有媒体报道，中芯国际向ASML订购的光刻机一而再的被阻碍。年11月份，有媒体报道，受到了美国的压力ASML将暂停向中芯国际供货。今年1月份，ASML CEO对外表示，已经向荷兰政府提交了中国客户出货的申请，但一直在审批。
其实中芯国际早在2018年中旬向ASML订购的这台EUV光刻机，价格为1.2亿美元，预计在2019年底交付，2020年正式安装，但如今ASML始终没有交付。
ASML首席执行长Peter Wennink表示：“到目前为止，Covid-19的爆发对ASML的生产能力影响有限，此外，从客户的角度来看，今年我们的系统需求没有减少。”
他解释说，第一季度的短缺背后有三个关键的影响。第一起事件与延迟向武汉运送更传统的深紫外线(DUV)光刻设备有关，武汉是新型冠状病毒爆发的最初中心，那里的运输和旅行限制已经实施了数月。
Peter Wennink补充道：“其次，我们的供应链出现了一些问题，目前已经得到了解决。再加上第一款NXE:3400C (EUV)最终配置的周期比最初计划的要长，这导致了一些发货延迟。”
中芯国际的7nm以下制程将使用ASML供应的这台EUV光刻机，目前中芯14nm已经进入量产，12nm也已经有了重大突破。
之前中芯国际联席CEO梁孟松博士首次公开了中芯国际N+1、N+2代工艺的情况，透露N+1工艺相比于14nm性能提升20％、功耗降低57％、逻辑面积缩小63％，SoC面积缩小55％，之后的N+2工艺性能和成本都更高一些。总之，即便中芯国际的N+1工艺在性能上还有一定差距，但是国产的7nm级工艺今年底就会问世了。
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