3月4日，中芯國際集成電路製造（深圳）有限公司從荷蘭進口的一臺大型光刻機順利通過出口加工區場站兩道閘口進入廠區。據悉，這臺機器主要用於企業復工復產後的生產線擴容。
中芯國際總部位於上海，擁有全球化的製造和服務基地。在上海建有一座300mm晶圓廠和一座200mm晶圓廠，以及一座控股的300mm先進製程晶圓廠在建設中；在北京建有一座300mm晶圓廠和一座控股的300mm先進製程晶圓廠；在天津和深圳各建有一座200mm晶圓廠；在江陰有一座控股的300mm凸塊加工合資廠。
據悉，此次為深圳廠區預定的光刻機。
中芯國際購買荷蘭ASML公司光刻機可謂一波三折。早些時候，中芯國際購買荷蘭ASML公司預定一臺EUV光刻機，隨後遭到美國干預導致荷蘭ASML公司延遲發貨。目前來看，不清楚此次到貨的光刻機是否為之前訂購的EUV光刻機還是上一代光刻機。
中芯國際公司關務經理羅榮慧介紹，坪山海關一系列服務措施，保障了設備第一時間進入廠區完成安裝進入生產，生產線擴容後全年預計可為企業增加10%左右的營收。
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