03.08 中芯國際迴應深圳進口設備:非EUV光刻機

中芯國際回應深圳進口設備:非EUV光刻機

集微網消息(文/Jimmy),今日有媒體報道稱,3月4日,中芯國際集成電路製造(深圳)有限公司從荷蘭進口的大型光刻機順利通過出口加工區場站兩道閘口進入廠區。據悉,這臺機器主要用於企業復工復產後的生產線擴容。

對此,中芯國際回覆集微網稱,此次設備為正常導入,用於產能擴充,並非外界所稱的EUV光刻機。(校對/七七)



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