總部位於荷蘭的ASML脫胎于飛利浦，於1984年成立，至今所經營的產品主要還是光刻機。ASML憑藉自己多年在行業中所積累的技術和經驗，在2017年取得的收入又創出新高，淨利潤也同步大增。ASML的收入大致分為兩個部分，一個是通過向客戶供應極紫外EUV、深紫外DUV光刻機等設備獲得的收入（在ASML當年的營收中佔比達七成左右），另一個就是為客戶提供設備安裝、系統升級等服務獲得的收入（在ASML當年的營收中佔比約三成）
光刻機原理是把高精密底片底版投射到晶原片上。難的是高精度。需要精密的光學鏡頭，和精密的對焦穩定，和散射極低的光源激光。鏡頭虛，有云翳，不行，對焦絲扣不勻不細，不穩，不行。光源散射也不行。要比千分尺(螺旋測微器)更細更穩。
用螺旋測微器原理，精密螺紋調焦對焦，穩定相距焦平面。
工作臺的膨脹，減震，連續工作的精準。都對精度要求極高。
小試驗室小作坊，做一兩個己經很難，大批量生產，精度就更難。
其實這些年來，國內早就有設備廠商，以及研究機構在對光刻機進行研發。如上海微電子、中電科四十五所、中電科四十八所等
有志於此的公司和青年人，可以嘗試用光刻機先刻平臺對焦螺紋，這比車床精密多了，用光刻機刻出的對焦螺紋，和對焦平臺，配上用光刻機刻的底版，再往硅原片上刻。別怕，咱中國有的是硅原片，供的起搞研發。
分享到:
閱讀更多 味知先覺 的文章
