三菱电机于 2020 年 3 月 12 日公布，开发了一款搭载了可水平、竖直扫描的电磁驱动式MEMS（Micro-Electro-Mechanical System，微电机系统）Mirror 的、小型的、具有较广水平视角的“MEMS 式车载 LiDAR（Light Detection and Ranging，激光雷达）”。未来，将进一步推进小型化、扩大垂直视野角度，力求在 2025 年以后实现商用化。
根据日媒 Monoist 报道，新开发的 MEMS 式车载 LiDAR 大致有两大特征：其一，开发电磁驱动式 MEMS Mirror，它利用水平、垂直双轴来扫描发射和接收的光。为了使车载 LiDAR 来获取前方车辆、行人等高精细的 3D 图像，就需要把作为发射光的激光照射到对象物体上，然后更多地收集由该物体反射产生的接收光。因此，需要扩大设置在光路上扫描镜的尺寸、增大扫描镜的转动的角度。
三菱电机开发的 MEMS 式车载 LiDAR。（图片出自：三菱电机）
新开发的 MEMS Mirror 通过独特的设计结构，控制表面变形，同时兼具业界最高级别的 7*5mm 尺寸、轻量化，通过采用具有较高驱动力的电磁式 MEMS，实现了水平达±15 度、垂直达±3.4 度的较大转动角度。此外，利用半导体加工技术，可以在硅基板上大量生产 MEMS Mirror，因此容易实现量产。与利用马达驱动的设备相比，MEMS Mirror 具有搭载较少数量的零部件、更好的耐用性的预期优势。
另一个特点是采用了新开发的 MEMS 反射镜和光学组件（多个激光光源、光探测器、透镜等）配置，控制遮光现象（受到 LiDAR 内部零部件配置影响产生的遮住激光的现象），确保水平视角达到 120 度。由于可以大范围地拍摄高精细的 3D 图像，因此，可以准确地检测行走在车辆前方的汽车、对面驶来的汽车、横穿马路的行人、红绿灯、标识等路边物体。
利用此次开发的 LiDAR 获取的 3D 图像。（图片出自：三菱电机）
此外，由于优化配置了信号处理线路基板、电源线路、收发光部件，因此实现了 LiDAR 本身的小型化。外形尺寸为 108*105*96mm，也就是约 10cm 见方的尺寸，体积为 900cc。
另外，扩大垂直视角和进一步实现小型化是未来开发的目标。就 MEMS Mirror 而言，目标是通过改良其光束结构，使垂直向的转动角度扩大至±6.0 度以上。同时，就 LiDAR 本身的性能而言，其目标是获得 25 度以上的垂直视角、更容易地检测近距离的车辆、行人。小型化的目标是体积降到 300cc 以下。
2025 年，全球车载 LiDAR 市场规模达到 3,300 亿日元
车载 LiDAR 是一种发射激光到车辆、行人等周边对象物上，通过测算光反射回来所花费的时间来计算距离，然后实时、且立体地把握周边情况的传感器。车载 LiDAR 是高度发展 ADAS（Advanced Driving Assistance System，高级驾驶辅助系统）、实现无人驾驶技术不可或缺的主要元件，在全球范围内，正以年均 170%的增长率迅速增长。据预测，2025 年的全球市场规模将会达到约 3,300 亿日元（约人民币 214.5 亿元）。
如今，无人驾驶车辆等实证实验中采用的 LiDAR 主要是“机械型”：激光照射到马达驱动的旋转 Mirror 上，然后识别周边情况。但是，由于马达驱动的零部件较多，难以实现小型化、且成本较高；此外，由于要长时间驱动马达，因此存在围绕温度、湿度、震动等耐久性问题。据说必须将非机械 LiDAR（例如由 Mitsubishi Electric 开发的 MEMS LiDAR）投入实际使用，才能将自动驾驶汽车从演示测试阶段转移到批量生产阶段。
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