中國能做3納米的光刻機嗎?

你來不來我都在這726


就像家裡的臺式電腦一樣,這麼多年以來,壞了就是做系統,換硬盤,電吹風給主機吹土,也沒啥別的可修理的了。所以,也就是一招鮮吃遍天,換硬盤也就希捷西數的都是美國的品牌,這個國產硬盤還不能取代,仿造也不是太容易。所以,光刻機也沒那麼神秘兮兮的,早晚會做成白菜價的,因為,華為在研究著,華為不差錢,世界三萬億美元的大公司來華為考察,任總不接待,不買華為設備不接待,華為任總就這麼牛。華為就是中國先進通信技術的代名詞。





喜果W


一、中國目前的技術在90nm,最先進的ASML也是5nm,3nm無人能造

首先回答問題,那就是不能,目前中國量產的光刻機技術是90nm,90nm之後還有N個臺階,離3nm的差距,至少是10年起步。

中國目前光刻機技術最強的是上海微電子,生產的光刻機還在90nm階段,處於光刻機技術的最後一檔。

如上圖所示,中國的SMEE處於低端,也就是90nm,而日本canno也處於這一檔,而Nikon處於7-28nm。

而技術最強的ASML目前的技術是5nm/7nm技術,也沒有3nm技術,所以現在說3nm真的是太早太早了。


二、光刻機的核心技術是什麼,為何這麼難?

那麼光刻機的核心技術是什麼,為何這麼難?其實從元件來看,核心元件是鏡頭,因為光刻機的原理是放大的單反,用光把電路圖刻畫在硅片上,一次又一次,一層又一層的刻畫。

所以核心指標是分辨率、套刻精度,分辨率則是指能夠刻畫線路圖的分辨率,這個就是工藝的節點技術,比如5nm、7nm等。

而套刻精度則是指多次刻畫之間的精度,這兩項主要是在於組裝技術,靠常年累月積累,經驗來實現的,這就是ASML的厲害之處,別人拿了它的圖紙,它的元件,也未必能夠做到的分辨率和套刻精度。


互聯網亂侃秀



現在全世界最先進的光刻機生產企業,也不能生產3納米的光刻機。


荷蘭的ASML公司,能生產5納米和7 納米的光刻機。中國最先進的光刻機企業上海微電子,可以生產90納米的光刻機。比世界先進水平落後了八九代,二三十年。

中國其他的光刻機生產企業。只能生產200 納米的光刻機。

即使荷蘭的ASML公司,也要一兩年之後,才能生產3納米的光刻機。

中國的企業若想生產3納米的光刻機。可能要30年之後。


楊朱學派


中國能做3納米的光刻機嗎?就目前來說,不但中國沒有製造出3nm的光刻機,即使是全球最好光刻機廠商ASML也沒有辦法做出3nm的光刻機。


光刻機是製造芯片所必須的設備,而高端光刻機全部被ASML所壟斷,除此之外的全球僅有的幾家光刻機廠家,如Nikon、Canon、SMEE等則在中低端市場展開競爭。其中中國的上海微電子裝備集團即SMEE是國內光刻機的佼佼者,其最先進的製程也只能達到90nm,與ASML的7nm先進製程光刻機相比,差距還很大。而ASML已經在探討是否能夠實現1.5nm製程光刻機的可能性了。


中國是否能夠再短期內製造出3nm的光刻機呢?不太可能。比如ASML最先進光刻機需要13個系統、3萬多個零部件,因其需要精準的動作將誤差控制嚴格,需要來自全球頂尖的技術、零部件、材料等的支持,單靠ASML是沒有能力在這麼多領域達到要求的。所以其90%的零部件是從全球各地採購最頂尖的,比如德國頂尖的光學設備、美國的計量設備及光源設備等。

而如此之多的精密零部件設備,涉及到各種相關產業,目前國內的零部件可以解決有無的問題,但不能解決最頂尖技術或最頂尖的零部件的問題。也就是說國內的產業鏈條,目前還滿足不了生產高端光刻機所需要的零部件,而這些零部件又主要來自於對我們實施技術封鎖國家或地區,比如美國。如果單靠國內培育相關的產業鏈讓這些零部件達到全球領先水平,那也不知道要到何時才能夠實現。


目前中國製造3nm的光刻機有困難,即使是向ASML購買7nm/5nm製程的光刻機也存在困難。根據西方泡製的《瓦森納協定》,我們只能購買到我們自己當前能夠達到的技術水準的光刻機,也就是我們自己如果具有了90nm的光刻機的能力,那麼我們可以購買到90-75nm這樣製程的光刻機,而更好製程的光刻機則對我們是禁止的。所以國內的華虹、中芯國際、長江存儲等芯片製造企業,都只能向ASML購買中低端的光刻機。

早在2年多以前中芯國際花費大約1.5億美元向ASML訂購了一臺7nm EUV光刻機,不但中途各種波折,到目前是否能購買成功還是未知數。不過國內已經知道了光刻機的重要性以及外購的困難度,應該說國內如上海微電子、中電科45所等必然會加大光刻機及相關零部件的研發力度,相信我們擁有高端光刻機也並非不可能。


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東風高揚


不能


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感謝您的閱讀!

摩爾定律那麼好打破嗎?確實,臺積電已經在規劃未來的3nm製造工藝,承諾2022年批量生產;緊追不捨的三星宣佈,已成功研發出首款3nm工藝芯片,基於全柵極(GAAFET)技術。所以,看似牢不可破的摩爾定律可能會在新技術,新材料,以及全新地物理機制下,可能進一步被打破。


其實,目前大家使用GAAMCFET(多橋通道FET)工藝取代之前的FinFET工藝;而美國還在禁止高科技出口禁令,這裡包括了量子計算機、3D打印及GAA晶體管技術等等,而GAA晶體管技術確實是未來突破3nm工藝的重點,如果我們突破不了這種GAA晶體管技術,可能在3nm工藝中,會很難進一步。

如今,我們上海微電子的分辨率為90nm,而之前,武漢光電國家研究中心的甘棕松團隊,成功研發出9nm工藝的光刻機。

這一次使用的是二束激光在自研的光刻機上突破了光束衍射極限的限制,刻出了最小9nm線寬的線段。

我覺得國內的光刻機工藝如果想要攻克這種困難,主要還是在材料上,如果在材料上解決這個問題,可能美國等國家的限制就不存在了。


LeoGo科技


能,20年後


喵星人882


前面的回答都已經說了3nm的光刻機全世界都沒有。那麼我稍微跑一下題,聊聊關於光刻機的製造

眾所周知,光刻機是芯片製造中最重要的一環(光刻機技術直接決定的芯片的質量和性能),既然光刻機如此重要,那為什麼光刻機這個市場沒有像芯片市場一樣,群雄爭霸,而是由ASML一家獨大呢?這個回答就帶大家看一看最真實的“半導體戰爭”

狂妄的ASML

2020年1月22日ASML發佈了最新的季度和年度財報業績,並舉行電話會議。ASML總裁Peter Wennink在這次會議上明確表示,高端的EUV光刻機永遠不可能被中國模仿。

我把他說的原話大概總結一下:

像高端的EUV光刻機,就算中國願意出比別人更多的價錢,也不是中國想買就能買到的。我把機器賣給你也不怕你拆解然後剽竊我的技術,不僅僅因為這種機器有80000個零件,而且裡面裝有傳感器,一旦檢測到有異常情況發生,我們總部就會響起警報。中國也不可能偷偷製造芯片,因為這樣必須要涉及很多專家。就算他們成功了,他們將給市場帶來很多無法追蹤來源的芯片,而最終曝光。


為什麼ASML可以一家獨大?

看了上面Wennink的”自信“發言,是不是心中有一點憤慨?但Wennink的自信也不是沒有根據的。畢竟光刻機領域ASML就是一家獨大。

如果說芯片是人類汗水的產物,那麼光刻機就是人類智慧的結晶

那我們再說說ASML是如何爬過佳能和尼康頭頂,一家獨大的。

在日本半導體行業蒸蒸日上的那些年,尼康和佳能的光刻機一度是市場主流,英特爾45nm製程還在用尼康的光刻機。

後來日本廠商因為技術原因衰敗後,光刻機技術就成為了三大玩家暗中博弈(德國、美國、荷蘭)的舞臺。

從上圖中我們就能看到,想研發生產光刻機需要兩個基礎:頂級的光源和鏡頭。

能給極紫外光刻提供鏡也只有蔡司,也只有美國光源能達到極紫外光刻的要求。

然後再由英特爾推動製程(7nm之前的每一個重大節點都是英特爾先弄出來的,沒有英特爾,ASML不會有今天這種盛況。)

2009年,ASML遇到困難,然後英特爾、三星和臺積電共計投資52億美元支援ASML。

說ASML是個”雜交“公司一點也不為過,它由不同的公司持股,比如:英特爾,臺積電,三星。但最大的股東還是美國,所以美國對ASML由絕對的話語權

這下,ASML要錢有錢,要資源有資源,他們就迅速的成為了行業的壟斷性巨頭。

光刻機也是大國對弈

前面已經說了,美國對ASML有絕對的話語權,而光刻機作為集成電路製造過程中最核心的設備又至關重要,芯片廠商想要提升工藝製程,沒有它萬萬不行,中國半導體工藝一直上不去(以至於華為麒麟芯片一直都是找臺積電代工),光刻機被禁售是一個主要因素。

為什麼我們出再多錢ASML也不賣呢?這就要提到《瓦森納協定》。

《瓦森納協定》又稱瓦森納安排機制,全稱為《關於常規武器和兩用物品及技術出口控制的瓦森納安排》,目前共有包括美國、日本、英國、俄羅斯等40個成員國(注:沒有中國)

簡單來說就是不把最新的設備賣給你,等過幾年我用舒服了,出了更先進的設備時,再把這一代設備賣給你。

當然了,對於光刻機我們國家也一直在研究製造,但因為多方面因素,我國性能最好的是光刻機都有90nm。製程上的差距大,所以國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。


好了我想說的已經差不多了,感謝大家能看到這裡

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科氪芯


幾乎不可能!主要是光學鏡頭全球只有德國的能做出來,再就是日本。咱目前還做不出這麼高精度光學鏡頭!7nm的中芯國際在研發中,據說準備裝機試做看精度如何?再辛苦努力幾年應該會拿下!


山高我為峰1969


能做但不是現在,而是將來,只要你有這個信念就一定能做。莫說3納米一納米都能做,不過我們這輩子可能等不做了。


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