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撰稿|浑水调研研究员 高甜甜

10月27日，国内节能设备龙头双良节能（600481）子公司江苏双良新能源装备有限公司（下称“双良新能源”）与江苏卓远半导体有限公司（下称“卓远半导体”）达成战略合作，双方将在“集成电路级大尺寸高性能单晶硅的生长智能装备技术的开发合作”以及“第三代半导体碳化硅晶体批量生产项目的量产化技术”开展深度合作。

据了解，目前大直径（12英寸以上）高性能单晶硅的生长工艺和设备技术仍被国外企业垄断。此次双良与卓远半导体的合作，将凭借各自积累的技术优势，填补国内大尺寸单晶硅生产设备领域空白，并推动第三代半导体碳化硅（SiC）晶体量产化，实现国内半导体产业在高端装备制造领域自主化取得新突破。

国内单晶硅产业链的痛点

在同日开幕的第二届中国·如皋第三代半导体及智能制造国际研讨会上，双良低碳产业技术研究院章国明博士介绍，单晶硅是被广泛用于制造超大规模集成电路、半导体芯片、记忆体芯片和中低频、中低功率器件等，是现代信息社会不可或缺的基础物质。我国目前已较为全面地布局了IC 硅全产业链，并在磊晶阶段日趋成熟，但在晶圆和设备制造环节仍在努力实现突破。

目前，世界市场上90%的电子级大尺寸单晶片供应都由世界前五家头部企业垄断。国内用于制造大规模集成电路的 8-12 英寸单晶硅，绝大部分来自进口。而用于制造极大规模集成电路的大直径（12英寸以上）高性能单晶硅，其生长工艺、设备技术等更被国外企业垄断。

章国明认为，中国企业要想不被“卡脖子”，瞄准世界水平实现技术追赶、并凭借市场弯道超车，单晶硅及其生产装备完全自主化是必由之路。在国家政策与市场机遇的驱动下，双良携手卓远半导体，开启“大直径高性能单晶硅生长设备研发”，具有重要而深远的意义。

两强联手会有哪些突破？

资料显示，双良新能源是国内专业配套多晶硅行业的系统设备集成服务商，已经为国内10家多晶硅行业骨干企业提供稳定服务。迄今为止，双良新能源已累计为全国多晶硅企业提供了五千多套生产设备。

卓远半导体由“国家千人计划”人才、留德博士张新峰领衔创立，在设备和热场设计、软件开发、工艺研发等方面拥有较强技术优势，并借助德中工业创新发展中心和海内外高等院所，目前正着力发展“第三代半导体”碳化硅（SiC）晶体的装备制造和晶圆生产业务。

此次合作，卓远半导体能够依托双良的质量体系管控实力、多晶硅装备制造核心技术和自动化控制系统开发能力、相关产业设施配套资源，以及双良节能旗下的双良低碳产业技术研究院的团队支持，在单晶炉设备研发方面获得最优最快的机械加工制造条件和行业生产经验。

事实上，早在进入多晶硅行业之初，双良新能源就始终坚持多晶硅还原核心系统的研发，勇于打破国内多晶硅技术和市场长期被国外公司垄断的局面，掌握核心技术领域的主动权。目前，双良还原炉系列已拥有18对棒、24对棒、36对棒、40对棒、48对棒、72对棒的规格。按照电子级多晶硅要求设计制造的24对棒还原炉也已取得了成功应用，在性价比方面相较进口设备更具竞争优势。

通过此次合作，双良将借助卓远半导体在晶体材料及全自动智能设备制造方面的专业经验和优势资源，快速进入半导体单晶炉及第三代半导体碳化硅高端装备制造领域，进一步实现由传统制造向高科技智能制造的转型升级。