“神兽”光刻机之战,大胆猜测哪一家中国公司能够解光刻机之围?

培训厮老房


    光刻机集人类智慧于大成,一台顶级光刻机的关键零部件来自不同的西方国家,德国的镜头、美国的光栅、瑞典的轴承、法国的阀件等等,最麻烦的这些顶级的零件对我国是禁运的。可以说我国的光刻机与荷兰ASML光刻机的差距,客观上反映了我国与西方在精密制造领域的差距。

    我国的光刻机

    我国的光刻机起步较晚,同时还遭遇了西方国家的技术封锁,所以目前制造出来的光刻机主要集中于65nm及其以下的工艺。

    目前,我国生产光刻机的企业是上海微电子,成立于2002年,可以量产制程工艺为65nm的光刻机,距离ASML的7nm EUV光刻机还有很远的距离,而且光刻机技术无法实现跳跃。

    上海微电子也是一家系统集成商,自己并不生产关键零部件,做不出高端光刻机也不是它的责任。现在也只能做好中低端光刻机,慢慢培养国内的零部件商,一点一点往上做。


    荷兰AMSL光刻机

    目前,光刻机的老大是荷兰的ASML,垄断了高达80%的市场份额,最先进的EUV光刻机全球也只有ASML能够生产。

    AMSL光刻机90%的零部件向外采购,整个设备的不同部位同时获得了世界商最先进的技术,德国的光学设备、美国的计量设备和光源,ASML要做的是精密控制。7nm EUV光刻机有13个系统,3万个分件,每个动作都要精细,将误差分散到这13个系统中。

    荷兰的AMSL还有一个独特的合作模式,只有投资了ASML才能获得优先供货权,而台积电、三星、海力士、英特尔都是ASML的股东,大半个半导体行业都是ASML的合作伙伴,形成了庞大的利益共同体。


    中芯国际

    我国的中芯国际,已经突破了N+1工艺制程,性能接近7nm,高端光刻机仍然来自于荷兰的ASML。

    早在2018年,中芯国际就从ASML成功预定了一台7nm EUV光刻机,但是先是因为失火推迟发货,后是因为美国方面的阻挠,2020年了,仍然没有收到这台7nm EUV光刻机。


    总之,高端光刻机集人类智慧与大成,单靠任何一家企业是无法完成的。由于很多原因,很多精密仪器、高精尖的设备对我国是禁运的,只有慢慢培养国内零部件厂商,一点一点往上走。

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Geek视界


很遗憾的告诉题主,没有一家中国公司可以解光刻机之围,并且未来很长一段时间将保持这种状态。我来简单说说我国当前光刻机的现状吧!

1、光刻机需要先进系统制造商

我国目前生产光刻机的系统制造商有几家,比如无锡影速、合肥芯硕、先腾光电、上海微电子,当前能生产最先进光刻机的系统制造商是上海微电子,量产机型能实现90nm制程工艺,其他厂商的技术还停留在200nm,乃至800nm~1500nm,是不是很吃惊?要知道荷兰ASML最先进EUV光刻机的工艺达到了7nm,而我们最好的还只是90nm。

我国光刻机在全球范围内来说,技术处于低端领域,中端市场目前被日系厂商尼康佳能所占据。在技术落后两三代的情况下基本没可能,要求上海微电子短期内实现跨越式成长,从低端赶上中端,然后再全力超过荷兰ASML几乎是不可能的。

因此,单从系统制造商这个层面来说,现在的上海微电子无法解决我国缺乏先进光刻机的困扰。

2、光刻机仅有系统制造商不行

光刻机是一个非常复杂的设备,单就上海微电子产的光刻机就有几万个配件,想要实现光刻机技术的飞跃,各个核心子系统的制造商不可或缺,没有他们生产出给力的核心部件,上海微电子就是巧妇难为无米之炊。

就拿光刻机两个核心子系统光源、双工件台来说,目前国内水平有突破,比如上海微电子光刻机使用的镜头和光源由长春光机研发,之前该机构研发的“极紫外光刻关键技术研究”获得验收,可以实现32nm线宽的EUV光刻。而由清华大学领衔的工件台研发也取得了不错的成绩,目前我国能制造出双工件台,是ASML之后唯一的一家,这机器现在可以应用于65nm及以下节点是光刻机。

你看,如果说没有长春光机和清华的研发,上海微电子光刻机的核心子系统就没法得到提升,其制造出的光刻机也就没法拥有更好的制程。但以上只是光刻机中的两个子系统,还有更多的子系统和配件,如果说其他配件或者子系统供应商技术上不去,那我国光刻机的整体水平依旧上不去。

事实上荷兰ASML的光刻机能做成,很重要一条因素就是能在全球拿到最好的配件,源自美国的光源,德国蔡司提供的最好镜头,光学器件采购自日本厂商,法国瑞段的阀件轴承等等。

Lscssh科技官观点:

综合来说,光刻机是一个系统工程,是各个领域技术的集大成者,不仅需要类似ASML这样系统制造商,还需要类似长春光机这样的各个配件供应商或者研发机构一同努力,只有整个光刻机产业链一同发展一同取得进步,我国光刻机才可能有快速的发展,其中任何一家拖后腿都可能影响到我国光刻机的研发。

因此,没有一家中国公司可以解光刻机之围,只有靠举国之力才可能研发出最先进的光刻机。



Lscssh科技官


感谢您的阅读!

中芯国际的N+1技术的出现,让我们对于7nm光刻机似乎就不再担心了。因为有消息称,N+1 技术已经可以接近7nm工艺了,甚至可以取代7nm工艺了。这种说法确实有点夸大,虽然我们也知道,它的性能提升 20% 的同时降低 57% 的功耗、并将逻辑面积减少了 63%。

让我很遗憾的告诉你,虽然它确实提升了性能。可是,它和真正的7nm工艺还是有一段不小的距离,

其实,中芯国际已经非常杰熟练的掌握了14nmFinFET 制程工艺的量产,而中芯国际最新研发出了N+1和N+2工艺,也在不断的缩小我们在技术方面,和国际社会的差异。可是,光刻机领域,我们还是和ASML有一定的差异性。

  1. 来自于外国技术的封锁,特别是ASML,它的技术一直是藏着掖着的,即使中芯国际已经获得了它的7nm 光刻机,但并非是最先进的技术。
  2. 来自于瓦纳森协议,这项协议确实禁止我们在一些技术上面使用外国技术,特别是特别是光刻机方面的技术,我们确实处于被协议制约。
  3. ASML的模式我们学不来,一方面它将所有的主要设备厂商作为它的股东,比如说台积电,三星等等;另外一方面它将世界上所有的最先进技术引入到光刻机中。这种模式,我们很难学习。

确实我们寄希望于上海微电子,但是它的技术目前是90nm光刻机——

可是我们也不需要妄自菲薄。我觉得像中科院等一些国内研究光刻机的机构,他们一定会通过其他的途径,解决光刻机的问题,绕过技术方面的壁垒,带来全新的技术升级。


LeoGo科技


中一光学!哪天中一光学镜头市场份额超过尼康佳能,就有希望!你们觉得什么时候做得到?连光学技术都没达到尼康徍能水平,怎样去叫板蔡司和徕卡?手机镜头厂技术不管用!

光学技术能达到蔡司徕卡水平,不到世界第一,世界第二也跑不掉!


紫水晶9795


如果按照光刻机的发展,我可以负责任的告诉你,永远没有可能!因为光刻机是集所有欧美最新最顶级技术大成的产品,我们国家不可能在任何领域都超越别人!但是现在科技日新月异,难保不会出现新的纳米技术让我们弯道超车!就好像现在的5G,已经和以前的通信技术完全不同,所以科技才是第一生产力!我相信我们国家终会登顶世界之巅!


执剑人章北海


我第一个回答一下:

光刻机是一项庞大的系统过程,最新的EUV光刻机一台就具有10万零部件以上,重达180吨。

虽然大家都知道目前EUV光刻机是由ASML制造提供的,但是ASML也主要是作为一个EUV系统集成整合提供商,虽然ASML也拥有非常多关键技术。

这里讲一下EUV系统主要的三大供应商,

荷兰ASML,系统整合

德国Zeiss,光学镜头系统

德国Trumpf,激光等离子发生器

这三家企业都是各自领域内的全球性巨头。

这还只是最主要的三家企业,对于需要全球最优秀的企业一起合作才能搞定的EUV系统,

你会觉得中国有哪家企业或是机构可以搞定吗?

无论是中国最强科技企业(华为)还是最大科研机构(中科院)都无法搞定,只有全国之力才有点机会


集成电路科普者


光刻机按级别应属于大国重器行列,在没有很多顶尖配套公司辅助的前提下,需要从国家层面解决问题!世上无难事!


国际庄环保践行者


聚全国之力,在中国轻而易举。关键问题有几家企业的技术能够达到要求。上海中微公司号称中国最先进光刻机生产公司 但生产的是90nm,离5nm还很远,更别说2nm了。当下我们应该是两条腿走路,一是继续研制,二是向荷兰施压 ,既然签了光刻机买卖合同,就必须执行,欠债还钱,天经地义。毛主席说,打痛了帝国主义,他就会老老实实,服服帖帖。别忘了,不可一世的美帝国主义,在板门店不也乖乖的在停战协议上签字了吗😊


日出佛晓


近期难有中国公司突破。想象看看发动机,我们都奋斗了这么久,还没根本性解决。更别说光刻机了。


瑶池枫桥


不出五年中国就可自产,像当初手机刚出现不是一样说的神乎其神,如今被中国全面攻破完全自产。相信中国,相信有智慧的中国人民,光刻机我们十年左右可超荷兰。中国必胜!


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