科技日报记者 付毅飞
18日，位于河北省邯郸市肥乡区的中船重工718所新材料一期项目正式投产，二期项目开工建设。记者从该集团公司了解到，这标志着718所三氟化氮等特种气体产品向着产能世界第一迈出了坚实一步。
高纯电子特种气体被形容为半导体工业的”血液”和”粮食”，是大规模集成电路、多晶硅、太阳能、光纤等先进制造业的重要原材料，属于国家加快扶持发展的战略性新兴产业。然而早些年，相关产品被国外垄断，市场定价权掌握在国外厂商手中。
为破解垄断危机、抢抓市场机遇，718所于2000年组建特种气体工程部，自筹经费立项开展研究，于2009年成功开发出高纯三氟化氮。该产品被列入国家“重点新产品”及“火炬计划”，完全替代进口，成功应用在国内几乎所有半导体、液晶、太阳能行业，并出口美国、日本、法国、德国等国家。
面对喜人成绩，718所没有停止脚步，而是积极跟踪国际氟化工前沿技术，先后立项开展20多种高纯特种气体研发，自主开发出六氟化钨、氘气、三氟甲磺酸、等新产品，涉及核心关键技术40余项，获得发明专利授权18项，产品均处于国际先进水平。
718所所长李俊华介绍，目前该所已建成国内最大的三氟化氮、六氟化钨及三氟甲磺酸系列产品研发生产基地。其中三氟化氮国内市场覆盖率超过95%，国际市场覆盖率达30%；六氟化钨国内市场覆盖率达100%，国际市场覆盖率达40%。作为国家“02专项”气体组项目的牵头单位，该所已经成功研制出四氟化硅等9种高纯气体及10种混合气体，并成功进行了产业化，产品得到了中芯国际等半导体龙头企业的测试认证。
近两年，718所特种气体产业迅速壮大，年均增速达到30%。该所力争到2020年，实现年产高纯三氟化氮气体12000吨、高纯六氟化钨气体2000吨、其他特种气体3000吨。届时将实现高纯三氟化氮、高纯六氟化钨、三氟甲磺酸以及高纯六氟丁二烯气体产能世界第一，成为世界知名的电子特种气体材料综合服务商。
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