集微網消息（文/小如）3月18日，衛光科技6英寸線二期高端功率器件項目首臺重點工藝設備超薄晶圓減薄機DFG8540移入微晶微電子公司生產線。
據悉，該設備是為滿足高端FS型IGBT器件超薄晶圓減薄工藝所需，主要用於6英寸硅片的圓片減薄工藝，可將硅片減薄至85um，同時可保證硅片的平整度。截至目前，6英寸線二期項目中已有2臺輔助設備奧林巴斯顯微鏡移入生產線，本次重點工藝設備減薄機DFG8540的順利移入，標誌著6英寸線二期項目的全面有序開展。
西安微晶微電子公司為衛光科技全資子公司，西安衛光科技有限公司成立於2007年元月22日，隸屬於陝西電子信息產業集團公司，是我國低頻大功率半導體器件重點企業，也是我國較早生產半導體器件的企業之一。（校對/小北）
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