06.15 Intel 10nm工藝到底多厲害?真相原來是這樣

Intel 14nm工藝已經連續用了三代,而自家10nm工藝因為良品率始終無法達到滿意的程度一再推遲,現在看樣子得等到2019年才能大規模使用,而且到底是2019上半年還是下半年,連Intel自己都不能確定。

相比之下,臺積電、三星已經開始量產7nm,格羅方德(GF)的7nm也不遠了。是Intel技術不行了?我們可不能小瞧了它。雖然這些製造工藝都叫xxnm,但是相比之下,Intel對於製造工藝的態度無疑是十分嚴謹的,它一直在追求最高的技術指標,也正因為如此,再加上半導體工藝進步的難度急劇增加,Intel 的10nm工藝才一直難產。

不過,目前Intel 10nm處理器已經在小批量出貨,已知產品只有一款低壓低功耗的Core i3-8121U,由聯想IdeaPad 330筆記本首發。

TechInsight分析了這顆處理器,獲得了一些驚人的發現,直接證實了Intel新工藝的先進性。

Intel 10nm工艺到底多厉害?真相原来是这样

Core i3 8121U內核局部顯微照片

分析發現,Intel 10nm工藝使用了第三代FinFET立體晶體管技術,晶體管密度達到了每平方毫米1.008億個(符合官方宣稱),是目前14nm的足足2.7倍!

作為對比,三星10nm工藝晶體管密度不過每平方毫米5510萬個,僅相當於Intel的一半多點,7nm則是每平方毫米1.0123億個,勉強高過Intel 10nm。

至於臺積電、GF兩家的7nm,晶體管密度比三星還要低一些。

換言之,僅就晶體管集成度而言,Intel 10nm的確和對手的7nm站在同一檔次上,甚至還要更好!另外,Intel 10nm的最小柵極間距(Gate Pitch)從70nm縮小到54nm,最小金屬間距(Metal Pitch)從52nm縮小到36nm,同樣遠勝對手。

事實上與現有其他10nm以及未來的7nm相比,Intel 10nm擁有最好的間距縮小指標。

Intel 10nm的其他亮點還有:

- BEOL後端工藝中首次使用了金屬銅、釕(Ru),後者是一種貴金屬

- BEOL後端和接觸位上首次使用自對齊曝光方案(self-aligned patterning scheme)

- 6.2-Track高密度庫實現超級縮放(Hyperscaling)

- Cell級別的COAG(Contact on active gate)技術

不過,Intel這管大牙膏要什麼時候擠出來,就不得而知了。

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Intel 10nm工艺到底多厉害?真相原来是这样


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