分子泵是一種真空泵，它使用高速旋轉的轉子將動量傳遞到氣體分子以獲得方向速度，從而將其壓縮並驅動到上一級的排氣口。
維護分子泵的操作要求：
1.分子泵的氣體迴路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上，以防止鬆弛引起的空氣洩漏；
2.分子泵不能在大氣中打開，必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵；
3.當M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時，請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作；
4.打開分子泵之前，必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止後，必須關閉冷卻水閥；
5.每次停機後，必須清洗每個分子泵的入口，以保持其清潔，以避免不必要的損壞；
6.當出現警告信息“ EF”時，檢查冷卻水通道是否暢通，並用機槍進行檢查。 在再次打開分子泵之前，請確保水路暢通。 當出現其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵進行後處理。
7.當分子泵出現故障無法使用時，應暫停生產，並在手動充滿空氣後更換備用分子泵；
8.當分子泵未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作；
9.當分子泵發生故障時，必須根據故障提示進行處理。
這種分子泵的維護可具體分為：1）牽引分子泵氣體分子與高速運動的轉子碰撞以獲得動量，並被驅動到泵出口。 2）渦輪分子泵通過與高速旋轉的動葉片和固定的固定葉片配合實現抽氣。 這樣的泵通常以分子流動狀態運行。 3）複合分子泵它是由兩個渦輪泵和牽引泵串聯而成的複合分子真空泵。
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