P92.X40快速刀具定位台内部采用高压压电陶瓷驱动，驱动电压为0~1000V，出力可达3000N。该快速刀具定位台可产生一维X向的微进给运动，进给范围可达40μm，且集成闭环传感器，可保证操作时控制电压与位移间的线性关系。另外，它的机械结构设计坚固，且配有散热接口。
特点：
● 行程达40μm ● 驱动电压0~1000V ● 出力达3000N ● 闭环分辨率达10nm ● 散热孔
技术参数：
型号：P92.X40
标称行程范围（0-800V）：32μm
行程范围（0-1000V）：40μm
传感器类型：SGS
落后相位（1μm/1Khz ）：＜20°
落后相位（5μm/500hz ）：＜10°
推力：3000N
运动方向刚度：100N/μm
空载谐振频率：3975Hz
闭环线性度：<0.1%F.S
闭环重复定位精度：<0.1%F.S
闭环分辨率：10nm
静电容量：540nF
材质：钢
开环位移曲线
注：上图中，实际施加到快刀定位台的电压值为输入电压的100倍。
闭环精度曲线
闭环分辨率
增益曲线
相位曲线
温升曲线
1）1kHz、1μm工作条件下温升曲线
2）500Hz、5μm工作条件下温升曲线
3）200Hz、400V工作条件下温升曲线
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