LCD 、OLED 制程迎来革命性反转,柔性透明光罩实现超精细Pattern

LG 显示(以下 LGD)通过产学合作孵化课题支援,联手延世大学 Shim Uyeong(新材料工学科)教授团队,开发出革新性新面板技术。研发成果刊登于国际学术期刊 Nature Communications。根据韩媒 inews24 报道,研究团队利用柔性透明的新型 Photo 光罩实现了超精细 Pattern,是一种全新的光刻(Photolithography)技术。此技术可应用至 LCD 和 OLED 制程。

LCD 、OLED 制程迎来革命性反转,柔性透明光罩实现超精细Pattern

光刻(Photolithography)技术是指半导体和面板制程中,将光刻胶(Photo resist)感光液薄涂于晶圆或玻璃上,然后将绘制 Pattern 的光罩置于其上,通过照光形成电路的技术。而此电路的成型,主要取决于称之为 Photo mask 的核心部件。究团队为了克服传统光罩的硬性特征,开发出柔性、透明的新光罩制程,利用原有曝光设备实现了 100 分之 1 水平的数十纳米单位超精细 Pattern。超精细 Pattern 绘制出的电路是面板实现超高像素不可或缺的关键。而柔性材质的光罩,还可应用于曲面基板,将有助于多种形态的面板生产。

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TFT-LCD液晶显示技术,最早诞生于20世纪60年代美国,美国RCA公司萨夫诺中心发现了动态散射液晶,后续西屋电气发明了TN-LCD(扭曲相列型液晶显示器),TFT-LCD真正实现产业化是在20世纪90年代,日本企业相继建成TFT-LCD第一代线、第二代线,将TFT-LCD应用到电子表等产品中。回顾整个TFT-LCD产业的发展历程,经历了三次的产业转移。

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LCD产业链可分为上游基础材料制备、中游面板制造和下游终端产品制造三个环节。液晶材料是液晶面板的核心组成部分,生产企业主要分为两类,一类是生产液晶单体、中间体的前端材料生产商,另一类是生产混合液晶的终端材料生产商,公司主要从事液晶中间体制备、液晶单体合成及提纯业务。由于在终端材料混晶的生产中,对配方的技术要求高,提纯工艺复杂,因此具有更高的技术壁垒,目前全球混晶材料主要生产企业为德国Merck、日本JNC (CHISSO全资子公司)和DIC三大公司,全球市场份额合计占比接近90%,国内混晶材料生产企业包括金讯阳光、江苏和成、诚志永华等。

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检测贯穿面板制造全程,检测环节是各制程生产中的必备环节。面板检测行业进入壁垒高,虽然平板显示产业发展较快,但能够提供检测设备的企业较少,尤其是能够提供Array 和Cell 等前端制程检测设备的企业更少。国内平板显示检测行业规模正在迅速扩大,中前段设备国产替代空间巨大。一块面板质量合格,必须达到较高的技术指标,因此必须使用检测设备在每一制程的最后对玻璃基板或者面板成品进行检测。

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