P73.Z200系列Z向200微米行程壓電物鏡定位器

P73系列壓電物鏡定位器為大行程壓電物鏡定位器,Z軸直線運動範圍可選200μm、500μm及1mm。P73.Z200是P73系列中200微米行程的版本,它採用柔性鉸鏈設計機構,無摩擦、運動直線性好,且閉環版本定位精度高。分離式螺紋適配器設計,可適配多種型號的顯微鏡,廣泛應用於大範圍顯微成像、雙光子顯微鏡等領域。

P73.Z200系列Z向200微米行程壓電物鏡定位器

特點

行程200μm

承載能力0.2kg

毫秒級響應時間

閉環重複定位精度高

聚焦穩定性好

典型應用

三維成像

干涉/計量

生物科技

表面結構分析

共焦顯微

半導體測試

開/閉環控制電壓與位移曲線

P73.Z200系列Z向200微米行程壓電物鏡定位器

注:施加至壓電物鏡定位器的電壓約為控制輸入電壓的12倍。

螺紋適配器便於安裝

P73.Z200系列壓電物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接,將物鏡快速鎖定在預期位置。多種螺紋牙可選,如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36" 等,也可定製,便於與顯微鏡集成安裝。可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。它也可以通過適配器與手動調節臺相結合使用。

技術參數

型號:P73.Z200S

運動自由度:Z

標稱行程範圍:160μm@120V
行程範圍:200μm@150V

傳感器類型:SGS

閉/開環分辨率:11/5nm

閉環線性度:0.1%F.S.

閉環重複定位精度:0.05%F.S.

推/拉力:80/10N

運動方向剛度:0.25N/μm

空載諧振頻率:210 Hz

閉/開環空載階躍時間:20/10ms

閉環空載工作頻率:40Hz@10%行程

閉環空載工作頻率:10Hz@100%行程

承載能力:0.2 kg

靜電容量:7.2μF

材質:鋼、鋁

重量:360g

注:以上參數是採用E00/E01系列壓電控制器測得。最大驅動電壓可在-20V~150V;對於高可靠的長期使用,建議驅動電壓在0~120V。


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