本文作者Kurt E. Petersen，被譽為MEMS之父，IEEE終身Fellow，美國國家工程院院士，硅谷天使投資（Silicon Valley Band of Angels）成員，並將於今年5月在聖地亞哥舉辦的一次活動中獲得2019年IEEE榮譽獎章，以表彰其在MEMS領域的貢獻。
成熟的供應鏈以及設計和製造基礎設施，結合成功的商業化背景和更廣闊的市場需求，為MEMS領域的初創公司提供了一個充滿活力的發展環境。
MEMS（Micro-Electro-Mechanical System，微機電系統）這個首字母縮略詞，自1987年誕生以來已經陪伴了我們30多年。實際上我們從1960年代就已經開始在硅晶圓上開發、製造並出貨這類器件。事實上，MEMS這個細分領域最早是由Richard Feynman在其1959年發表的開創性論文“There’s Plenty of Room at the Bottom”中提出的。
第一批MEMS產品主要是壓阻式壓力傳感器和應變傳感器，主要用於航空航天和工業應用。不過，多年來這些市場規模仍然不大。如今，從納米尺度的原子力顯微鏡尖端，到具有數百萬個可運動反射鏡的數字投影芯片，市場上出現了一大批令人眼花繚亂的MEMS器件。MEMS已經廣泛應用於噴墨打印機噴嘴、醫療診斷微流控器件，以及我們常用的移動設備中的MEMS麥克風、加速度計、陀螺儀、振盪器和FBAR濾波器等。
現在，全球每年生產數十億顆MEMS器件，每年的市場規模超過200億美元。令人難以置信的是，這種爆發性增長主要集中在過去的十來年內。
據麥姆斯諮詢介紹，受向5G過渡的複雜性和更多的頻帶要求，4G/5G對射頻（RF）濾波器的需求持續增長，使得RF MEMS（BAW濾波器）成為增長速度最快的MEMS細分市場。該領域市場規模預計將從2017年的23億美元快速增長至2023年的150億美元。不算RF器件，2018~2023年期間MEMS市場的複合年增長率預計為9%，而算上RF市場，這一數字將達到17.5%。
2017~2023年MEMS市場預測：RF器件 vs. 其它MEMS器件
數據來源：《MEMS產業現狀-2018版》
早年，我們曾經覺得做MEMS挺悲催的，因為幾乎無法說服當時的集成電路代工廠為我們提供製造服務。他們對於我們的需求，總是冷眼相待。現在大不相同了，幾乎每家代工廠和組裝廠都建立了MEMS產線，因此現在的MEMS創業公司擁有了強大的代工基礎。
實際上，每個擁有工程專業的大學都在研究和開發新的MEMS結構、製造工藝和應用。他們的研究包括利用MEMS和視網膜植入物製造的微型機器人，有可能讓盲人重見光明。
MEMS視網膜植入物原型
此外，還有許多潛在的創新產品尚未大規模商業化，例如MEMS揚聲器、GHz範圍內的可調諧電子濾波器、可變天線調諧器、MEMS開關、空氣微粒MEMS傳感器、攝像頭應用的MEMS自動聚焦和變焦執行器、MEMS激光雷達以及物聯網應用的能量收集芯片等。
健康/健身和物聯網應用，為新型MEMS傳感器和執行器提供了巨大的市場機遇，包括車輛監控、建築結構和空間佔用監測，以及農業和畜牧監測等。
全球知名MEMS初創企業
作為一名創業導師和天使投資人，我幾乎每天都會看到新穎的創新概念。例如，Zephyrus Biosciences公司擁有單細胞蛋白質測試的微流控技術，並於2016年被Bio-Techne公司收購。Chirp為移動設備設計開發了一種低成本MEMS超聲波傳感芯片，也已在2018年並被TDK收購。
在眾多值得關注的私營公司中，NextInput擁有一種力傳感技術，可以改變按鈕的實現方式。IMT和Menlo Microsystems可能最終已經克服了50年來構建高可靠MEMS歐姆開關的難題。
我鼓勵所有的MEMS研究人員和開發人員繼續致力於培育和創造這個有趣而又令人興奮和驚歎的新興行業。
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