早在2018年底，中微半導體就曾對外透露，其自主研發的5nm等離子體刻蝕機經臺積電驗證，性能優良，將用於臺積電的全球首條5nm製程生產線。值得一提的是，中微半導體也是唯一進入臺積電7nm製程蝕刻設備的大陸本土設備商。據悉，中微半導體與臺積電在28nm製程時便已開始合作，並一直延續到10nm和7nm製程。
近日，中微半導體發佈會了在2019年的財報，2019年的收益達到了19.47億元，同比增長為18.77%，而歸母淨利潤為1.89億，同比增長為107.51%，年報中表示公司開發的高端刻蝕設備已在各大國際知名廠商的65nm到7nm的芯片生產線上。
另外，財報還顯示，中微半導體根據客戶的需求已經開發出了5nm刻蝕設備，並且獲得了行業領先客戶的批量訂單。雖然財報並未公開該“領先客戶”的具體名字，不過應該可以確認是臺積電，因為現在只有他們量產了5nm工藝。
而中微半導體5nm刻蝕機成功獲得臺積電的批量採購，也反應了中國廠商在半導體設備領域的大突破。
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