有媒體報道，中芯國際向ASML訂購的光刻機一而再的被阻礙。年11月份，有媒體報道，受到了美國的壓力ASML將暫停向中芯國際供貨。今年1月份，ASML CEO對外表示，已經向荷蘭政府提交了中國客戶出貨的申請，但一直在審批。
其實中芯國際早在2018年中旬向ASML訂購的這臺EUV光刻機，價格為1.2億美元，預計在2019年底交付，2020年正式安裝，但如今ASML始終沒有交付。
ASML首席執行長Peter Wennink表示：“到目前為止，Covid-19的爆發對ASML的生產能力影響有限，此外，從客戶的角度來看，今年我們的系統需求沒有減少。”
他解釋說，第一季度的短缺背後有三個關鍵的影響。第一起事件與延遲向武漢運送更傳統的深紫外線(DUV)光刻設備有關，武漢是新型冠狀病毒爆發的最初中心，那裡的運輸和旅行限制已經實施了數月。
Peter Wennink補充道：“其次，我們的供應鏈出現了一些問題，目前已經得到了解決。再加上第一款NXE:3400C (EUV)最終配置的週期比最初計劃的要長，這導致了一些發貨延遲。”
中芯國際的7nm以下製程將使用ASML供應的這臺EUV光刻機，目前中芯14nm已經進入量產，12nm也已經有了重大突破。
之前中芯國際聯席CEO梁孟松博士首次公開了中芯國際N+1、N+2代工藝的情況，透露N+1工藝相比於14nm性能提升20％、功耗降低57％、邏輯面積縮小63％，SoC面積縮小55％，之後的N+2工藝性能和成本都更高一些。總之，即便中芯國際的N+1工藝在性能上還有一定差距，但是國產的7nm級工藝今年底就會問世了。
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