[文章導讀] 真空等離子清洗機的反應腔室常見的材質包括石英玻璃、不鏽鋼和鋁合金等，不同行業和應用領域的選擇會有所區別。用於半導體行業的等離子清洗機大多采用鋁合金，這是為什麼呢？
半導體行業用於清洗、刻蝕的等離子清洗機對真空反應腔室的材質選擇比較講究，畢竟處理晶圓、支架等產品對工藝環境的要求很高。誠峰智造等離子清洗機選擇鋁質腔體大致有以下一些原因：
1、 鋁合金密度低，強度高，超過優質鋼，機械加工性能比較好。
2、 鋁具有優良的導電性、導熱性和抗蝕性。
3、材料對化學反應的兼容性比較好，不易產生金屬汙染、particle等。
4、表面處理方面鋁合金較為豐富，包括電泳、噴塗、陽極氧化等。
5、趨膚深度鋁是不鏽鋼的10倍以上，使得電流分佈更均勻，腔體不容易發熱。
真空等離子清洗機
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