【国产5nm半导体设备已获得台积电订单 5nm以下技术研发中】除了大家都知道的光刻机，半导体设备生产中还需要各种设备，国内的中微半导体设备公司已经能够生产高端刻蚀设备，其5nm刻蚀机已经批量生产，用于台积电的5nm生产线中，而新一代技术能够涵盖5纳米以下刻蚀需求和更多不同关键应用的设备。
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