集微网消息，2020年3月，北方华创以大幅缩短装机进度的成绩创下装机新纪录。
据悉，北方华创向客户交付的THEORIS A302L低温退火立式炉系统，是北方华创自主开发的面向纳米级集成电路工艺的低温热处理设备。
THEORIS系列立式炉凭借其良好的系统稳定性、精确的温度控制能力和全面的工艺解决方案，广泛应用于大陆各大集成电路芯片制造企业。
据悉，此次交付正值国内疫情防控的关键时期，北方华创在设备制造环节预先评估生产周期和交付要求，积极协调内外部各类资源，提前完成了厂内的设备装配制造工作。
在后续客户端装机过程中，北方华创在保证设备运行质量的前提下，实现了比预期进度缩短70%工时完成装机交付，在装机时间方面取得重大突破，一举打破国际厂商同类设备20-25天装机时间，创造了该设备的最快装机纪录。（校对/图图）
分享到:
閱讀更多 半導體投資聯盟 的文章
