权，可现在ASML产能太紧张了，连这三个店主的订单需求都不能满意。三巨子得在争夺订单中相互进行卡位战了。7月份ASML在陈述中表明积压了多达21台EUV光刻机订单，每台EUV光刻机的订单本钱高达1.5亿美元（10亿人民币），本年前3季度只交给了7台EUV光刻机，从第三季度开端ASML的产能有所扩产，但估计全年也只能交给12台EUV光刻机。
即使瓦森纳系统对半导体三巨子在瓦森纳系统以外国家区域的子公司Fab的设备收购权松绑，现在三星、台积电、intel也底子没有才能在瓦森纳系统以外的经济体的Fab中铺设EUV产线，由于ASML的EUV产能太紧张了，连韩国、台湾、美国本乡自己的Fab产线晋级需求都不行。光韩国水原市平和泽市的16个估计进入个位数纳米制程的DRAM芯片厂、NAND芯片厂、LSI芯片厂就需求至少 75台EUV，即使ASML2018年产能进步到抱负情况的24台，3年内连满意韩国疆域内Fab都不行，加上台积电、intel的本乡Fab，哪还有产能输送到半导体三巨子在瓦森纳系统以外国家的子公司Fab啊？
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