3月6日，中芯國際深圳工廠從荷蘭進口了一臺大型光刻機，但這是設備正常導入，用於產能擴充，並非外界所稱的EUV光刻機。
值得一提的是，2018年，中芯國際斥資1.5億美元向荷蘭阿斯麥爾（ASML）購買一臺EUV光刻機。但因美國等國家在背後阻攔，這臺光刻機至今未能按照既定日期交付。而此事件的最新消息也備受國人關注。
該EUV光刻機主要用於7nm及以下製程。中芯國際目前量產的最先進製程為第一代FinFET 14nm，已貢獻2019年第四季度1%營收。
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