中國昊華集團

背景：

國家集成電路產業投資基金二期股份有限公司於2019年10月22日成立，國內半導體材料細分龍頭企業將迎來風口。去年9月初的半導體集成電路零部件產業峰會上，大基金管理人曾透露，二期基金將會對刻蝕機、薄膜設備、測試設備及清洗設備等領域保持高強度的支持，推動相關龍頭企業做大做強。

半導體材料細分領域的關鍵材料除了硅片、光刻膠、光掩模板、CMP拋光材料等之外，高純特種氣體也是極其重要的材料之一。據統計2018年國內半導體用電子特氣市場規模約4.89億美元，2019年規模超過5億美元。經過多年的發展，我國半導體用電子特氣在國產替代方面已經取得了不錯的成績。

電子特種氣體

何為電子特種氣體，電子特種氣體是指用於半導體及其它電子產品生產的氣體。與傳統的工業氣體相比，電子氣體特殊在氣體的純淨度要求極高，所以稱為電子特種氣體。電子特氣應用於集成電路製造的多個環節，主要包括氮氣、氫氣等大宗氣體及沉積、摻雜、刻蝕等工藝氣體。

全球半導體細分領域產值

上圖可見，電子特氣2018年全球半導體原材料細分領域產值已經晉升為42.7億，規模在細分領域中排第二位，可見其重要性。

電子特氣在集成電路製造多個環節具有重要作用

電子特氣的應用

電子特種氣體由於其品種繁多，並且在半導體制程工藝中覆蓋廣泛，因此成為衡量半導體技術的核心產品。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學氣相沉積用氣體、載運稀釋氣體七類。目前，全球特種氣體市場國外佔比88%，國內氣體公司僅佔12%市場份額。隨著半導體集成電路技術的發展，對電子氣體的純度和質量也提出了越來越高的要求。電子氣體的純度每提升一個數量級，對下游集成電路行業都會產生巨大影響。

電子氣體在半導體領域的份額

電子氣體位列第二大半導體材料

電子氣體主要應用於半導體、平面顯示、太陽能電池等領域，其中在集成電路中的應用佔比最高，達到42%，其次是平板顯示行業，佔比37%。在晶圓的電子級硅製造、化學氣相沉積成膜等工藝中均需電子氣體。

電子氣體應用領域

電子氣體需求分佈

電子特氣應用一

電子特氣應用二

技術壁壘高，國外企業雄霸市場多年

●深度提純難度大，而純度是電子氣體質量最重要的指標

芯片加工過程中，微小的氣體純淨度差異將導致整個產品性能的降低甚至報廢。電子氣體度往往要求5N-6N級別，還要將金屬元素淨化到10-9級至10-12級。氣體純度每提高一個層次對純化技術就提出了更高的要求，技術難度也將顯著上升。

●輸送及儲運對器件要求極高

高純氣體的生產和應用要求使用高質量的氣體包裝儲運容器、相應的氣體輸送管線、閥門和接口，要求相應器件耐高壓、耐高真空，對於腐蝕性氣體要求耐腐蝕，以避免二次汙染的發生。而且隨著氣體純度的提高和產品種類的增多，對新的運送和儲存設備提出了新的要求。

●分析檢測與質量控制要求水平高

超高純電子氣體需要對ppm(10-6)至ppb(10-9)級別的雜質進行分析，金屬離子更是要求檢測限達到ppb(10-9)至ppt(10-12)級別。

●國際市場集中度極高，國內市場外資企業壟斷嚴重

據國際半導體協會Semi統計2016年全球集成電路用電子氣體市場規模約為36.1億美元。我國集成電路用電子特氣的市場規模約46億元。2016年我國電子特氣市場規模達到46億元。雖然我國電子氣體已經擺脫完全依賴進口的狀態，但面對國外化工巨頭已經實現的市場壟斷，國內企業依然面臨巨大的競爭壓力。

全球集成電路電子氣體市場規模（億美元）

中國集成電路電子氣體市場規模（億元）

國際知名電子特種氣體供應商包括美國氣體化工和普萊克斯、德國林德集團、日本昭和電工、酸素公司和大陽日三通桂式會社、英國BOC公司、法國液化空氣等，其中美國氣體化工、美國普萊克斯、法國液化空氣、日本大陽日酸株式會社和德國林德集團五家公司壟斷全球特種氣體91%的市場份額。

全球電子氣體市場份額

外資巨頭壟斷電子氣體市場；來中國國內電子特氣企業技術與國外仍然存在較大差距，電子特氣市場仍被外企主導。截止2016年年底，國內方面電子特種氣體行業集中度高，美國化工、普萊克斯、日本昭和電工、英國BOC公司(已被德國林德集團收購)、法國液化公司、日本大陽日酸等六家公司合計市場份額高達85%，國內企業主要集中中低端市場。

昊華科技：始於“兩彈一星”的研發平臺，國內高純六氟化硫龍頭

公司此前為天一科技，主營變壓吸附氣體分離技術及成套裝置、催化劑產品、碳一化學及工程設計。2018 年底中國昊華將旗下 11 家化工研究院注入上市公司體內，並更名昊華科技。2018 全年及 2019 年三季度，公司分別實現營收 41.8億元、 33.3 億元，同比分別增長 15%、 13%；分別實現歸母淨利 5.25、 3.3 億元，同比分別增長 61%、 -1.86%。

昊華科技營收

由於中國化工集團下屬研究院數量較多，公司業務板塊細分領域較廣，除天一科技原有變壓吸附及相關工程和催化劑外， 還包括電子氣體、氟材料、聚氨酯、化學推進劑、塗料等業務。2018 年報中公司電子氣體業務佔營收比重 7%， 毛利潤比重 8%，毛利率為 34%。2019 中報公司披露口徑將電子氣體、聚氨酯和化學推進劑合併披露，三者合計佔營收比重 25%，毛利潤比重 29%。

公司特氣產品主要位於下屬黎明院和光明院體內。黎明院的前身是原化工部直屬的科研院所，是為了“兩 彈一星”任務，以化學推進劑及原材料研製為主業發展起來的綜合性研究開發機構。2002 年黎明院就開始了高純六氟化硫的研製工作，2006 年投產產能達到 3000 噸，工業級產品主要用於電子設備絕緣，2006年左右隨國家對基礎電力行業的大力發展迅速佔領市場。高純 SF6 產品取代 NF3 用CVD 清洗工藝可有效降低成本，公司 產品 2006 年就已達到 5N 級並逐步通過客戶認證，當前已經達到 5N5 級，為國內高純六氟化硫龍頭。三氟化氮方面，公司與韓國大成合資建設產線一期 1000 噸於 2015 年 3 月動工，2016 年 7 月達產，二期 1000 噸也已經 於 2018 年 10 月投產。

光明院前身最早可追溯至化學工業部大連化工研究所，後經國有化工科研院所管理體制的多次變化，轉製成為全民所有制企業，並更名為光明化工研究設計院。光明院此前為生產高能燃料乙硼烷（NaH+BF3→B2H6+NaF） 開展了三氟化硼的合成、分析、絡合的研究。國家科委基礎研究和新技術局分別同光明化工研究設計院、北京氧氣廠、浙江大學和保定紅星單晶硅廠簽訂了超純氣體、烷類氣體研製攻關合同，氣體品種包括 SiH4、PH3、 B2H6、 AsH3、BF3、NH3、HCl 等“六五”攻關項目。至 2010 年 7 月，來自光明化工院的消息稱其自主研發的超純氨產 品及配套技術目前已經大規模用於航空航天、光伏太陽能領域。

當前黎明院特氣產品主要為三氟化氮、六氟化硫，兩者產能分別為 2000 噸、2800 噸；光明院在大連投建 特氣研發生產基地項目，產品包括超純氨 1000 噸、綠色四氧化二氮 40 噸、硫化氫 200 噸、硒化氫 20 噸、三氟 化硼 1 噸、磷烷、硼烷、砷烷共 3 噸、高純氯 50 噸、二氧化碳-環氧乙烷混合氣熏蒸劑 300 噸， 2019 年已經投產。

三氟化氮（NF3）

三氟化氮在半導體工業中主要用於化學氣相澱積（CVD）裝置的清洗。三氟化氮可以單獨或與其它氣體組 合，用作等離子體工藝的蝕刻氣體，例如，NF3、NF3/Ar、NF3/He 用於硅化合物 MoSi2的蝕刻；NF3/CCl4、NF3/HCl 既用於 MoSi2的蝕刻，也用於 NbSi2的蝕刻。

三氟化氮是微電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅蝕刻，採用三氟化氮比四氟化碳和四 氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對錶面無汙染，尤其是在厚度小於 1.5um 的集成電 路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留任何殘留物，同時也是非 常良好的清洗劑。三氟化氮的製備方法主要有直接化合法和氟化氫銨熔融鹽電解法兩種。

六氟化硫（SF6）

作為重要的含氟氣體材料，六氟化硫被廣泛應用於電力設備行業、半導體制造業、冷凍工業、有色金屬冶 爍、航空航天、醫療（X 光機、激光機）、氣象（示蹤分析）、化工等多個行業和領域。由於六氟化硫具有優良 的絕緣性能和減弧能力，工業級六氟化硫廣泛應用於電力設備中的輸配電及控制設備行業，包括氣體絕緣開關 設備、斷路器、高壓變壓器、絕緣輸電管線、高壓開關、氣封閉組合電容器、互感器等，是繼第一代空氣、第 二代油之後的第三代絕緣介質。而電子級六氟化硫則主要應用於半導體及面板晶示器件生產工藝中的蝕刻與清 洗，具有用量少、純度高、對生產及使用環境潔淨度要求高和產品更新換代快等特點，國內僅有少數廠家具備 生產能力。

工業上六氟化硫通常是由電解產生的氟在中高溫下與硫反應來製備，主要生產過程是通過電解槽電解無水 氟化氫製取 F2，與加入反應釜的單質硫反應，再通過熱解塔在 350℃裂解毒性較大的副產物 S2F10，並通過水洗 和鹼洗除去 HF、F2等雜質後進入低壓吸附去除水分、高壓吸附去除酸性氣體，在-30℃蒸餾去除空氣和低沸點 氣體，逸出的 SF6通過尾氣捕集器（-60℃）進行捕集後充裝。

SF6生產工藝流程

目前國內雅克科技子公司科美特為國內六氟化硫龍頭，現具備六氟化硫產能 7000 噸。2018 年 2 月公司公告擴產項 目環評，擬新增 10000 噸電子級 SF6和 2000 噸 CF4產能，擴產完成後公司將進一步鞏固在國內的龍頭地位。除 科美特外，上市公司昊華科技下屬黎明院具備六氟化硫產能 2800 噸，新增 2000 噸產能在 2019年度已經投產且滿負荷生產並滿量供應。

六氟化鎢（WF6）

六氟化鎢（WF6）是目前鎢的氟化物中唯一穩定並被工業化生產的品種。它的主要用途是在電子工業中作 為金屬鎢化學氣相沉積（CVD）工藝的原材料，特別是用它製成的 WSi2可用作大規模集成電路（LSI）中的配 線材料。另外還可以作為半導體電極的原材料、氟化劑、聚合催化劑及光學材料的原料等。

隨著電子工業的不斷髮展，世界各大公司自 20 世紀 90 年代末紛紛擴大了 WF6的產能。電子工業產品精密 度極高的特點對於作為原材料的 WF6的純度提出了很高的要求，一般要求純度達到 99.99%，部分半導體行業要 求的純度更高。

六氟化鎢的合成方法從原理上相對簡單，一般採用金屬鎢與氟氣或三氟化氮直接反應即可製得

W+3F2→WF6

W+2NF3→WF6+N2

製得的粗品 WF6可能含有 N2、HF、SF6、CF4、MoF6、CO2、CO、水分以及一些金屬顆粒雜質，經蒸餾、 吸附等過程去除後得到純品六氟化鎢。當前國內 WF6生產商主要包括 718 所旗下派瑞特氣、韓國厚成子公司南通厚成，後續派瑞特氣及博瑞中硝 有擴產計劃。

2017年特種氣體格局

技術分析

技術分析這裡就不再做具體闡述，這裡簡單看下機構搶籌情況供大家參考。

1，股東數變化

股東變化圖

公司股東自2017年以來持續減少，截止2019年9月30日已經降至14086戶，機構搶籌跡象明顯。

2，機構參與度

龍虎榜

2019年9月6日，三家機構搶籌該公司，對於一家流通股不到3億股本的公司，機構如此搶籌，可見其市場吸引力。

估值測算：

1， 通過現金流折算,可以測算出600378昊華科技2020年度的合理估值應該在85元左右。

2，應用相對估值測算驗證，可以得到2020年度的合理估值在83.4元左右。

綜上所述，個人認為 2020年度600378昊華科技的合理估值範圍應該在<strong>85元左右。

風險提示：半導體需求不及預期，產品價格下跌， 安全和環保生產風險，市場風險及其它風險導致業績不及預期。

聲明：以上僅為個人觀點，不代表任何機構，也不構成個股推薦。本人僅通過個人掌握知識及技巧，提供個股基本面及技術分析(含個股走勢)，目的聚焦個股價值，挖掘漲停邏輯，抓取個股主升浪，使投資收益最大化，所做個股估值，不代表最終股價，買賣虧損自負。

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