一、MEMS 传感器在汽车领域的应用
随着汽车安全应用与降低碳排放的关注度日益提升，MEMS 传感器在汽车电子领域的渗透率逐渐提高，除此之外，无人驾驶等新兴技术也推动着MEMS 传感器进一步普及。2010 年全球平均每辆汽车包含9.2 个传感器，中国汽车含有5 个，但中国扩大部署安全气囊和轮胎压力监测系统(TPMS)，将推动中国汽车平均传感器数量到2015 年增加到10 个，在每辆汽车中，光TPMS 系统就要使用4.2 个汽车MEMS 传感器，目前中国已超越日本成为第三大汽车MEMS 市场。目前汽车上常见的传感器有加速度计、陀螺仪、电子罗盘、气压计、红外传感器、超声波传感器、激光测距仪、雷达传感器等。
应用于汽车的MEMS 传感器
二、MEMS 传感器在可穿戴设备领域的应用
在可穿戴智能设备上，传感器的使用更为广泛。Apple Watch 配置的MEMS 传感器超
过十种。
- 加速度传感器：测量身体运动，并且可以记录用户步数以及睡眠习惯。
- 陀螺仪：可以侦测转动，此外，陀螺仪还能让iWatch“感知”用户，比如举起手腕准备看表时，屏幕自动亮起。
- 磁力计：可以用来提升运动追踪的准确性。
- 晴雨表/气压传感器：提供更准确的天气数据，感知海拔高度的变化
- 环境温度传感器：提供更准确的生物数据
- 心率监控仪：进行心率监控
- 血氧传感器：测量血氧值，对于准确的脉搏率检测至关重要
- 皮肤电导传感器：计算用户的排汗量
- 皮肤温度传感器：可以帮助用户了解自己的健身强度
- GPS：GPS 可以帮助我们了解自己要去哪里，去过哪里
应用于Apple Watch 的MEMS 传感器
三、MEMS 传感器在物联网领域的应用
物联网（IoT）是把任何物品与互联网连接起来，进行信息交换和通讯，以实现智能化识别、定位、跟踪、监控和管理的一种网络。简而言之，物联网就是“物物相连的互联网”。传感器作为物联网三大层次结构之一的感知层的重要组成部分，将现实世界中的物理量、化学量、生物量等转化成可供处理的数字信号，是实现物联网的基础和前提，同时MEMS（微机电）技术作为支撑技术，在物联网的发展中起着至关重要的作用。
MEMS 的传感器发展共经历了三个阶段，分别对应不同的驱动力。2000 年左右是汽车电子、2007 年左右是智能手机、2013 年左右是可穿戴设备，下一个驱动MEMS 的传感器发展的动力是物联网，业界预测全球传感器需求有望从当前的百亿级激增到2025年的Trillion-Sensor（TSensor，万亿-传感器）量级。
MEMS 发展线路图
MEMS 技术在可穿戴设备、智能家居、医疗、工业4.0、智能汽车、智慧城市等IOT 细分领域都有广泛的应用，常见的MEMS 传感器诸如麦克风、体声波滤波器、压力传感器、温度传感器等都存在丰富的应用场景。
MEMS 产品在IOT 应用广泛
四、MEMS传感器在无人机的应用
1、加速度计：加速度计用于确定位置和无人机的飞行姿态。像任天堂Wii控制器或iPhone屏幕位置，这些小的MEMS传感器在维持飞行控制中起到关键的作用。MEMS加速度传感器有多种方式感知运动姿态，一种类型的技术能够感知微型集成电路的微小运动。另一种加速度计的技术为热对流技术，没有移动部件，而是通过一个“热气团”的位移来感知的运动变化。这类传感器灵敏度较高，在稳定车载摄像机、电影制作等应用起着至关重要的作用。
2、惯性测量单元：惯性测量单元结合GPS是维持方向和飞行路径的关键。随着无人机智能化的发展，方向和路径控制是重要的空中交通管理规则。惯性测量单元采用的多轴磁传感器，在本质上都是精准度极高的小型指南针，通过感知方向将数据传输至中央处理器，从而指示方向和速度。
3、倾角传感器：倾角传感器，集成了陀螺仪和加速度计为飞行控制系统提供保持水平飞行的数据。这类传感器和陀螺仪，结合加速度计，能够测量到细微的运动变化，使得倾角传感器能够应用于移动程序，如汽车或无人驾驶飞机的陀螺仪补偿。
4、大气监测传感器：空气质量的好坏，是人们最关注的一个话题。实时监测空气质量好坏，大气污染程度已经成为一个热点，当然大气监测传感器在其中就起着至关重要的作用。目前 炜盛科技的大气监测传感器已被广泛应用于城市大气环境监测、工厂厂区无组织排放污染气体监测以及环境评价监测等。可监测多种气体，包括：臭氧、一氧化碳、 二氧化硫、二氧化氮等。
5、电流传感器：无人机上的电能消耗和使用非常重要，尤其是在电池供电的情况下。电流传感器可用于监测和优化电能消耗，确保无人机内部电池充电和电机故障检测系统的安全。电流传感器工作通过测量电流（双向），理想的情况下提供电气隔离，以减少电能损耗和消除电击损坏用户系统的机会。
6、磁传感器：在无人机，电子罗盘提供关键性的惯性导航和方向定位系统的信息。基于各向异性磁阻（AMR）技术的传感器，较其他传感器相比有明显的地功耗优势，同时具有高精度、响应时间短等特点，非常适用于无人机的应用。
7、发动机进气流量传感器：流量传感器可以用于有效地监测电力无人机燃气发动机的微小空气流速。许多气体发动机质量流量传感器都采用热式技术，主要利用加热的元件和至少一个温度传感器来量化质量流量。MEMS热式气体质量流量传感器也在微计量范围内利用热原理及其适用于对重量要求较高的领域。
五、MEMS传感器在智慧工业时代的应用
智能工厂利用物联网技术加强信息管理和服务，掌握产销流程、提高生产过程的可控性、减少生产线上人工的干预、及时正确地采集生产线数据，以合理的安排生产计划与生产进度，并优化供应链。传感器应用非常广泛，工业生产各个环节都需要传感器进行监测，并把数据反馈给控制中心，以便对出现异常节点进行及时干预，保证工业生产正常进行。业界普遍认为，新一代的智能传感器是智能工业的“心脏”，它让产品生产流程持续运行，并让工作人员远离生产线和设备，保证人身安全和健康。
六、智能工厂应用场景
MEMS让传感器小型化、智能化，MEMS传感器将在智慧工业时代大有可为。MEMS温度、湿度传感器可用于环境条件的检测，MEMS加速度计可以用来监测工业设备的振动和旋转速度。高精度的MEMS加速度计和陀螺仪可以为工业机器人的导航和转动提供精确的位置信息。
閱讀更多 電子元器件的世界 的文章
