高精度數控機床、多工序自動數控機床、精密機床和精密測量儀器中使用的滾珠絲槓副傳動, 其導程精度要求同精密量具一樣高。大規模集成電路圖形描繪機上的滾珠絲槓副, 定位精度達± 0. 25μm/100mm; 大型數控機床上的滾珠絲槓傳動, 重複定位精度為± 7μm/400mm。隨著機床精度要求的提高和超大規模集成電路的應用, 其精度要求也越來越高。高精度、同時具備高的精度保持性是數控機床對配套的滾珠絲槓副產品提出的最基本要求。
機床滾珠絲槓
螺紋磨床性能的提高, 加工技術、激光測量技術與使用測微儀連續自動測試分析處理系統裝置的發展, 以及低溫處理法均質技術的出現, 均極大地有助於滾珠絲槓傳動的高精度化。國外許多有名的專業公司分別將Matrix 導程測微儀連續自動測量、激光干涉儀、Zeissulm—300 測量儀等尖端設備用於螺紋磨床母絲槓和精密測量儀的進給螺旋傳動, 目前還在向更高的精度發展, 大量採用新技術措施, 如日本採用與滾珠絲槓副產品同尺度的試製性絲槓來確定熱膨脹量, 以便根據使用中的溫升情況來修正導程。採用事先預壓處理達到負導程修正, 利用內應力消除熱膨脹的影響來達到精密進給的目的。這些方法在加工精密機床裝配滾珠絲槓副時, 已是一種常識性的技術, 如將絲槓軸製成空心, 向孔內通冷空氣或冷卻液的新方法已普遍使用。
SJ6000激光干涉儀進行螺距補償
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