有的國家大功率激光技術全球領先,應最早研發光刻機,為什麼光刻機卻造不好?

公平正義046008


謝謝您的問題。激光技術應用領域很廣,光刻機的難度遠遠不止激光。

我國的激光產業。我國的激光產業與國外幾乎同時起步,與國外同行差距很小,目前已經形成較為完善的產業鏈分佈,激光主要用於工業加工和光通信,主要用途是3D打印、光纖傳感器。在電子、半導體領域還要進一步推廣激光高精密加工技術,發展相關製造業。


光刻機不是想造就能造好的。荷蘭ASML光刻機世界一流,但是它的核心零部件和技術來自於美國等多國頂尖的科技公司,有大量頂級科技公司一起控股,ASML不是獨屬於荷蘭的,全球技術集成的結果,光刻機每一個零部件工藝和精度要求非常高,包括物鏡、激光器、光束矯正器,能量控制器等,全部要特級定製,不是激光技術好,就能解決一切問題。所以ASML放心把光刻機給我們,因為它相信我們複製不出來。


國產光刻機的努力。目前我國光科技水平與國外相差三四代,只能加緊努力。國產光刻機可以利用紫外光源,製造22nm分辨率芯片,下一步瞄準10nm。首先我們要有信心,我們能製造出光刻機,但是我們也需要中科院光電所、上海微電子設備公司等領頭企業,更需要培育眾多尖端製造企業,集成國產光刻機。在這之前,還是要處理好與ASML等科技公司的關係,避免被卡技術脖子。
歡迎關注,批評指正。


追科技的風箏


光刻機的三大部件:頂級的光源(激光系統)、高精度的鏡頭(物鏡系統)、精密儀器製造技術(工作臺)。一看就是小日本的活:它三項中獨佔光學鏡頭和精密製造,買個激光技術就齊活了!所以,小日本在三個高端光刻機企業中佔有二家,尼康和佳能,原來的神是尼康!但荷蘭阿斯美買下頂級激光企業、拉上蔡司、再拉上臺積電三星等,反手又把小日本幹掉了[捂臉][大笑][呲牙]

中國的激光在世界上也許屬於中端或中高端水平。光學鏡頭屬於低端及中端水平,你們誰用過國產單反相機鏡頭,也許就一二個人,光一,可能沒什麼人聽說!精密製造及數控技術倒是妥妥的中低端水平!

所以,中國國產光刻機是90nm,低端水平。前幾天有報導,光源及雙工作臺都準備驗收,應該可以突破45nm向22、甚至16nm衝擊!

中國只有激光技術世界第一,鏡頭超過德國與日本,機床也超過德國與日本,中國就能生產出世界第一的光刻機!現在不行,因為上述都對中國禁運!


紫水晶9795


感謝您的閱讀!

【從我國激光技術全球領先,看我國光刻機發展緩慢原因】

我們應該知道中國激光技術在全球領先,甚至排在第一位。1964年,錢學森院士提議取名為“激光”,從1961年中國第一臺激光器到世界上第一所激光技術的專業研究所——中國科學院上海光學精密機械研究所的成立,而且在ICF激光驅動器、高功率化學激光器、半導體泵浦的固體激光器、超短超強激光器等等各方面都有進步,可以說我國的激光事業一直在不斷進步。

可是激光≠光刻機技術

我們知道光刻機技術所需要的是——

  • 需要最精密的技術。包括德國機械工藝、蔡司鏡頭和美國公司提供的光源。
  • 涉及多個學科,包含了系統集成、精密光學、精密運動、精密物料傳輸、高精度微環境控制等多項先進技術。

  • 光刻工藝的具體步驟繁瑣,需要通過硅片表面清洗烘乾、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序,不是簡單的激光就能解決的。
  • “拉同夥”,實際上ASML能夠成功,是因為將三星、臺積電、英特爾等等共同拉入ASML 公司。

為了解決激光,ASML 收購了全球領先的準分子激光器供應商 Cymer,為了解決光刻系統,以 10 億歐元現金入股光學系統供應商卡爾蔡司。

可以說,ASML的成功不是一蹴而就的,激光≠光刻機。

我們的制約因素,不僅僅技術

其實,影響我們的不僅僅是技術,還有技術壁壘。從《瓦森納協議》中的影響,讓我們不得不受限於技術的“限制”。很多時候不是我們不想發展,而是很多技術它是不能夠進來的,在這種情況下,我們的光刻機的發展受到了非常大的限制。


在技術趕不上,又被封鎖的情況下,我們確實會在光刻機方面有所欠缺。當然,我們也期盼能夠在各種技術的合力下,擺脫限制,得到發展,走出一條打破光刻機技術之路。


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