林本堅 資料圖
“得知獲獎的那天早上，我在家裡做事情，我太太匆忙過來跟我說，‘有個人來找你，是大陸口音’，我想也用大陸口音回覆。結果打電話給我的人介紹了未來科學大獎，告訴我有100萬的獎金，我說‘獎金很不錯’。然後我聽到了周圍有笑聲，我想你們當中應該也有當時笑我的吧 。”2018年未來科學大獎的數學與計算機科學獎獲得者林本堅，11月中旬在接受包括澎湃新聞（www.thepaper.cn）在內的媒體採訪時心情甚好，還跟在場記者開了個玩笑。
時間撥回兩個月前未來科學大獎的新聞發佈會上，北京國際數學研究中心主任田剛現場連線林本堅，彼時林本堅在電話裡說道：“我本來以為大陸不知道這件事，現在我明白了，大陸也很清楚我在半導體和微電子上做的一點小小的貢獻。”
2018年是集成電路發明以來的第60年。臺積電前研發副總經理林本堅，因為開拓浸潤式光刻系統方法並持續擴展納米級集成電路製造，獲得了2018年未來科學大獎的數學與計算機科學獎，同時成為未來科學大獎首位來自中國臺灣的獲獎者。
林本堅是臺積電的傳奇人物，專注於半導體制程中的光刻技術的研發。2002年，他研究出以水作為介質的193納米浸潤式光刻技術（Immersion Lithography），改變了半導體產業以乾式光刻作為主流的傳統。他本人也因此成為臺灣“中央研究院”第一位產業界出身的院士。193納米浸潤式光刻技術讓摩爾定律得以延續，也協助臺積電躍進三個世代，取得產業上的優勢地位。
林本堅於1970年獲得美國俄亥俄州立大學電機工程博士，畢業後在IBM不斷提高成像技術，一干就是20多年。2000年林本堅回到臺灣並在著名半導體制造公司臺積電任職。2015年底，林本堅從臺積電退休，目前在臺灣大學、臺灣清華大學等任講座教授。
“雖千萬人吾往矣”
時間撥回兩個月前未來科學大獎的新聞發佈會，臺灣新竹交通大學校長張懋中表示用“雖千萬人吾往矣”來形容林本堅再合適不過。在林本堅提出用水浸潤，代替原本間隙中的空氣的時候，全世界都繼續堅持乾式工藝。
“他一個人站在一艘航空母艦前叫停。他憑什麼叫停？就是在很堅實的物理學基礎上、光學基礎上，加以透徹的解釋，光刻在怎樣的規律下才能繼續前進。”張懋中這樣評價林本堅的獲獎原因。
在集成電路行業，摩爾定律就是人們發展半導體工藝時跟隨的“路線圖”，由英特爾的創始人之一戈登·摩爾提出。講的是當價格不變時，集成電路上可容納的元器件數目，約每隔18-24個月便會增加一倍。從笨重的大型電腦到掌上輕巧的智能手機，摩爾定律的魔力無所不在。
而光刻技術是指集成電路製造中利用光化學反應原理將電路圖形刻蝕到介質層上，形成有效功能圖形的工藝技術。摩爾定律要求在單位面積上刻得足夠小，對於光刻領域，關鍵的技術難點在於縮短光的波長。因為波長越短，光刻分辨率越高，所以大部分人會想到用波長較短的X光做。而林本堅則創造性地想到將工藝從“乾式”改為“浸潤”，用水代替空氣，以縮短波長。
林本堅指出，摩爾定律意味著在當下這一代技術問世後，研發人員要判斷未來兩到三代的技術方向。1987年林本堅還在IBM工作時，行業已經到了193納米乾式光刻技術的階段，那時林本堅在一個研討會上第一次提到了浸潤式光刻技術，用了兩段話簡單介紹了這個想法。
彼時X光光刻技術的研究仍然是主流。他回憶道，有一次IBM開會時，做X光技術的十多個人被安排坐在會議桌的一邊，他一個人被安排坐在另一邊。
這樣的“勸退”方式並沒有給林本堅帶來太大壓力，但IBM的研發投入多半都給了做X光光刻技術研究。他提出IBM只需要給他X光技術組1/10的經費，他就能做出一些東西。但IBM並未買這個賬，並告訴林本堅“這個別人也在做，我們不做別人在做的”。
“我判斷到65納米（乾式光刻）階段時，讓我再往前看三代的話，我就已經看不到了。”林本堅表示。基於這樣的判斷，在眾多人依然主攻X光光刻技術的時候，林本堅義無反顧地投入了浸潤式的研究中。
50歲那年林本堅已符合IBM早退休的申請資格，孩子也已大學畢業，一身輕的情況下，能退休卻還想“再幹幹”的林本堅，想到了創業。
“那時候我在想如果我創業了我的公司要叫什麼名字，”林本堅回憶道，“後來我想了一個很酷的名字叫Linnovation。”林本堅解釋道，這個詞就是自己的姓Lin和Innovation（創新）的組合詞。
他半開玩笑地說，他是為了擁有Linnovation這個名字才出來創業的。隨後他被時任臺積電副總的蔣尚義邀請去臺積電，並於2002年成功開發出193納米浸潤式光刻技術。到2012年，全世界82%的半導體產品採用的是浸潤式光刻技術，為臺積電貢獻了47%的收入。
無心插柳柳成蔭
林本堅還向記者分享了他對科研和教育的一些看法，對於大陸的科技發展，他認為大陸有很大的市場、有大量的投入、好學校和好人才，因此不必過於擔心眼前的差距。
“大家都已經看到問題的存在，按照這個問題去解決就可以。”林本堅表示，給科研人員適當的“減負”也是必要的，如果只盯著獎項或成果做科研，則往往達不到效果。
林本堅向記者分享了IBM內部的一件趣事。IBM公司設立IBM院士稱號以嘉獎業內的頂尖技術人員。1986年，因為成功“研製掃描隧道顯微鏡（STM）”，兩位IBM蘇黎世研究院的研究員格爾德·賓寧（Gerd K. Binnig） 和海因裡希·羅雷爾（Heinrich Rohrer），被授予諾貝爾物理學獎。有意思的是，兩位獲獎者雖在IBM工作多年，但在獲獎時均不是IBM院士。獲獎後，IBM公司趕緊授予了兩人“IBM院士”的稱號。
“不是有一句話叫‘有意栽花花不發，無心插柳柳成蔭’嗎。做科研也是這樣的。做科研的人一定是享受科學樂趣的。”延伸至教育，林本堅告訴澎湃新聞記者，科學家永遠不會比銀行家有錢，但這個社會各種人才都需要，培養下一代的時候，挖掘興趣和天賦最重要。即便是美國，金融界的待遇也比做科技的也好，但是依然有不少人做科技，因為他們心甘情願，這是興趣所在。
“勉強一些沒有興趣的人去做科研並沒有什麼意思。最怕的是有些人對科技有興趣，但父母不讓他去。”林本堅說。
目前林本堅在臺灣大學、臺灣清華大學等高校擔任講座教授。林本堅說自己教課有個特點，所留的作業從不讓學生“單槍匹馬”完成，規定至少兩到三個人一起合作，以此來訓練學生學習如何與他人合作。
“一個人的努力和天賦總有卡住的時候，在企業裡做研究一定需要團隊合作，所以要懂得交流分享，創造交流分享的氛圍。”林本堅說。
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