主辦單位：麥姆斯諮詢
協辦單位：蘇州工業園區培訓管理中心、中國半導體行業協會MEMS分會、華強電子網
支持單位：華強智造、新微創源孵化器
一、課程簡介
由麥姆斯諮詢策劃主辦的《MEMS高級培訓課程》已分別於2016年10月、2017年10月在無錫、上海成功舉辦，並深受學員好評。該系列課程以MEMS熱門器件作為切入口，讓學員在深入瞭解MEMS產業的基礎上講授器件的設計、製造、封測和應用等知識，同時對MEMS產業中重要的兩個環節：製造和封測，進行全面講授。該系列課程旨在為MEMS從業人員賦能，有效提升專業技術水平，同時也為非MEMS專業人員提供瞭解MEMS產業的最佳學習機會。
2016年10月第一場《MEMS高級培訓課程》@無錫
2017年10月第二場《MEMS高級培訓課程》@上海
作為前兩期《MEMS高級培訓課程》的傳承版，麥姆斯諮詢設計了《MEMS行業工程師進階培訓課程》。該課程根據MEMS/NEMS產業發展歷程及產業現狀，融合當下典型MEMS傳感器（加速度計、陀螺儀、MEMS麥克風、壓力傳感器、氣體傳感器、紅外傳感器）的核心技術環節，包括設計、製造、封測和應用知識；同時，為了理論結合實踐，特意安排半天的實地學習課程，將帶領學員們到MEMS製造產線、MEMS封測產線進行參觀和體驗，希望給大家帶來耳目一新的培訓體驗。
二、培訓對象
本次課程主要面向MEMS設計、製造、封測及應用相關企業的工程師以及管理人員，也適合高等院校學生和老師，同時歡迎其他希望瞭解MEMS技術和產業的非MEMS背景人員參加。
三、培訓時間
2018年9月28日~9月30日共計3天。
日程安排：
9月28日上午7:50-8:25報到；
9月28日至9月30日期間的上課時間：
上午：8:30-12:00
下午：13:00-16:30
授課結束後，為學員頒發麥姆斯諮詢的結業證書。
四、培訓地點
蘇州工業園區納米城（具體地址以培訓前一週的開課郵件通知為準）
五、課程內容
課程一：從MEMS發展到NEMS的啟示
講師：中國科學院上海微系統與信息技術研究所 研究員 王躍林
授課內容：
MEMS是如何發展起來的？MEMS發展歷程經歷了哪些階段？我們可以從中吸取到什麼經驗？未來我們該如何發展MEMS產業？追根溯源，啟迪思想。
本課程從微電子的起源，以及MEMS的產生過程，通過分析總結微電子的成功經驗、從MEMS發展到NEMS的歷程，尋找其發展背後的推動力，啟發我們針對MEMS的特點做好MEMS研究與產業化工作。
課程大綱：
（1）MEMS發展歷史；
（2）從MEMS發展到NEMS的歷程及其推動力；
（3）如何結合MEMS的特點做好MEMS的研究與產業化工作。
課程二：熱門MEMS器件及其應用（一）
講師：浙江大學 教授 車錄鋒
授課內容：
加速度計、陀螺儀、MEMS麥克風、壓力傳感器作為汽車、消費電子等領域的成熟產品，在2018年之前曾一度瓜分MEMS和傳感器市場份額的50%以上。雖然增長逐漸放緩，但是市場規模仍處於穩定擴大態勢。
本課程將對加速度計、陀螺儀、MEMS麥克風、壓力傳感器等熱門器件的關鍵技術和典型應用等進行詳細講解。
課程大綱：
（1）加速度計的設計、製造、封裝和測試，以及典型應用；
（2）陀螺儀的設計、製造、封裝和測試，以及典型應用；
（3）MEMS麥克風的設計、製造、封裝和測試，以及典型應用；
（4）壓力傳感器的設計、製造、封裝和測試，以及典型應用。
課程三：熱門MEMS器件及其應用（二）
講師：華中科技大學 教授 劉歡
授課內容：
氣體傳感器、紅外傳感器創造了超越人類感官的能力，開創了“見所未見，聞所未聞”的境界，是實現MEMS和傳感器從探測走向全局感知意識的重要路徑。
本課程從量子點室溫/近室溫氣敏材料入手，全面講解氣體傳感器、紅外傳感器的關鍵技術和典型應用。
課程大綱：
（1）量子點室溫/近室溫氣敏材料介紹；
（2）氣體傳感器的設計、製造、封裝和測試，以及典型應用；
（3）紅外傳感器的設計、製造、封裝和測試，以及典型應用。
課程四：MEMS封裝和測試技術
講師：中國科學院上海微系統與信息技術研究所 研究員 羅樂
授課內容：
MEMS器件的三維機械結構、產品設計和製造技術的多樣性，決定了MEMS封裝與傳統IC封裝存在諸多不同且更加複雜。從消費類應用的低成本封裝方式到汽車、航空行業的耐高溫和抗惡劣氣候的高可靠性封裝；從裸露在大氣環境下的封裝方式到密閉式的封裝方式，各種封裝類型對MEMS封裝行業提出了諸多挑戰。
本課程將針對MEMS封裝的主流技術，並結合典型案例進行深入講解。
課程大綱：
（1）MEMS封裝和測試技術概論；
（2）MEMS器件級封裝技術；
（3）MEMS晶圓級封裝技術；
（4）晶圓級和芯片級封裝案例分析。
課程五：MEMS製造工藝
講師：蘇州諾聯芯電子科技有限公司 MEMS技術總監 俞驍
授課內容：
MEMS製造工藝基於微電子技術（半導體制造工藝）基礎上發展起來，是採用光刻、幹法刻蝕、溼法刻蝕、薄膜沉積、氧化、擴散、注入、濺射、蒸鍍、鍵合等基本工藝步驟來製造複雜三維結構的微加工技術。其中，硅基MEMS製造技術主要分為三大類：體微加工（Bulk Micromachining）技術、表面微加工（Surface Micromachining）技術和CMOS MEMS技術。MEMS器件的立體結構（如通道、孔、懸臂、膜、腔以及其它結構），相比普通IC器件更注重結構特性和材料的選擇，因此對製造工藝要求多樣並衍生出許多MEMS特有的製造工藝。
本課程將針對MEMS製造的基礎工藝、特殊工藝，並結合主要案例進行生動細緻的講解。
課程大綱：
（1）單步基礎製造工藝詳解：光刻、薄膜沉積、刻蝕、摻雜、氧化、擴散、注入等；
（2）單步特殊製造工藝詳解：深硅刻蝕、雙面光刻、鍵合、釋放工藝、磁控濺射等；
（3）典型製造工藝流程詳解：體微加工技術、表面微加工技術和CMOS MEMS技術；
（4）案例分析：MEMS器件製造工藝流程及工藝控制要點、難點介紹。
課程六：MEMS產線參觀
講師：蘇州捷研芯納米科技有限公司 副總經理 王建國
講師：蘇州MEMS中試平臺 研發部副經理 趙成龍
授課內容：
本課程旨在通過實地參觀，讓學員深入理解前期課堂上學到的MEMS製造工藝、MEMS封測課程中的理論知識。我們將帶領學員參觀學習蘇州MEMS中試平臺——6英寸MEMS製造產線和蘇州捷研芯納米科技有限公司的MEMS封裝和測試產線。
參觀安排：
（1）蘇州MEMS中試平臺：講解產線的MEMS製造機臺、工藝能力、主要產品和應用；在參觀走廊學習MEMS製造產線相關知識。
（2）蘇州捷研芯納米科技有限公司：講解產線的封測機臺、工藝能力、主要產品和應用；在參觀走廊學習MEMS封測產線相關知識。
六、師資介紹
王躍林，中國科學院上海微系統與信息技術研究所研究員。他生於1959年，江西省南昌人，1978年3月參加工作，博士研究生畢業。1978年3月至1978年10月南昌市新建縣松湖公社港北大隊知青。1978年10月至1982年7月浙江大學無線電系半導體專業就讀本科。1982年9月至1985年7月哈爾濱工業大學控制系半導體專業碩士研究生。1985年8月至1998年1月浙江大學信電系講師、副教授、教授、博士生導師，其中1986年3月至1989年10月在清華大學微電子所讀博士學位，1995年3月至1995年12月赴香港科技大學訪問學者，1996年1月至1996年12月赴日本東北大學訪問學者。1998年1月起歷任中科院上海微系統與信息技術研究所研究員、博導、室副主任、主任、“微光機電系統”項目經理、“973”計劃“集成微光機電系統研究”項目首席科學家。1999年10月起任上海微系統所所長助理。2003年6月起兼任上海微系統所學術委員會主任。2003年3月任上海市政協委員、長寧區政協副主席。2009年4月起任上海微系統所副所長。
車錄鋒，浙江大學教授、博士生導師，微系統技術國家級重點實驗室學術委員會委員、中國微米納米學會微納米制造及裝備分會理事、《光學精密工程》期刊編委。他於1999年10月在浙江大學獲博士學位，1999年11月至2001年11月中國科學院上海微系統與信息技術研究所電子科學與技術流動站博士後。2005年美國加州大學伯克利分校傳感器與執行器中心（BSAC）高級訪問學者，2006年1月至2016年4月中國科學院上海微系統與信息技術研究所傳感技術國家重點實驗室研究員、博士生導師、微系統技術國家級重點實驗室副主任。主要從事MEMS/NEMS傳感器、接口ASIC電路及系統集成技術研究。針對我國新一代石油勘探裝備的應用需求，通過敏感結構和加工工藝等關鍵技術創新，研製出高性能MEMS振動傳感器及系統，動態範圍達到120dB，主要性能指標與美國ION公司、法國Sercel公司產品相當，打破了國際壟斷，為新型“全數字地震數據採集系統”重大裝備的研發提供了重要支撐；研製的抗單粒子閂鎖加速度傳感器模塊作為關鍵載荷，已提供給我國系列微納衛星應用；研製的MEMS陀螺芯片照片刊登在國際著名MEMS雜誌JMM封面上，引起了國際同行的高度關注。作為負責人在研或完成國家科技重大專項課題2項、科技部863課題5項、國家自然科學基金課題5項，獲上海市技術發明二等獎一項。
劉歡，華中科技大學光學與電子信息學院教授、博士生導師。她自2001年起一直從事新型高性能光電、電子功能材料與元器件研究，2008年獲得微電子學與固體電子學博士學位，2009年至2011年期間在加拿大多倫多大學從事膠體量子點光電功能器件方向博士後研究工作，2012年入選教育部新世紀優秀人才支持計劃，2013年受聘華中科技大學“華中學者”晨星崗。近五年面向國家環境保護領域對高靈敏、低功耗氣體傳感技術的重大需求，帶領團隊主要從事室溫/近室溫量子點氣敏材料和氣體傳感器研究。先後主持國家重點研發計劃“大氣汙染成因與控制技術研究”重點專項青年項目、國家自然科學基金面上和青年項目等科研項目。在Nature Materials（2篇）、Nature Photonics（1篇）、Advanced Materials（3篇）、Nano Letters（1篇）、Advanced Functional Materials（2篇）和Chemistry of Materials（1篇）等期刊發表論文70餘篇，SCI引用超過2000次，已授權中國發明專利18項。應邀在美國材料學會春季會議（2017 MRS Spring）、中國氣溼敏傳感技術學術交流會等國內外學術會議上作邀請報告，是中國電子學會氣溼敏傳感技術專委會委員。獲中國電子學會科技進步一等獎（2014年）和湖北省技術發明獎一等獎（2010年）。
羅樂，博士，二級研究員，博士生導師；微系統技術國家級重點實驗室學術委員會副主任。他於1982年在南京大學獲學士學位，1988年在中科院上海微系統與信息技術研究所獲博士學位，1991年至1993年德國Darmstadt工業大學博士後，1994年破格晉升為研究員，1995年至1999年任中－德電子封裝聯合實驗室副主任，2000年Daimler Chrysler SIM Technology公司電子封裝部部門經理。2001年至今，擔任中科院上海微系統與信息技術研究所傳感技術國家重點聯合實驗室/微系統技術國家級重點實驗室研究員。1994年起開始先進電子器件封裝、電子材料及其可靠性研究，合作方為聯邦德國奔馳集團法蘭克福研究所，主要工作為汽車電子及高可靠性電子器件封裝研究：包括芯片級抗電遷移研究、汽車電子高可靠性互連、高溫電子器件互連；先進封裝技術研究，如FC封裝，無鉛焊料等。2001年起開始微系統封裝研究，包括圓片級、器件級、板級和系統級先進封裝研究、MEMS封裝/傳感器封裝、WLCSP封裝、高頻器件封裝等。承擔過國家973、863、上海市重大、中科院重大項目、國家重大專項等數十項。在國內外刊物上發表科技論文100餘篇，申請專利50餘項。擔任JAP、J of Materials in Electronics、半導體學報、電子學報等刊物的審稿人。1994年開始享受政府特殊津貼，獲國家科技進步二等獎1項，國家技術發明二等獎1項，上海市科技進步一等獎1項、二等獎1項，上海市技術發明二等獎1項。現擔任中國半導體協會封裝分會理事，中國集成電路封測聯盟理事。
俞驍，博士，畢業於中國科學院上海微系統與信息技術研究所，主要研究方向為MEMS能量採集芯片研製和單晶硅納米線自上而下製備工藝開發，研究成果發表在Small、JMM等多個SCI期刊上，授權專利6項。他於2013年至2015年期間在中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所納米加工平臺從事博士後工作，負責MEMS委託加工業務，授權專利3項。2015年至今任職於蘇州諾聯芯電子科技有限公司，負責MEMS紅外光源產品研發和對外OEM工作，授權專利5項。俞驍博士在MEMS微加工領域有超過10年的從業經驗，近五年來一直從事各種MEMS委託加工工作，在單步工藝開發、工藝整合方面有大量的案例和心得，多次擔任蘇州工業園區各類MEMS培訓項目講師，並且當選為蘇州先進製造業工程師學會理事會首批成員。
王建國，南京大學碩士，蘇州捷研芯納米科技有限公司創始人，現任副總經理。他曾任職于飛索半導體、星科金朋、晶方科技等半導體封測公司技術、研發和市場等部門；近20年半導體集成電路和MEMS行業經驗，在IC和MEMS傳感器封測領域有深厚的技術和管理積累。在蘇州捷研芯，帶領團隊設立了國內首條MEMS氣體傳感器封裝生產線，對國內最新的MEMS器件封裝的技術和工藝均具有豐富的經驗；特別在Flip chip、WLCSP、Fan-out技術領域有世界領先的研究經驗。
趙成龍，博士，蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司微納製造分公司研發部副經理。他於2012年畢業於東南大學MEMS教育部重點實驗室，獲微電子學與固體電子學博士學位，主要研究方向為CMOS MEMS電容式溼度傳感器的設計、製備與封裝，參與過國家863課題及校企合作產業化項目，發表學術論文6篇，參加Transducers、Sensors等國際會議3次，在國際會議發表演講2次。2012年加入MEMS RIGHT以來，參與6英寸MEMS中試平臺籌建，負責並實現平臺首顆產品通線，致力於麥克風、噴墨頭等MEMS產品的工藝整合開發，推動並實現麥克風等多顆產品批量生產。至今在MEMS器件設計及工藝開發方面有超過10年的經驗，獲國家發明專利授權4項。
七、培訓費用和報名方式諮詢
請發送電子郵件至penglin#memsconsulting.com（#換成@）或guolei#memsconsulting.com（#換成@），郵件題目格式為：報名+MEMS行業工程師進階培訓+單位名稱+人數。
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聯繫人：彭琳
E-mail：penglin#memsconsulting.com（#換成@）
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