觸覺敏銳——常見壓力傳感器的分類

常用壓力傳感器有:

電容式壓力傳感器、變磁阻式壓力傳感器(變磁阻式傳感器、差動變壓器式壓力傳感器)、霍耳式壓力傳感器、光纖式壓力傳感器(見光纖傳感器)、諧振式壓力傳感器等。

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圖1.電容式壓力傳感器

電容式壓力傳感器(capacitive type pressure transducer),是一種利用電容敏感元件將被測壓力轉換成與之成一定關係的電量輸出的壓力傳感器。特點是,低的輸入力和侏儒能量,高動態響應,小的自然效應,環境適應性好。

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圖2.變磁阻式壓力傳感器

變磁阻式傳感器(又稱自感式電感傳感器)屬於電感式傳感器的一種。它是利用線圈自感量的變化來實現測量的,它由線圈、鐵芯和銜鐵三部分組成。

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圖3.差動變壓器式壓力傳感器

把被測量的變化轉換為線圈互感量的變化,且二次線圈又接成差動形式,這種根據變壓器的基本原理做成的傳感器稱為差動變壓器。

差動變壓器壓力傳感器的結構有Ⅱ型結構、螺管型結構。傳感器的靈敏度隨電源電壓和變壓器的增大而提高,隨初始間隙增大而降低。Ⅱ型結構的差動變壓器銜鐵為平板形,靈敏度較高,但測量範圍小,一般用於測量幾微米至幾百微米的機械位移,螺管型結構的差動變壓器,測量範圍達1mm至上百毫米。

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圖4.霍耳式壓力傳感器

霍耳式壓力傳感器是於霍耳效應的壓力傳感器。它將霍耳元件固定於彈性敏感元件上,在壓力的作用下霍耳元件隨彈性敏感元件的變形而在磁場中產生位移,從而輸出與壓力成一定關係的電信號。

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圖5.光纖式壓力傳感器

伴隨著光導纖維及光纖通信技術的發展而迅速發展起來的一種以光為載體,光纖為媒質,感知和傳輸外界信號(被測量)的新型傳感技術。當這種外界信號為壓力時,即構成光纖壓力傳感器。光纖壓力傳感器作為一種新型的傳感器,與傳統的壓力傳感器相比體積小、重量輕,具有電絕緣性、不受電磁干擾、可用於易燃易爆的環境中等優點,另外還可以構成光纖分佈式壓力傳感器,對橋樑、大壩等進行健康狀況的實時監測。

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圖6.諧振式壓力傳感器

諧振式壓力傳感器是利用諧振元件把被測壓力轉換成頻率信號的壓力傳感器。

利用諧振元件把被測壓力轉換成頻率信號的壓力傳感器。它是諧振式傳感器的重要應用方面,主要有振弦式壓力傳感器(見振弦式傳感器)、振筒式壓力傳感器(見振筒式傳感器)、振膜式壓力傳感器(見振膜式傳感器)和石英晶體諧振式壓力傳感器(見石英晶體諧振式傳感器)。


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