先前，中芯国际作为中国大陆地区最大的晶圆代工厂商，自身的制程工艺一直落后于英特尔、台积电、三星电子和格罗方德；而这，在很长一段时间里还遭一些国人们诟病。2017年下半年里，前台积电的“头号研发战将”梁孟松正式加入中芯并担任联席CEO之后，中芯的制程工艺进展得可谓突飞猛进。在中芯，除了梁孟松外，还有一位联席CEO赵海军；而业界也相当看好这对联席CEO组合。“千军易得，良将难求”，中芯同时有了两位联席CEO，意味着两位优秀帅才的联盟。赵海军作为中芯的原首席运营官，是第一位在大陆出身的CEO，第一位“职业经理人”CEO，对中芯有着深厚的感情，并且有着识大体的格局和胸怀。梁孟松作为一名让业界时时关注的风云人物，从加入中芯的那一刻起，就直指尖端的技术工艺。梁孟松在台积电时，台积电曾在130nm工艺上一举击败IBM，当时负责先进模组的梁孟松可谓给台积电立下了一大功；梁孟松2011年加入三星后，三星的制程就从32nm/28nm Planner技术直接跳级到了14nm FinFET技术，并在2014年底开始量产14nm FinFET工艺。有业内人士曾这样评价梁孟松：“梁孟松作为国际上知名的产业领袖，加入中芯后的现金薪酬只有税后20万美元！真以为中芯国际的公告少写了一个零！我想这其中有梁博士发展产业，实现自我理想的使命。”
放眼全球，追踪并探讨科技热门话题。你我共进步。关注ASML明年起将向中国交付首台最先进的EUV光刻机？单台1.2亿美金！来自专栏 我为科技狂为你朗读4 分钟先前，中芯国际作为中国大陆地区最大的晶圆代工厂商，自身的制程工艺一直落后于英特尔、台积电、三星电子和格罗方德；而这，在很长一段时间里还遭一些国人们诟病。2017年下半年里，前台积电的“头号研发战将”梁孟松正式加入中芯并担任联席CEO之后，中芯的制程工艺进展得可谓突飞猛进。在中芯，除了梁孟松外，还有一位联席CEO赵海军；而业界也相当看好这对联席CEO组合。“千军易得，良将难求”，中芯同时有了两位联席CEO，意味着两位优秀帅才的联盟。赵海军作为中芯的原首席运营官，是第一位在大陆出身的CEO，第一位“职业经理人”CEO，对中芯有着深厚的感情，并且有着识大体的格局和胸怀。梁孟松作为一名让业界时时关注的风云人物，从加入中芯的那一刻起，就直指尖端的技术工艺。梁孟松在台积电时，台积电曾在130nm工艺上一举击败IBM，当时负责先进模组的梁孟松可谓给台积电立下了一大功；梁孟松2011年加入三星后，三星的制程就从32nm/28nm Planner技术直接跳级到了14nm FinFET技术，并在2014年底开始量产14nm FinFET工艺。有业内人士曾这样评价梁孟松：“梁孟松作为国际上知名的产业领袖，加入中芯后的现金薪酬只有税后20万美元！真以为中芯国际的公告少写了一个零！我想这其中有梁博士发展产业，实现自我理想的使命。”梁孟松在中芯日前举办的2018年Q1法说会上表示，中芯国际将在2018年下半年开始量产28nm HKC+工艺，2019年上半年开始风险试产14nm FinFET工艺。虽然中芯的14nm FinFET工艺比起英特尔、台积电、三星和格罗方德仍显得落后了一些，但在国内绝对算得上是一大了不起的工艺技术突破（中芯是从现有的28nm工艺直接跳级以研发、投产14nm工艺）。人们可以确信的是，在将来，中芯必定会向着10nm以下的工艺不断地探索。而中芯要研发并投产10nm以下的工艺，就必须要引入光刻机巨头ASML的EUV极紫外光刻技术。近日，据日媒Nikkei Asian Review报道，全球最大的光刻机设备制造商AMSL已经向媒体证实，中芯向ASML订购了一台最新型的EUV光刻机，这台光刻机的价值高达1.2亿美金。预计2019年年初，ASML就可向中芯交付这台EUV光刻机。当然，如果Nikkei Asian Review提供的这一消息的确属实，那么国人们其实可以对中芯抱以更乐观的预期和信心。伴随着晶圆制造行业持续地推进制程工艺，传统的193nm浸没式光刻机终将无法满足晶圆制造行业的需求，业界开始寻求更先进的EUV光刻机。ASML作为全球最大且唯一的EUV光刻机制造商，终于在最近两年里取得了进展。三星电子最新的7nm工艺，就引入了ASML的EUV光刻机。所谓的EUV，是指波长为13.5nm的光。与当前光刻机所用的193nm光源相比，EUV光源能给硅片刻下更小的沟道，从而实现在芯片上集成更多的晶体管，进而提高芯片的性能，继续延续摩尔定律。业内人士估计，整个行业界在研发EUV光刻机的过程中，前前后后至少也已投入了200亿美金。
另据国内的科技媒体“芯思想”不久前在平台发表的一篇文章称，2017年，全球光刻机的出货量达294台，其中有近70%的光刻机均出自ASML；并且，包括英特尔、台积电、三星电子、格罗方德、SK海力士和台联电等行业中一线的厂商都是ASML的客户。单就EUV光刻机而言，ASML已经开始向客户批量供货，日本的尼康还要继续对EUV光刻机进行技术上的突破，而日本的佳能基本算是放弃了研发EUV光刻机。2017年，ASML一共出货了198台光刻机，具体包括11台EUV光刻机、76台ArFi光刻机、14台ArF光刻机、71台KrF光刻机、26台i-line光刻机；ASML每台EUV光刻机的均价在1亿欧元以上，2018年Q1季的单价更是接近1.2亿欧元！2017年里，尼康共出货了27台光刻机。其中，ArFi光刻机占6台，ArF光刻机占8台，KrF光刻机占2台，i-line光刻机有11台。同年，佳能则出货了70台光刻机，其中有超过50台是i-line光刻机，其余的是KrF光刻机台。从ASML和台积电共同研发浸液式光刻机并获得成功之后，台积电自2008年4月起就彻底放弃了日本制造的光刻机，且至今都没再从日本采购一台光刻机。韩国的客户亦从2008年10月开始放弃了日本的光刻机。
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