有報道稱，荷蘭光刻機巨頭ASML將暫時中止為“中國客戶”供應“極紫外光(EUV)微影設備”。中芯國際回應稱：極紫外光（EUV）還在紙面工作階段，未進行相關活動。ASML稱，出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可（export license）。該出口許可於今年到期，ASML已經於到期前重新進行申請，目前正在等待荷蘭政府核准。
點評：光刻機是半導體制造業中關鍵設備，直接決定芯片的性能水平。芯片在生產過程中需要進行20-30次的光刻，耗時佔到製造環節的50%左右，佔芯片生產成本的1/3。目前ASML在光刻機領域市佔率近80%，基本壟斷高端光刻機。光刻機是重要的卡脖子領域，國產化迫在眉睫。
A股公司中，北方華創（002371）為國內最大的集成電路設備提供商，芯片刻蝕機等設備已進入集成電路主流廠商，客戶包括中芯國際、華為海思等。公司與國望光學、科益虹源等光刻機核心部件廠商同為北京國資委旗下企業。
張江高科（600895）參股上海微電子裝備（集團）股份有限公司10.779%的股權。後者是國內唯一一家研發、生產以及銷售高端光刻機的企業。
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