7nm制程工艺应该是目前最为先进的制程工艺之一，同时也有相当多的芯片在使用这个工艺，之前绝大部分的7nm工艺均为台积电所使用，并且搭载了最新的EUV技术，而现在三星也宣布正式量产基于EUV技术的6nm以及7nm制程工艺，目前三星称在位于韩国华城的V1工厂已开始批量生产基于EUV（极紫外）光刻工艺的6nm和7nm芯片。
三星同时表示在2020年将会累计投入至少60亿美元在V1工厂，而到了2020年下半年，三星的7nm工艺产量将会比2019年提升3倍，并且计划在今年上半年开始量产6nm和7nm的移动芯片。三星在韩国的V1工厂在2018年正式开工，而在2019年下半开始晶圆的试量产，三星预计来自V1工厂的晶圆将会在上半年交付给客户使用。
未来三星还将采用目前最先进的EUV工艺进行4nm和5nm制程的芯片研发，同时希望能够在未来几年内实现对于3nm制程的攻关。目前三星在全国共有6条晶圆生产线，其中五条位于韩国本土，而另外一条位于美国奥斯汀，为Intel、高通以及英伟达等公司进行晶圆代工。
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