導讀： 在全國人民抗擊新冠病毒肺炎疫情關鍵時期，新疆眾和股份有限公司一手抓疫情防控，一手抓生產經營。日前，該公司成功開發出了國內領先的全套超高純鋁濺射靶基材生產工藝和技術，成為獨立於歐洲海德魯鋁業公司、日本住友化學體系公司外的第三條完整產業鏈。通過多方驗證，產品全面符合市場要求，成功實現了批量供貨。
打破國外壟斷，為中國半導體產業保駕護航
國內首條超高純鋁濺射靶基材生產線實現批量生產
在全國人民抗擊新冠病毒肺炎疫情關鍵時期，新疆眾和股份有限公司一手抓疫情防控，一手抓生產經營。日前，該公司成功開發出了國內領先的全套超高純鋁濺射靶基材生產工藝和技術，成為獨立於歐洲海德魯鋁業公司、日本住友化學體系公司外的第三條完整產業鏈。通過多方驗證，產品全面符合市場要求，成功實現了批量供貨。
高純濺射靶材是伴隨著全球半導體工業的發展而興起的，集成電路產業成為目前高純濺射靶材的主要應用領域之一，半導體用靶材基材製備被譽為材料製備工業王冠上明珠。
一段時間以來，中國擁有鋁基生產濺射靶材所需的各種基礎礦源，但金屬提純技術主要由美國、日本、挪威、法國等國家掌握。國內靶材廠商主要通過從國外進口獲得高純金屬及基材供應，每年達數千噸，價格較高且不能及時交貨。
新疆眾和作為我國鋁電子新材料研製企業，是國內最早規模開發、生產高純鋁的企業，積累了30餘年的高純鋁研發生產經驗。在公司上下同心的全力支持下，公司破釜沉舟，克服重重困難，開始了十餘年的超高純鋁濺射靶基材研發之路，通過與集成電路相關企業承擔國家專項項目聯合研發，決定建設超高純鋁濺射靶基材中試工廠，相繼克服了超高純鋁（5N5）規模生產過程中雜質元素汙染、產品表面質量及內部晶粒組織細化控制、氫含量必須小於0.1ppm、晶粒取向控制等一系列難題，最終打通了超高純鋁濺射靶基材的工藝技術，成為國內唯一一家可以規模生產超高純鋁濺射靶基材企業，鋁純度可達到99.9995%（5N5）。同時，新疆眾和、東北大學聯合申報的“潔淨、細晶5N5超高純鋁的製備關鍵技術及應用”項目還榮獲2019年中國有色金屬工業科學技術獎一等獎。
新疆眾和 劉建昊、席德雄
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