眾所周知，荷蘭ASML公司已經壟斷了目前的EUV光刻機，對於此機器的求購者在全世界都絡繹不絕，而去年ASML出貨26臺，已經創造了新紀錄，這不得不讓人感嘆EUV光刻機的寶貴程度。近日，有外媒報道，ASML公司正在研發新一代EUV光刻機，預計到2022年開始出貨。
根據ASML公司預測，他們將會在2020年交付35臺EUV光刻機，而2021年這一數字將會達到50臺左右，也將會是2019年的兩倍。
從市場來看，目前ASML售出的光刻機主要集中在NXE：3400B和改進型好NXE：3400C，這兩款機器基本結構相同，但是改進型號NXE：3400C採用了模塊化設計，把平均維修的時間從48小時縮短到10小時左右，他們都支持7nm、5nm製程工藝。
據悉，ASML在最近透露出他們正在研發的新一代EUV光刻機EXE：5000系列，其NA指標達到了0.55，主要合作伙伴分別有卡爾蔡司、IMEC比利時微電子中心。
與此前的NXE：3400B和NXE：3400C相比，新一代光刻機將會把分辨率提升70%，從而進一步加強光刻機的精度，而且，ASML已經把他們的目標瞄準了2nm甚至更極限的1nm。
但是，預計新一代EUV光刻機大規模出貨可能要等到2024或2025年左右，到時候如臺積電、三星等公司也將面臨3nm以下製程工藝的挑戰。
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