南韓財經媒體Business Korea報導，艾司摩爾（ASML） 是全球唯一用於半導體生產的極紫外光（EUV）曝光設備製造商。然而，由於新冠肺炎疫情，這家荷蘭廠商很難出口其設備，對三星電子和臺積電等全球半導體大廠造成負面影響。有些專家說，相較於臺積電，三星電子所受的傷害將更大。
報導說，艾司摩爾的設備遲延交貨正迫使這兩家晶圓代工大廠改變其開發與生產路線圖。臺積電正在考慮將3納米芯片的試產從6月延至10月；三星電子預定今年開始大規模生產5納米半導體，但延後似乎是在所難免。
Business Korea指出，這種情況對三星造成的痛苦比臺積電更大。臺積電計劃在今年第2季為蘋果、高通（Qualcomm）、華為及超微（AMD）生產5納米芯片。臺積電搶先三星一步，後者尚未提出大規模生產5納米產品的詳細時間表。
去年，以臺積電為首的臺灣企業席捲了艾司摩爾的EUV設備，佔這家荷蘭公司總銷售額的51％，南韓企業則只佔16％。儘管三星去年購買了包括用於生產DRAM的EUV設備，但相較於臺積電，該公司為晶圓事業購買的EUV設備還不夠。
報導說，三星電子有信心於2030年在這個系統半導體市場奪下龍頭寶座，但問題在於，該公司在晶圓代工市場與臺積電的差距正在擴大中。集邦科技公司（ TrendForce）表示，臺積電2020年第1季在晶圓代工市場的市佔較前一季增加1.4個百分點至54.1％，而三星電子則下降1.9個百分點至15.9％。
EUV製程技術的晶圓代工市場是三星電子和臺積電兩強爭霸的競爭。如果三星電子未能在技術上領先，則與臺積電的市佔差距勢必會被拉大。
三星電子是第一家在晶圓代工製程引進EUV的公司，但未能確保微製造製程的技術優勢。如果三星電子在微製造競爭中落後臺積電，就幾乎不可能從蘋果和高通等資訊科技產業大廠獲得半導體訂單。
三星電子副董事長金基南在3月股東大會上說：「三星電子與臺積電在晶圓代工業務是有差距，但我們將透過在新制程取得領導地位來發展我們的晶圓代工業務。」 但若延遲引進EUV設備，該公司將無法在新制程取得領導地位。
臺積電坐穩5nm，直搗3nm
在三星被限制的同時，有媒體指出，因為蘋果的支持，臺積電5nm全速備產，針對昨日臺積電3nm延期的新聞，他們的回應也是一切如常。
疫情爆發至今約莫3 個月的時間，對景氣、全球產業的影響也陸續浮上臺面，截至目前看來，半導體產業受到的影響相對有限，訂單能見度至少有2 個月，多數公司仍給出第一季淡季不淡的預期。而臺積電身為半導體產業領頭羊，市場也持續關心，公司未來業績展望以及在先進製程的佈局進度。
2019 年，臺積電憑著7納米的超凡製程「再創奇蹟」，今年市場目光焦點轉向即將量產的5 納米。臺積電總裁魏哲家於前次法說會尚預估，2020 年整體7 納米制程（7 納米、7 納米加強版、6 納米）營收佔比將超過30%；而5 納米制程部分，高產能需求客戶很多，預期5 納米量產會跟7 納米一樣順利，今年估佔營收10%。法人依此估算，今年16 納米以下先進製程佔比有望達到6-7 成。
供應鏈透露，5 納米Ramping 非常順利（初期生產），且初期產能己幾乎被預訂一空，目前已拉昇到2~2.5 萬片/ 月的規模，預計今年第三季衝到7~8 萬片。5 納米第一波主要客戶為蘋果、華為海思；而日前臺積電宣佈與與博通攜手合作強化CoWoS 平臺，未來也可望採用5 納米制程，還有超微（AMD）、高通等大廠，皆將陸續加入投片行列。
3 納米之爭 戰術大不同
臺積電在5 納米取得先機，將成為全球首家量產廠，而下一世代節點3 納米技術也已定案，據供應鏈表示，目前3 納米已走出尋找路徑階段（pathfinding），成立ONE TEAM（RD 交付量產第一步），臺南18B 廠預計第三季進機開廠。
回顧過去，自2012 年英特爾（Intel）率先在22 納米採用FINFET（鰭式場效應電晶體，Fin Field-effect transistor）技術之後，全球主要晶圓廠就依此互相較勁，一路延續到5 納米。而三星先前已公開表示，3 納米將採GAA（環繞式閘極結構，ate-All-Around，GAA）製程，預計2021 年進入量產，而臺積電會如何接招，備受關注。
臺積電將在4 月29 日的北美技術論壇上正式發表3 納米技術細節，業內傳出，臺積電將沿用FINFET 製程，來力抗對手。進一步探究箇中原因，主要是商業考量因GAA 目前良率太低，若現在就開始大幅量產並不具經濟效益，相較之下，若採用FINFET 製程而達到相似的效能，反而更具成本優勢。
該名業內人士也說，隨摩爾定律走到極限，大家都在尋找進一步提升效能的方法，GAA 製程的performance 一定比FINFET 好，但GAA 也不是多新的技術，大家都可以做，只是該如何做，又要如何與成本之間取得平衡，均是商業戰術的考量。臺積電早已著手研究GAA，預期下一代節點（2 納米）導入的機率較高。
再來追溯到臺積電輝煌的28 納米年代，那時，感受到壓力的三星跳過20 納米直攻14 納米，試圖超車臺積電，而臺積電則是按照自己的步調，從20 納米、 16、12 納米穩健前進。最後事實證明，搶快不一定能贏，這麼多年下來，臺積電仍穩居市佔龍頭，根據TrendForce 旗下拓墣產業研究院預估，臺積電2019 年第四季市佔率達52.7%，遙遙領先第二名的三星（佔17.8%）。
分析師指出，短期內疫情對全球產業帶來一些雜音，惟無損臺積電在先進製程的霸主地位，特別是先進製程產能彌足珍貴，就算手機大廠調整訂單，也會有其他客戶搶著遞補上來。
而在最壞的情況下，若疫情對終端需求帶來巨大沖擊，各產業恐都無法倖免於難，只是受傷程度不一，臺積電擁有堅實的護城河，自是相對輕微，且憑著高市佔、超凡製程等絕對優勢，待需求回升時，可望迎來爆發性成長。
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