05.23 北方華創穫2.1億元重大專項補助

5月22日，半導體設備廠商北方華創（002371.SZ）公告稱，公司及旗下全資子公司北方華創微電子收到北京經信委撥付的國家科技重大專項地方政府配套資金合計20978.00萬元。

根據公告，這次撥付的配套資金項目有四個，分別是“45-32nm LPCVD設備產業化”項目、“14nm立體柵等離子體刻蝕機研發及產業化”項目、“28-14nm原子層沉積系統（ALD）產品研發及產業化”項目、“14-7nm CuBS多工藝腔室集成裝備研發及產業化”項目。

這四個項目均屬於國家科技重大專項02專項。2006年國務院發佈《國家中長期科學和技術發展規劃綱要（2006-2020年）》確定發展16個重大專項，其中“極大規模集成電路製造裝備及成套工藝”被列為“02專項”，該專項於2008年國務院批准實施。

02專項成立後，組織“產學研”聯合開發，向世界先進芯片技術節點攻關並推動裝備國產化，北京市作為組織牽頭單位，對項目承擔單位予以資金扶持，當時的北方微電子、七星華創（北方微電子、七星華創後重組為“北方華創”）等產業鏈企業開始集體攻關。

北方華創的四個項目中，“45-32nm LPCVD設備產業化”項目執行期六年（2011年~2016年），本次北方華創收到地方政府配套資金2328.00萬元。據報道，北方華創已完成LPCVD的攻克任務，其LPCVD設備已成功進入中芯國際12英寸生產線。

“14nm立體柵等離子體刻蝕機研發及產業化”項目執行期四年（2014年-2017年），本次北方華創微電子收到地方政府配套資金9423.00萬元。北方華創在2017年年報中表示“目前所承擔的02專項在研課題14nm製程設備也已交付至客戶端進行工藝驗證。”

“28-14nm原子層沉積系統（ALD）產品研發及產業化”項目執行期四年（2015-2018年），本次北方華創微電子收到地方政府配套資金4811.00萬元。2017年北方華創已推出其量產型單片ALD設備，並於2017年12月5日進駐上海集成電路研發中心。

“14-7nm CuBS多工藝腔室集成裝備研發及產業化”項目執行期四年（2016年-2019年），本次北方華創微電 子收到地方政府配套資金4416.00萬元。

02專項中政府補助經費是由中央財政資金及地方政府配套資金在項目執行期內分批撥付，本次僅為部分資金。

2017年5月，北方華創也曾收到了“14nm立體柵等離子體刻蝕機研發及產業化”項目、“28-14nm原子層沉積系統（ALD）產品研發及產業化”項目、“14-7nm CuBS多工藝腔室集成裝備研發及產業化”項目的地方政府配套資金共約1.9億元。據系，這三個項目總經費分別為12.35億元、5.51億元、6.78億元，政府承諾將補貼8億元、3.6億元、2.98億元。

公告稱，公司將本次政府補助到賬資金作為遞延收益，在相關資產達到預定可使用狀態後，在資產的使用期限內平均分攤計入損益，截至公告日，相關資產尚未達到可使用狀態。北方華創預計本次政府補助資金不會影響公司2018年度稅前利潤總額。