光刻機巨頭阿斯麥 ASML

ASML Holding N.V.是一家芯片製造設備製造商,全球領先的半導體行業光刻系統供應商。該公司從事由光刻系統組成的半導體設備系統的開發、生產、營銷、銷售和服務。該公司的產品包括系統以及已安裝的基礎產品和服務。該公司的主要在荷蘭、美國和亞洲開展業務。該公司提供TWINSCAN系統、配備光刻系統、汞燈作為光源(i-line)、氪氟化物(KrF)和氬氟化物(ArF)光源,用於300毫米處理晶圓,適用於需要以小分辨率成像的製造環境。TWINSCAN系統還包括浸沒式光刻系統(TWINSCAN浸沒系統)。該公司還提供NXE系統,該系統配備了極紫外(EUV)光源技術。該公司提供晶圓計量系統YieldStar。


光刻機巨頭阿斯麥 ASML


ASML公司設計、開發、集成、銷售先進的系統 - 其服務的客戶為全球主要的半導體制造商 - 打造在電力電子、通信和信息技術產品中廣泛應用的芯片。


光刻機巨頭阿斯麥 ASML


ASML公司總部位於荷蘭的Veldhoven市,股票代碼為ASML,市值約1200億美元。生產基地和研發設施則位於康涅狄格州、加州、臺灣和荷蘭。科技發展中心及訓練設施位於日本、韓國、荷蘭、臺灣和美國。總體而言,ASML公司在16個國家擁有超過70個分支機構。

前段時間真的是全民炒“芯”,大家都希望中國的芯片能夠發展起來,能夠擺脫對外國的依賴,這樣能夠節省大量的資金,確實中國進口芯片的金額超過石油了,甚至都超過了軍費一年的開支。

但一直以來,芯片的發展離不開人才、技術、設備,而中國在這三個方面都缺少,而設備一項中,最重要的就是買不到光刻機,因為禁售,但作為最頂極的光刻機生產商ASML則表示沒有禁運。ASML為半導體生產商提供光刻機及相關服務,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生產效率最高,應用最為廣泛的高端光刻機型。目前全球絕大多數半導體生產廠商,都向ASML採購TWINSCAN機型,比如英特爾(Intel)、三星(Samsung)、海力士(Hynix)、臺積電(TSMC)、中芯國際(SMIC)等。


光刻機巨頭阿斯麥 ASML

ASML的產品線分為PAS系列、AT系列、XT系列和NXT系列,其中PAS系列光源為高壓汞燈光源,現已停產;AT系列屬於老型號,多數已經停產。市場上的主力機種是XT系列以及NXT系列,為ArF和KrF激光光源,XT系列是成熟的機型,分為乾式和沉浸式兩種,而NXT系列則是現在主推的高端機型,全部為沉浸式。

目前市場上提供量產商用的光刻機廠商有三家:ASML、 尼康(Nikon)和佳能(Canon)。 根據2007年的統計數據,在中高端光刻機市場,ASML佔據大約60%的市場份額。而最高端市場(例如沉浸式光刻機),ASML大約目前佔據80%的市場份額。不過,競爭對手尼康也在奮力追趕,主要優勢在於相對較低的價格。

ASML於2012年10月宣佈收購美國Cymer公司,以加快EUV的研發進度。Cymer公司 [4] 是世界領先的準分子激光源提供商,發明瞭如今半導體制造中最關鍵的光刻技術所需的深紫外(DUV)光源。產品主要特性是:帶寬窄,運行速度高,可靠性強。Cymer光源在批量生產符合特定規格的的世上最先進的半導體芯片時起著決定性的作用。


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