集微網消息，2020年3月，北方華創以大幅縮短裝機進度的成績創下裝機新紀錄。
據悉，北方華創向客戶交付的THEORIS A302L低溫退火立式爐系統，是北方華創自主開發的面向納米級集成電路工藝的低溫熱處理設備。
THEORIS系列立式爐憑藉其良好的系統穩定性、精確的溫度控制能力和全面的工藝解決方案，廣泛應用於大陸各大集成電路芯片製造企業。
據悉，此次交付正值國內疫情防控的關鍵時期，北方華創在設備製造環節預先評估生產週期和交付要求，積極協調內外部各類資源，提前完成了廠內的設備裝配製造工作。
在後續客戶端裝機過程中，北方華創在保證設備運行質量的前提下，實現了比預期進度縮短70%工時完成裝機交付，在裝機時間方面取得重大突破，一舉打破國際廠商同類設備20-25天裝機時間，創造了該設備的最快裝機紀錄。（校對/圖圖）
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