3月6日,中芯国际深圳工厂从荷兰进口了一台大型光刻机,但这是设备正常导入,用于产能扩充,并非外界所称的EUV光刻机。
值得一提的是,2018年,中芯国际斥资1.5亿美元向荷兰阿斯麦尔(ASML)购买一台EUV光刻机。但因美国等国家在背后阻拦,这台光刻机至今未能按照既定日期交付。而此事件的最新消息也备受国人关注。
该EUV光刻机主要用于7nm及以下制程。中芯国际目前量产的最先进制程为第一代FinFET 14nm,已贡献2019年第四季度1%营收。
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2020-03-07 15:51:42 史料科普挖掘機
3月6日,中芯国际深圳工厂从荷兰进口了一台大型光刻机,但这是设备正常导入,用于产能扩充,并非外界所称的EUV光刻机。
值得一提的是,2018年,中芯国际斥资1.5亿美元向荷兰阿斯麦尔(ASML)购买一台EUV光刻机。但因美国等国家在背后阻拦,这台光刻机至今未能按照既定日期交付。而此事件的最新消息也备受国人关注。
该EUV光刻机主要用于7nm及以下制程。中芯国际目前量产的最先进制程为第一代FinFET 14nm,已贡献2019年第四季度1%营收。
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